CN211497860U - 一种具有防护功能的单晶炉用加料器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种具有防护功能的单晶炉用加料器,包括炉体、石英外壳、连接板和挡板,所述炉体上螺栓连接有隔热板,且隔热板上螺钉连接有橡胶垫,所述炉体上螺栓连接有石英外壳,且石英外壳下固定有石英板,所述第二锥形齿轮上连接有第一锥形齿轮,所述石英板上设置有第一连接杆,且第一连接杆固定在固定杆上,所述固定杆上焊接有把手,且固定杆上焊接有轮齿条。该具有防护功能的单晶炉用加料器设置有石英板,通过向上拉动把手,两侧的固定杆能够通过第一连接杆同时带动两侧的石英板向外侧转动,能够完成加料器一次投料和二次投料,且在橡胶垫和隔热板的作用下,能够有效对加料器进行防护,提高了装置的使用安全性。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉技术领域,具体为一种具有防护功能的单晶炉用加料器。
背景技术
单晶炉是用来生产单晶硅棒的设备,在单晶硅棒的加工过程中,需要用加料器将多晶硅料投放在单晶炉中进行加热融化为液体,随后通过籽晶拉制成单晶硅棒,而现在大多数的加料器为内置加料器,且为石英材质制成。
而现在大多数的单晶炉用加料器存在以下几个问题:
一、由于固体硅料融化成液体时,炉内容积会大量减少,而单晶炉在加热过程中,为保持炉内气压和稳定不能打开进行二次加料,降低了单晶炉的使用效率;
二、在加料器在单晶炉内使用过程中,由于单晶炉内的温度较高,石英材质制成较脆的,加料器容易发生损坏,降低使用寿命。
所以我们提出了一种具有防护功能的单晶炉用加料器,以便于解决上述中提出的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种具有防护功能的单晶炉用加料器,以解决上述背景技术提出的目前市场上单晶炉用加料器不方便进行二次加料以及较高的温度和较脆的材质容易发生损坏的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种具有防护功能的单晶炉用加料器,包括炉体、石英外壳、连接板和挡板,所述炉体上螺栓连接有隔热板,且隔热板上螺钉连接有橡胶垫,所述炉体上螺栓连接有石英外壳,且石英外壳下固定有石英板,所述石英外壳上连接有橡胶板,且橡胶板上焊接有第二锥形齿轮,所述第二锥形齿轮上连接有第一锥形齿轮,且第一锥形齿轮焊接在固定轴上,并且固定轴轴连接在炉体上,所述石英板上设置有第一连接杆,且第一连接杆固定在固定杆上,所述固定杆上焊接有把手,且固定杆上焊接有轮齿条,所述轮齿条上啮合连接有圆形齿轮,且圆形齿轮上焊接有连接轴,所述连接轴轴连接在连接板上,且连接板螺钉连接在橡胶板上,所述连接轴上轴连接有第二连接杆,且第二连接杆上轴连接有第一滑块,所述第一滑块上铰接有第二滑块,且第二滑块卡合在第一滑槽中,所述连接板上开设有第一滑槽,且连接板上开设有第二滑槽,所述挡板固定在橡胶垫上,且第二滑块铰接在挡板上,所述把手下焊接有复位弹簧,且复位弹簧螺栓连接在炉体上。
优选的,所述石英外壳的直径小于隔热板的宽度,且石英外壳与石英板之间为铰接,并且石英板对称分布在石英外壳的两侧。
优选的,所述橡胶板的直径与石英外壳的直径相等,且橡胶板与石英外壳之间为轴连接,并且橡胶板固定在石英外壳的中间部位。
优选的,所述第一连接杆呈中心对称分布在石英板的两侧,且第一连接杆与固定杆之间为铰接,并且固定杆与炉体之间为滑动连接。
优选的,所述第一滑块与第一滑槽之间为卡合连接,且第一滑块与第二滑块之间结构相同,并且第一滑块与第二滑块之间为距离等于第一滑块的一半。
优选的,所述第二滑槽连接在第一滑槽的中间部位,且第二滑槽的底端面与第一滑槽的底端面平齐,并且第二滑槽呈圆弧形。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该具有防护功能的单晶炉用加料器;
(1)该加料器设置有橡胶板,在开始进行加热加工前,首先对石英外壳内添加固体硅料,随后通过转动固定轴带动第一锥形齿轮进行转动,在第一锥形齿轮的作用下,第二锥形齿轮能够带动橡胶板进行转动,能够将橡胶板转动至石英外壳的中心垂直部位,能够将石英外壳分至两部分,能够保证加热过程中,固体硅料体积减少时,在橡胶板的转动下,能够对另一部分的固体硅料进行二次投料,增加了装置的使用多样性;
