CN211562633U - 一种溅射靶材熔融液体搅拌装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种溅射靶材熔融液体搅拌装置，包括：升降机构，升降机构包括螺纹杆、与螺纹杆连接的第一电机和与螺纹杆相配合螺接的螺纹管；导向机构，导向机构包括滑槽，螺纹管能够通过滑槽上下滑动；吊装机构，吊装机构包括主支架和与主支架固定连接的吊篮，主支架包括套筒，套筒与螺纹管转动连接；搅拌机构，搅拌机构包括第二电机、与第二电机连接的搅拌棍和与第二电机螺接的电机支架，电机支架与吊篮固定连接。

Description

一种溅射靶材熔融液体搅拌装置

技术领域

本实用新型涉及一种搅拌装置，具体涉及一种溅射靶材熔融液体用的搅拌装置。

背景技术

溅射靶材在生产过程中，经过熔炼、浇铸成型、锻压、粗磨和精磨等工艺后，方可成型。熔炼用的原材料具有一定比例的在粗磨和精磨过程中切割下的金属碎屑以便节约成本。而熔炼这些回收金属碎屑是在电阻炉中进行的，同时在熔炼过程中需要对熔融的金属液进行不断搅拌，以便使得金属液中的气体和杂质上浮，释放金属液中的气体和清理杂质。

但是，在现有的电阻炉设备中，并未配备搅拌装置，需要操作人员手持搅拌棍对金属液进行搅拌，而由于金属液的温度过高，在搅拌过程中容易造成操作人员烫伤。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种溅射靶材熔融液体搅拌装置，实现金属液的自动搅拌，解放操作人员，避免人工操作造成烫伤的后果。

为了完成上述目的，本实用新型提供了一种溅射靶材熔融液体搅拌装置，包括：升降机构，升降机构包括螺纹杆、与螺纹杆连接的第一电机和与螺纹杆相配合螺接的螺纹管；导向机构，导向机构包括滑槽，螺纹管能够通过滑槽上下滑动；吊装机构，吊装机构包括主支架和与主支架固定连接的吊篮，主支架包括套筒，套筒与螺纹管转动连接；搅拌机构，搅拌机构包括第二电机、与第二电机连接的搅拌棍和与第二电机螺接的电机支架，电机支架与吊篮固定连接。

优选的，导向机构还包括滑块和固定套，固定套与螺纹管焊接，滑块与固定套通过螺栓连接，滑块能够在滑槽内滑动。

优选的，主支架还包括吊板支架，吊板支架与套筒一体成型，吊篮与吊板支架焊接。

进一步优选的，套筒内安装有与套筒同轴的滑动轴承，螺纹管的一端插设有与螺纹管同轴的光轴，套筒通过滑动轴承套设在光轴外。

进一步优选的，吊篮包括连接杆和托板，连接杆的一端与吊板支架焊接，连接杆的另一端与托板焊接。

更进一步优选的，电机支架包括第一支板和第二支板，第一支板与第二支板通过连接板连接，第一支板与托板通过螺栓连接，第二支板与第二电机通过螺栓连接，第一支板与第二支板之间还设有搅拌轴承座装置。

更进一步优选的，搅拌轴承座装置包括第一底座、旋转轴承和第二底座，第一底座与第一支板焊接，旋转轴承的一端与第一底座相抵接，旋转轴承的另一端与第二底座螺接。

更进一步优选的，旋转轴承通过固定杆与连接杆固定连接。

本实用新型的有益效果为：本实用新型中，首先需要操作人员手动将搅拌装置旋转到电阻炉上方，然后利用升降机构将搅拌棍下放到电阻炉中，在打开第二电机，使得搅拌棍旋转，对金属熔液进行搅拌。本实用新型利用升降机构和搅拌装置对金属熔液完成搅拌，避免了操作人员直接搅拌金属熔液，从而避免操作人员被烫伤。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

