CN211455656U - 一种bbd传感器调节机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种BBD传感器调节机构，包括安装在主轴输出端上的主轴连接板，所述主轴连接板上侧设有安装座，且主轴连接板后端面右侧上开设有条形槽，所述安装座前端面右侧上固定有BBD传感器，所述BBD传感器隐藏在条形槽内，所述安装座上端面一侧啮合调节旋钮螺钉，所述调节旋钮螺钉贯穿于安装座并与主轴连接板螺纹连接，本实用新型改变调节螺栓在主轴连接板上端的长度，改变安装座与主轴连接板之间的距离，从而带动安装座上的BBD传感器靠近或远离切割刀片，适用于不同主轴出轴距离的晶圆划片机，适用范围大，结构简单方便操作。

Description

一种BBD传感器调节机构

技术领域

本实用新型涉及晶圆划片机设备领域，特别涉及一种BBD传感器调节机构。

背景技术

目前晶圆划片机主轴常用的BBD传感器调节机构的结构和尺寸适用于长出轴的主轴，在主轴出轴长度较短时这种调节机构就不再适用，结构复杂且有使用局限性。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种BBD传感器调节机构，该调节机构结构简单，制造成本低，适用范围广。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为：

一种BBD传感器调节机构，包括安装在主轴输出端上的主轴连接板，所述主轴输出端上固定切割刀片，所述主轴连接板设置在切割刀片外侧，所述主轴连接板上侧设有安装座，且主轴连接板后端面右侧上开设有条形槽，所述安装座前端面右侧上固定有BBD传感器，所述BBD传感器隐藏在条形槽内，所述安装座上端面一侧啮合调节旋钮螺钉，所述安装座上开设有供调节旋钮螺钉转动的螺纹通孔，所述主轴连接板上端面开设有供调节螺钉转动的螺纹盲孔一，所述调节旋钮螺钉贯穿于安装座并与主轴连接板螺纹连接。

优选的，所述调节旋钮螺钉上套设压缩弹簧，所述压缩弹簧抵在主轴连接板和安装座之间。

优选的，所述安装座下端通过螺栓固定有导向杆，所述主轴连接板上端面与导向杆轴线重合设置有圆柱形凹槽，所述凹槽内设有衬套，所述衬套套设在导向杆上。

优选的，所述安装座前端面左侧通过螺栓固定有定位钣金，所述定位钣金上开设有滑槽，所述主轴连接板前端面上通过螺纹啮合有定位旋钮螺钉，所述定位旋钮螺钉贯穿于滑槽。

优选的，所述安装座前端面上开设有两组螺纹盲孔二，所述螺栓和定位旋钮螺钉分别啮合在两组螺纹盲孔二内。

采用上述技术方案，在主轴输出端安装不同外径的切割刀片时，改变调节螺栓在主轴连接板上端的长度，改变安装座与主轴连接板之间的距离，从而带动安装座上的传感器靠近或远离切割刀片，适用于不同主轴出轴距离的晶圆划片机，适用范围大，结构简单方便操作。

本实用新型通过安装座带动导向杆在衬套内上下运动，以及安装座运动时定位旋钮螺钉在定位钣金上的滑槽内滑动，起到限制安装座转动的目的，安装座移动方向固定，稳定性好，待传感器位置调节完毕后，拧紧定位螺钉便于固定安装座与主轴连接板之间的位置，固定方便，通过增加压缩弹簧实现缓冲功能，降低安装座运动过快导致传感器撞击切割刀片的概率。

附图说明

图1为本实用新型的结构图；

图2为本实用新型中导向杆与安装座以及主轴连接板的装配示意图；

图3为现有技术中传感器调节机构的爆炸图。

图中，1-传感器，2-安装座，3-调节旋钮螺钉，4-导向杆，5-衬套，6-压缩弹簧，7-定位旋钮螺钉，8-定位钣金，9-主轴连接板，10-切割刀片。

具体实施方式

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

下面结合附图1-3对本实用新型的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本实用新型，但并不构成对本实用新型的限定。此外，下面所描述的本实用新型各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。