(2)该加料器设置有石英板,在固定杆的作用下,通过向上拉动把手,两侧的固定杆能够通过第一连接杆同时带动两侧的石英板向外侧转动,能够完成加料器一次投料和二次投料,且在橡胶垫和隔热板的作用下,能够有效对加料器进行防护,提高了装置的使用安全性;
(3)该加料器设置有挡板,在固定杆向上运动时,轮齿条能够带动圆形齿轮进行转动,在连接轴的转动下,第二连接杆能够在连接板上进行运动,进而能够带动第一滑块和第二滑块在第一滑槽中进行运动,第二滑块运动至第一滑槽的底部时,第一滑块在第二连接杆的作用下运动至第二滑槽中,在第一滑块和第二滑块的作用下,能够使挡板在隔热板上完成开合。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图;
图2为本实用新型橡胶板俯视结构示意图;
图3为本实用新型第二滑槽结构示意图;
图4为本实用新型连接板俯视结构示意图。
图中:1、炉体;2、隔热板;3、橡胶垫;4、石英外壳;5、石英板;6、橡胶板;7、第二锥形齿轮;8、第一锥形齿轮;9、固定轴;10、第一连接杆; 11、固定杆;12、把手;13、轮齿条;14、圆形齿轮;15、连接轴;16、连接板;17、第二连接杆;18、第一滑块;19、第二滑块;20、第一滑槽;21、第二滑槽;22、挡板;23、复位弹簧。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4,本实用新型提供一种技术方案:一种具有防护功能的单晶炉用加料器,包括炉体1、隔热板2、橡胶垫3、石英外壳4、石英板5、橡胶板6、第二锥形齿轮7、第一锥形齿轮8、固定轴9、第一连接杆10、固定杆 11、把手12、轮齿条13、圆形齿轮14、连接轴15、连接板16、第二连接杆 17、第一滑块18、第二滑块19、第一滑槽20、第二滑槽21、挡板22和复位弹簧23,炉体1上螺栓连接有隔热板2,且隔热板2上螺钉连接有橡胶垫3,炉体1上螺栓连接有石英外壳4,且石英外壳4下固定有石英板5,石英外壳 4上连接有橡胶板6,且橡胶板6上焊接有第二锥形齿轮7,第二锥形齿轮7 上连接有第一锥形齿轮8,且第一锥形齿轮8焊接在固定轴9上,并且固定轴 9轴连接在炉体1上,石英板5上设置有第一连接杆10,且第一连接杆10固定在固定杆11上,固定杆11上焊接有把手12,且固定杆11上焊接有轮齿条 13,轮齿条13上啮合连接有圆形齿轮14,且圆形齿轮14上焊接有连接轴15,连接轴15轴连接在连接板16上,且连接板16螺钉连接在橡胶板6上,连接轴15上轴连接有第二连接杆17,且第二连接杆17上轴连接有第一滑块18,第一滑块18上铰接有第二滑块19,且第二滑块19卡合在第一滑槽20中,连接板16上开设有第一滑槽20,且连接板16上开设有第二滑槽21,挡板22 固定在橡胶垫3上,且第二滑块19铰接在挡板22上,把手12下焊接有复位弹簧23,且复位弹簧23螺栓连接在炉体1上。
石英外壳4的直径小于隔热板2的宽度,且石英外壳4与石英板5之间为铰接,并且石英板5对称分布在石英外壳4的两侧,可以正常控制石英板5 的工作状态,也方便操作控制石英板5进行工作。
橡胶板6的直径与石英外壳4的直径相等,且橡胶板6与石英外壳4之间为轴连接,并且橡胶板6固定在石英外壳4的中间部位,可以保证橡胶板6 与石英外壳4之间连接状态的稳定,增加了装置的使用安全性。
第一连接杆10呈中心对称分布在石英板5的两侧,且第一连接杆10与固定杆11之间为铰接,并且固定杆11与炉体1之间为滑动连接,可以保证第一连接杆10在固定杆11上工作状态的稳定,提高了装置的使用高效性。
第一滑块18与第一滑槽20之间为卡合连接,且第一滑块18与第二滑块 19之间结构相同,并且第一滑块18与第二滑块19之间为距离等于第一滑块 18的一半,可以有效避免第二滑块19对于第一滑块18的不良影响。
第二滑槽21连接在第一滑槽20的中间部位,且第二滑槽21的底端面与第一滑槽20的底端面平齐,并且第二滑槽21呈圆弧形,可以保证第二滑槽 21在第一滑槽20上稳定的工作效果,增加装置的使用多样性。
工作原理:在使用该具有防护功能的单晶炉用加料器之前,需要先检查装置整体情况,确定能够进行正常工作;
在开始进行加热加工前,结合图1和图2,首先对石英外壳4内添加固体硅料,随后通过转动固定轴9带动第一锥形齿轮8进行转动,在第一锥形齿轮8的作用下,第二锥形齿轮7能够带动橡胶板6进行转动,能够将橡胶板6 转动至石英外壳4的中心垂直部位,能够将石英外壳4分至两部分,能够保证加热过程中,固体硅料体积减少时,在橡胶板6的转动下,能够对另一部分的固体硅料进行二次投料;
