CN211601529U - 一种氮化硅生产用真空烧结炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种氮化硅生产用真空烧结炉，包括炉体，炉体的一侧密封铰接有炉门，炉体的一侧设有第一抽气管，第一抽气管的内部设有密封盖，第一抽气管上设有第二抽气管，第二抽气管的另一端连有抽气泵，炉体的顶部一侧设有氮气罐，氮气罐上连有氮气输送管，氮气输送管的另一端转动连接有第三管道，第三管道的另一端伸入到炉体的内部并与氮气布气管连通，氮气布气管的下侧设有多个布气支管，布气支管上设有若干出气口，炉体的顶部另一侧设有出气管，出气管上设有排气阀，出气管的另一端伸入到炉体顶部设有的水箱中，水箱的内部设有第一管道，第一管道的一端与出气管相连，第一管道的另一端连有第二管道，第二管道的另一端位于水箱的外部。
Description
技术领域
本实用新型涉及氮化硅生产技术领域，尤其涉及一种氮化硅生产用真空烧结炉。
背景技术
真空烧结炉是指在真空环境中对被加热物品进行保护性烧结的炉子，其加热方式比较多，如电阻加热、感应加热、微波加热等；在氮化硅的生产过程中，多采用真空烧结炉对硅粉和氮气进行烧结；真空烧结炉的工作原理是在抽真空后再向炉体内充入惰性保护气体，对被加热物品进行气氛烧结；但是现有的真空烧结炉抽真空时炉体内的灰尘和真空炉工作时炉体内的热气都易通过抽气管进入到真空泵的内部而损坏真空泵；而且在真空烧结时极易因为炉体内的氮气分布不均匀而影响烧结质量，不能很好的满足使用需求。
发明内容
本实用新型正是针对以上技术问题，提供一种氮化硅生产用真空烧结炉。
本实用新型为实现上述目的，采用以下技术方案：一种氮化硅生产用真空烧结炉，包括炉体，其特征在于，炉体的一侧密封铰接有炉门，炉体的内侧设有保温层，保温层的内侧设有隔热层，隔热层的内侧设有加热层，加热层的内部设有若干电加热棒，炉体上远离炉门的一侧设有第一抽气管，第一抽气管的内部设有密封盖，密封盖远离炉体的一端设有伸缩杆，伸缩杆的另一端伸出第一抽气管并连有气缸，第一抽气管的另一端下侧连有第二抽气管，第二抽气管的内部设有过滤装置，第二抽气管的另一端连有真空泵，炉体的顶部一侧设有氮气罐，氮气罐上连有氮气输送管，氮气输送管上设有气泵，氮气输送管的另一端转动连接有通过驱动机构驱动转动的第三管道，第三管道的另一端伸入到炉体的内部并与炉体内部顶端设有的氮气布气管连通，氮气布气管的下侧设有多个布气支管，布气支管上设有若干出气口，炉体的顶部另一侧设有出气管，出气管上设有排气阀，出气管的另一端伸入到炉体顶部设有的水箱中，水箱的内部设有波浪形的第一管道，第一管道的一端与出气管相连，第一管道的另一端连有第二管道，第二管道的另一端位于水箱的外部，水箱的顶部一侧设有进水管，水箱的一侧底部设有出水管，炉体的内部底端设有采用莫来石材料制作的置物板，置物板的上表面设有若干凹槽，凹槽内放有石英坩埚，置物板上靠近炉门的一侧设有拉手。
所述保温层由内到外依次包括石墨毡保温层、硅酸铝纤维保温层和耐火砖保温层。
所述过滤装置包括沿靠近真空泵方向依次设置在第二抽气管内部的第一过滤网、第二过滤网和第三过滤网，且第一过滤网、第二过滤网和第三过滤网的网孔直径依次减小。
所述驱动机构包括套设在第三管道上的第一齿轮和与第一齿轮啮合的第二齿轮，炉体的顶部通过支架设有电机，第二齿轮套设在电机的输出轴上。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型第二抽气管内设置的第一过滤网、第二过滤网和第三过滤网可以很好的将炉体内部的灰尘过滤吸附，第一抽气管内设置的密封盖可以在抽完真空后将第一抽气管堵住，避免了抽真空时炉体内部的灰尘和真空烧结时产生的热气进入到真空泵的内部而损害真空泵；而且氮气罐内部的氮气通过旋转的氮气布气管和布气支管输入到炉体的内部与石英坩埚内的样品接触的更加均匀，烧结质量更好。