图1是本实用新型的搅拌装置的立体结构示意图。

图2是本实用新型的搅拌装置的正视图。

图3是本实用新型的升降机构和导向机构的立体结构示意图。

图4是本实用新型的升降机构和导向机构的正视图。

图5是图4中的A-A向剖视图。

图6是图4中的B-B向剖视图。

图7是本实用新型的吊装机构和搅拌机构的立体结构示意图。

图8是本实用新型的搅拌机构的立体机构示意图。

图9是本实用新型的搅拌机构的正视图。

附图标记说明

10、工作平台；11、插孔；20、电阻炉；30、第一电机；

100、升降机构；110、螺纹杆；120、螺纹管；

200、导向机构；210、固定套；220、滑块；230、滑槽；

300、吊装机构；310、主支架；311、套筒；312、吊板支架；

320、吊篮；321、连接杆；322、托板；330、把手；

400、搅拌机构；410、第二电机；420、电机支架；421、第一支板；

422、第二支板；423、连接板；424、第一底座；425、第二底座；

426、旋转轴承；427、固定杆；430、搅拌棍；

500、光轴；510、滑动轴承。

具体实施方式

下面结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似推广，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

如图1和图2所示，溅射靶材熔炼装置包括工作平台10、电阻炉20和搅拌装置，另外还包括控制柜（图中未示出）等其他设备。本实施例提供了一种溅射靶材熔融液体搅拌装置，包括升降机构100、导向机构200、吊装机构300和搅拌机构400。

具体的，如图3和图4所示，升降机构100包括螺纹杆110、与螺纹杆110一端连接的第一电机30和与螺纹杆110相配合螺接的螺纹管120，螺纹管120螺接在螺纹杆的另一端，第一电机30驱动螺纹杆110转动。

如图3至图6所示，导向机构200包括固定套210、滑块220和滑槽230，固定套210焊接在螺纹管120外，滑块220与固定套210通过螺栓连接，滑块220能够在滑槽230内滑动，在本实施例中，滑槽230焊接在电阻炉20的侧壁上。在本实施例中，升降机构100和导向机构200利用丝杆原理实现搅拌装置400的升降。即，第一电机30驱动螺纹杆110转动，而螺纹杆110与螺纹管120螺接，又由于螺纹管120通过与固定套210螺接的滑块220在滑槽230内的限制（使得螺纹管120不能够随着螺纹杆110的旋转而旋转），同时滑槽230对螺纹管120具有导向的作用，所以螺纹管120能够沿着竖直方向运动。

在本实施例中，如图1、图2和图7所示，吊装机构300包括主支架310和与主支架固定连接的吊篮320。其中，主支架310包括套筒311和吊板支架312，具体的，吊板支架312与套筒311一体成型，或者，吊板支架312与套筒311焊接。在本实施例中，在螺纹管120上套设有与螺纹管120同轴安装的光轴500，在套筒311安装有与套筒311同轴的滑动轴承510，套筒311通过滑动轴承510安装在光轴500上，这样就使得套筒311能够围绕螺纹管120转动。在本实施例中，吊篮320包括连接杆321和托板322，连接杆321的一端与吊板支架312焊接，连接杆321的另一端与托板322焊接。吊篮320用于承载搅拌机构400。

在本实施例中，如图7至图9所示，搅拌机构400包括第二电机410、与第二电机410连接的搅拌棍430和与第二电机410螺接的电机支架420，电机支架420与吊篮320固定连接。具体的，电机支架420包括第一支板421和第二支板422，第一支板421与第二支板422通过连接板423连接，具体的，连接板423的一端与第一支板421焊接，连接板423的另一端与第二支板422焊接。第一支板421与托板322通过螺栓连接，第二支板422与第二电机410通过螺栓连接。另外，在本实施例中，由于搅拌棍430的长度过长，因此，为了防止搅拌棍430在搅拌过程中晃动幅度过大，因此，在第一支板421与第二支板422之间还设有搅拌轴承座装置。具体的，搅拌轴承座装置包括第一底座424、旋转轴承425和第二底座426，第一底座424与第一支板421焊接，旋转轴承426的一端与第一底座424相抵接，旋转轴承426的另一端与第二底座425螺接。另外，为了使得旋转轴承426能够在搅拌棍430旋转时保持稳定，本实施例中，采用连接杆427对旋转轴承进行固定。其中，连接杆427的一端与旋转轴承426焊接，连接杆427的另一端与吊板支架421焊接。