在固定杆11的作用下,结合图1,通过向上拉动把手12,两侧的固定杆 11能够通过第一连接杆10同时带动两侧的石英板5向外侧转动,能够完成加料器一次投料和二次投料,且在橡胶垫3和隔热板2的作用下,能够有效对加料器进行防护;
在固定杆11向上运动时,结合图3和图4,轮齿条13能够带动圆形齿轮 14进行转动,在连接轴15的转动下,第二连接杆17能够在连接板16上进行运动,进而能够带动第一滑块18和第二滑块19在第一滑槽20中进行运动,第二滑块19运动至第一滑槽20的底部时,第一滑块18在第二连接杆17的作用下运动至第二滑槽21中,在第一滑块18和第二滑块19的作用下,能够使挡板22在隔热板2上完成开合,以上便是整个装置的工作过程,且本说明书中未作详细描述的内容,例如石英板5、轮齿条13和复位弹簧23,均属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种具有防护功能的单晶炉用加料器,包括炉体(1)、石英外壳(4)、连接板(16)和挡板(22),其特征在于:所述炉体(1)上螺栓连接有隔热板(2),且隔热板(2)上螺钉连接有橡胶垫(3),所述炉体(1)上螺栓连接有石英外壳(4),且石英外壳(4)下固定有石英板(5),所述石英外壳(4)上连接有橡胶板(6),且橡胶板(6)上焊接有第二锥形齿轮(7),所述第二锥形齿轮(7)上连接有第一锥形齿轮(8),且第一锥形齿轮(8)焊接在固定轴(9)上,并且固定轴(9)轴连接在炉体(1)上,所述石英板(5)上设置有第一连接杆(10),且第一连接杆(10)固定在固定杆(11)上,所述固定杆(11)上焊接有把手(12),且固定杆(11)上焊接有轮齿条(13),所述轮齿条(13)上啮合连接有圆形齿轮(14),且圆形齿轮(14)上焊接有连接轴(15),所述连接轴(15)轴连接在连接板(16)上,且连接板(16)螺钉连接在橡胶板(6)上,所述连接轴(15)上轴连接有第二连接杆(17),且第二连接杆(17)上轴连接有第一滑块(18),所述第一滑块(18)上铰接有第二滑块(19),且第二滑块(19)卡合在第一滑槽(20)中,所述连接板(16)上开设有第一滑槽(20),且连接板(16)上开设有第二滑槽(21),所述挡板(22)固定在橡胶垫(3)上,且第二滑块(19)铰接在挡板(22)上,所述把手(12)下焊接有复位弹簧(23),且复位弹簧(23)螺栓连接在炉体(1)上。
2.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的单晶炉用加料器,其特征在于:所述石英外壳(4)的直径小于隔热板(2)的宽度,且石英外壳(4)与石英板(5)之间为铰接,并且石英板(5)对称分布在石英外壳(4)的两侧。
3.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的单晶炉用加料器,其特征在于:所述橡胶板(6)的直径与石英外壳(4)的直径相等,且橡胶板(6)与石英外壳(4)之间为轴连接,并且橡胶板(6)固定在石英外壳(4)的中间部位。
4.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的单晶炉用加料器,其特征在于:所述第一连接杆(10)呈中心对称分布在石英板(5)的两侧,且第一连接杆(10)与固定杆(11)之间为铰接,并且固定杆(11)与炉体(1)之间为滑动连接。
5.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的单晶炉用加料器,其特征在于:所述第一滑块(18)与第一滑槽(20)之间为卡合连接,且第一滑块(18)与第二滑块(19)之间结构相同,并且第一滑块(18)与第二滑块(19)之间为距离等于第一滑块(18)的一半。
6.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的单晶炉用加料器,其特征在于:所述第二滑槽(21)连接在第一滑槽(20)的中间部位,且第二滑槽(21)的底端面与第一滑槽(20)的底端面平齐,并且第二滑槽(21)呈圆弧形。
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CN115142122A (zh) * | 2022-09-01 | 2022-10-04 | 浙江求是半导体设备有限公司 | 一种单晶炉投料装置 |
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