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图中：1、炉体；2、炉门；3、保温层；4、隔热层；5、加热层；6、第一抽气管；7、真空泵；8、氮气罐；9、氮气输送管；10、氮气布气管；11、布气支管；12、出气口；13、出气管；14、水箱；15、第一管道；16、第二管道；17、进水管；18、出水管；19、置物板；20、凹槽；21、拉手；22、第一过滤网；23、第二过滤网；24、第三过滤网；25、气缸；26、第二抽气管；27、第三管道；28、第一齿轮；29、第二齿轮；30、电机；31、密封盖。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明：
如图1所示，一种氮化硅生产用真空烧结炉，包括炉体1，其特征在于，炉体1的一侧密封铰接有炉门2，炉体1的内侧设有保温层3，保温层3的内侧设有隔热层4，隔热层4的内侧设有加热层5，加热层5的内部设有若干电加热棒，炉体1上远离炉门2的一侧设有第一抽气管6，第一抽气管6的内部设有密封盖31，密封盖31远离炉体1的一端设有伸缩杆，伸缩杆的另一端伸出第一抽气管6并连有气缸25，第一抽气管6的另一端下侧连有第二抽气管26，第二抽气管26的内部设有过滤装置，第二抽气管26的另一端连有真空泵7，炉体1的顶部一侧设有氮气罐8，氮气罐8上连有氮气输送管9，氮气输送管9上设有气泵，氮气输送管9的另一端转动连接有通过驱动机构驱动转动的第三管道27，第三管道27的另一端伸入到炉体1的内部并与炉体1内部顶端设有的氮气布气管10连通，氮气布气管10的下侧设有多个布气支管11，布气支管11上设有若干出气口12，炉体1的顶部另一侧设有出气管13，出气管13上设有排气阀，出气管13的另一端伸入到炉体1顶部设有的水箱14中，水箱14的内部设有波浪形的第一管道15，第一管道15的一端与出气管13相连，第一管道15的另一端连有第二管道16，第二管道16的另一端位于水箱14的外部，水箱14的顶部一侧设有进水管17，水箱14的一侧底部设有出水管18，炉体1的内部底端设有置物板19，置物板19的上表面设有若干凹槽20，凹槽20内放有石英坩埚，置物板19上靠近炉门2的一侧设有拉手21。
所述保温层3由内到外依次包括石墨毡保温层、硅酸铝纤维保温层和耐火砖保温层。
所述过滤装置包括沿靠近真空泵7方向依次设置在第二抽气管26内部的第一过滤网22、第二过滤网23和第三过滤网24，且第一过滤网22、第二过滤网23和第三过滤网24的网孔直径依次减小。
所述驱动机构包括套设在第三管道27上的第一齿轮28和与第一齿轮28啮合的第二齿轮29，炉体1的顶部通过支架设有电机30，第二齿轮29套设在电机30的输出轴上。
本实用新型工作时，打开炉门2，将放有若干石英坩埚的置物板19推入到炉体1的内部，封闭炉门2；然后采用真空泵7将炉体1的内部抽成真空，第二抽气管6内部设置的第一过滤网22、第二过滤网23和第三过滤网24可以很好的将炉体1内部的灰尘过滤吸附，避免了灰尘进入到真空泵7的内部而损坏真空泵7；然后，通过气缸25驱动伸缩杆带动密封盖31将第一抽气管6堵住，避免了烧结时产生的热气进入到真空泵7的内部而损坏真空泵7；然后打开气泵，氮气罐8内部的氮气通过设置的多个布气支管11旋转的进入到炉体1的内部，然后在氮气的气氛中烧制氮化硅；烧制过程中，当炉体1内部的压力较大时，通过出气管13排出的气体会进入到波浪形的第一管道15中并与水箱14中的水换热，减少了热量的损失；烧制完成后，打开炉门2，通过拉手21将置物板19拉出再将石英坩埚取出即可。