在本实施例中，当需要使用搅拌装置时，首先需要操作人员手持把手330将搅拌机构400旋转到电阻炉20的炉口上方，然后启动第一电机30，使得第一电机30开始工作。这样，螺纹杆110旋转，从而带动螺纹管120下降。在下降过程中，需要使得把手330进入工作平台10上通孔11中，这样，当搅拌棍430在搅拌金属液过程中，不会引起搅拌机构300的转动，这是由于吊装机构200与螺纹管120是转动连接，如果不对把手330进行固定，当搅拌机构400工作时，需要操作人员手扶搅拌机构400，以避免第二电机410工作时产生的振动导致搅拌机构400产生位移，由于在搅拌过程中，金属液可能会飞溅出电阻炉20，从而溅射到操作人员身上，导致操作人员的烫伤。因此，将把手置入通孔11内，则无需操作人员手扶搅拌机构400。搅拌完成后，将搅拌装置复位即可。

显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

Claims (8)

1.一种溅射靶材熔融液体搅拌装置，其特征在于，包括：

升降机构，所述升降机构包括螺纹杆、与所述螺纹杆连接的第一电机和与所述螺纹杆相配合螺接的螺纹管；

导向机构，所述导向机构包括滑槽，所述螺纹管能够通过所述滑槽上下滑动；

吊装机构，所述吊装机构包括主支架和与所述主支架固定连接的吊篮，所述主支架包括套筒，所述套筒与所述螺纹管转动连接；

搅拌机构，所述搅拌机构包括第二电机、与所述第二电机连接的搅拌棍和与所述第二电机螺接的电机支架，所述电机支架与所述吊篮固定连接。

2.根据权利要求1所述的溅射靶材熔融液体搅拌装置，其特征在于，所述导向机构还包括滑块和固定套，所述固定套与所述螺纹管焊接，所述滑块与所述固定套通过螺栓连接，所述滑块能够在所述滑槽内滑动。

3.根据权利要求1所述的溅射靶材熔融液体搅拌装置，其特征在于，所述主支架还包括吊板支架，所述吊板支架与所述套筒一体成型，所述吊篮与所述吊板支架焊接。

4.根据权利要求3所述的溅射靶材熔融液体搅拌装置，其特征在于，所述套筒内安装有与所述套筒同轴的滑动轴承，所述螺纹管的一端插设有与所述螺纹管同轴的光轴，所述套筒通过所述滑动轴承套设在所述光轴外。

5.根据权利要求3所述的溅射靶材熔融液体搅拌装置，其特征在于，所述吊篮包括连接杆和托板，所述连接杆的一端与所述吊板支架焊接，所述连接杆的另一端与所述托板焊接。

6.根据权利要求5所述的溅射靶材熔融液体搅拌装置，其特征在于，所述电机支架包括第一支板和第二支板，所述第一支板与所述第二支板通过连接板连接，所述第一支板与所述托板通过螺栓连接，所述第二支板与所述第二电机通过螺栓连接，所述第一支板与所述第二支板之间还设有搅拌轴承座装置。

7.根据权利要求6所述的溅射靶材熔融液体搅拌装置，其特征在于，所述搅拌轴承座装置包括第一底座、旋转轴承和第二底座，所述第一底座与所述第一支板焊接，所述旋转轴承的一端与所述第一底座相抵接，所述旋转轴承的另一端与所述第二底座螺接。

8.根据权利要求7所述的溅射靶材熔融液体搅拌装置，其特征在于，所述旋转轴承通过固定杆与所述连接杆固定连接。

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