本实用新型提供一种BBD传感器调节机构，包括安装在主轴输出端上的主轴连接板9，所述主轴输出端上固定切割刀片10，所述主轴连接板9设置在切割刀片10外侧，所述主轴连接板9上侧设有安装座2，且主轴连接板9后端面右侧上开设有条形槽，所述安装座2前端面右侧上固定有BBD传感器1，所述BBD传感器1隐藏在条形槽内，条形槽的设计为BBD传感器1提供了运动空间，所述安装座2上端面一侧啮合调节旋钮螺钉3，所述安装座2上开设有供调节旋钮螺钉3转动的螺纹通孔，所述主轴连接板9上端面开设有供调节螺钉转动的螺纹盲孔一，所述调节旋钮螺钉3贯穿于安装座2并与主轴连接板9螺纹连接，调节旋钮螺钉3同时在螺纹通孔和螺纹盲孔一内转动。

其中，所述调节旋钮螺钉3上套设压缩弹簧6，所述压缩弹簧6抵在主轴连接板9和安装座2之间，调节旋钮螺钉3转动时带动安装座2上下运动时，压缩弹簧6在安装座2和主轴连接板9之间压缩或展开，产生弹性形变。

其中，所述安装座2下端通过螺栓固定有导向杆4，所述主轴连接板9上端面与导向杆4轴线重合设置有圆柱形凹槽，所述凹槽内设有衬套5，所述衬套5套设在导向杆4上，衬套5的设计提高了导向杆4运动的平顺性。

其中，所述安装座2前端面左侧通过螺栓固定有定位钣金8，所述定位钣金8上开设有滑槽，所述主轴连接板9前端面上通过螺纹啮合有定位旋钮螺钉7，所述定位旋钮螺钉7贯穿于滑槽，当定位旋钮螺钉7拧紧并紧密贴合定位钣金8时，定位钣金8和安装座2的位置随之固定。

其中，所述安装座2前端面上开设有两组螺纹盲孔二，所述螺栓和定位旋钮螺钉7分别啮合在两组螺纹盲孔二内，螺纹盲孔二供螺栓和定位旋钮螺钉7转动。

工作原理：

根据切割刀片10的外径转动调节旋钮螺钉3，调节旋钮螺钉3带动安装座2向下运动，压缩弹簧6发生弹性形变，导向杆4在衬套5内滑动，同时安装座2带动定位钣金8向下运动，实现定位旋钮螺钉7在滑槽内滑动，BBD传感器1随安装座2在条形槽内运动，至BBD传感器1运动到合适位置，停止转动调节旋钮螺钉3，转动定位旋钮螺钉7，至其压紧定位钣金8并将定位钣金8固定在安装座2上，完成BBD传感器1位置的调节。

以上结合附图1-3对本实用新型的实施方式作了详细说明，但本实用新型不限于所描述的实施方式。对于本领域的技术人员而言，在不脱离本实用新型原理和精神的情况下，对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型，仍落入本实用新型的保护范围内。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

Claims (5)

1.一种BBD传感器调节机构，包括安装在主轴输出端上的主轴连接板(9)，其特征在于：所述主轴连接板(9)上侧设有安装座(2)，且主轴连接板(9)后端面右侧上开设有条形槽，所述安装座(2)前端面右侧上固定有BBD传感器(1)，所述BBD传感器(1)隐藏在条形槽内，所述安装座(2)上端面一侧啮合调节旋钮螺钉(3)，所述调节旋钮螺钉(3)贯穿于安装座(2)并与主轴连接板(9)螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种BBD传感器调节机构，其特征在于：所述调节旋钮螺钉(3)上套设压缩弹簧(6)，所述压缩弹簧(6)抵在主轴连接板(9)和安装座(2)之间。

3.根据权利要求1所述的一种BBD传感器调节机构，其特征在于：所述安装座(2)下端通过螺栓固定有导向杆(4)，所述主轴连接板(9)上端面与导向杆(4)轴线重合设置有圆柱形凹槽，所述凹槽内设有衬套(5)，所述衬套(5)套设在导向杆(4)上。

4.根据权利要求1所述的一种BBD传感器调节机构，其特征在于：所述安装座(2)前端面左侧通过螺栓固定有定位钣金(8)，所述定位钣金(8)上开设有滑槽，所述主轴连接板(9)前端面上通过螺纹啮合有定位旋钮螺钉(7)，所述定位旋钮螺钉(7)贯穿于滑槽。

5.根据权利要求4所述的一种BBD传感器调节机构，其特征在于：所述安装座(2)前端面上开设有两组螺纹盲孔二，所述螺栓和定位旋钮螺钉(7)分别啮合在两组螺纹盲孔二内。

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