上面结合附图对本实用新型进行了示例性描述，显然本实用新型具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的各种改进，或未经改进直接应用于其它场合的，均在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种氮化硅生产用真空烧结炉，包括炉体(1)，其特征在于，炉体(1)的一侧密封铰接有炉门(2)，炉体(1)的内侧设有保温层(3)，保温层(3)的内侧设有隔热层(4)，隔热层(4)的内侧设有加热层(5)，加热层(5)的内部设有若干电加热棒，炉体(1)上远离炉门(2)的一侧设有第一抽气管(6)，第一抽气管(6)的内部设有密封盖(31)，密封盖(31)远离炉体(1)的一端设有伸缩杆，伸缩杆的另一端伸出第一抽气管(6)并连有气缸(25)，第一抽气管(6)的另一端下侧连有第二抽气管(26)，第二抽气管(26)的内部设有过滤装置，第二抽气管(26)的另一端连有真空泵(7)，炉体(1)的顶部一侧设有氮气罐(8)，氮气罐(8)上连有氮气输送管(9)，氮气输送管(9)上设有气泵，氮气输送管(9)的另一端转动连接有通过驱动机构驱动转动的第三管道(27)，第三管道(27)的另一端伸入到炉体(1)的内部并与炉体(1)内部顶端设有的氮气布气管(10)连通，氮气布气管(10)的下侧设有多个布气支管(11)，布气支管(11)上设有若干出气口(12)，炉体(1)的顶部另一侧设有出气管(13)，出气管(13)上设有排气阀，出气管(13)的另一端伸入到炉体(1)顶部设有的水箱(14)中，水箱(14)的内部设有波浪形的第一管道(15)，第一管道(15)的一端与出气管(13)相连，第一管道(15)的另一端连有第二管道(16)，第二管道(16)的另一端位于水箱(14)的外部，水箱(14)的顶部一侧设有进水管(17)，水箱(14)的一侧底部设有出水管(18)，炉体(1)的内部底端设有置物板(19)，置物板(19)的上表面设有若干凹槽(20)，凹槽(20)内放有石英坩埚，置物板(19)上靠近炉门(2)的一侧设有拉手(21)。
2.根据权利要求1所述的一种氮化硅生产用真空烧结炉，其特征在于，所述保温层(3)由内到外依次包括石墨毡保温层、硅酸铝纤维保温层和耐火砖保温层。
3.根据权利要求1所述的一种氮化硅生产用真空烧结炉，其特征在于，所述过滤装置包括沿靠近真空泵(7)方向依次设置在第二抽气管(26)内部的第一过滤网(22)、第二过滤网(23)和第三过滤网(24)，且第一过滤网(22)、第二过滤网(23)和第三过滤网(24)的网孔直径依次减小。
4.根据权利要求1所述的一种氮化硅生产用真空烧结炉，其特征在于，所述驱动机构包括套设在第三管道(27)上的第一齿轮(28)和与第一齿轮(28)啮合的第二齿轮(29)，炉体(1)的顶部通过支架设有电机(30)，第二齿轮(29)套设在电机(30)的输出轴上。
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| CN201922071415.9U CN211601529U (zh) | 2019-11-27 | 2019-11-27 | 一种氮化硅生产用真空烧结炉 |
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN113526474A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-10-22 | 深圳市研一新材料有限责任公司 | 氮化锂颗粒以及其制备方法和制备设备 |
| CN114593601A (zh) * | 2022-03-11 | 2022-06-07 | 连云港浩森矿产品有限公司 | 锂电池硅负极材料用硅微粉高温熔炼设备及其方法 |
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2019
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