CN211453717U - 一种半导体测试设备探针台用调节支架 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体测试设备探针台用调节支架，涉及探针台调节装置技术领域，包括底座，底座的顶部开设有滑槽，滑槽的内壁滑动连接有滑块，滑槽的内壁一侧固定连接有轴承，底座的一侧开设有螺孔，螺孔的一侧设置有第一转柄，第一转柄的一侧转动连接有螺杆，螺杆的一端贯穿螺孔和滑块延伸至轴承的一侧，且与轴承的一侧转动连接，滑块的顶部固定连接有支撑台，支撑台的顶部开设有圆孔，圆孔的一侧设置有转盘，转盘的底部转动连接有转轴。本实用新型通过螺杆和滑块的配合使用，实现了对探测针的位置进行移动的目的，操作简单，提高了移动的便捷性，且通过手动调节，比较容易控制，提高了检测的准确性。

Description

一种半导体测试设备探针台用调节支架

技术领域

本实用新型涉及探针台调节装置技术领域，特别涉及一种半导体测试设备探针台用调节支架。

背景技术

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试，广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本，由于对半导体进行测试是在较小的空间内来进行操作的，探针需要对半导体定位接触，如果直接手动对探针进行调节，则会导致误差过大，而且容易对半导体造成损伤，从而影响测试的结果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体测试设备探针台用调节支架，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体测试设备探针台用调节支架，包括底座，所述底座的顶部开设有滑槽，所述滑槽的内壁滑动连接有滑块，所述滑槽的内壁一侧固定连接有轴承，所述底座的一侧开设有螺孔，所述螺孔的一侧设置有第一转柄，所述第一转柄的一侧转动连接有螺杆，所述螺杆的一端贯穿螺孔和滑块延伸至轴承的一侧，且与轴承的一侧转动连接，所述滑块的顶部固定连接有支撑台。

优选的，所述支撑台的顶部开设有圆孔，所述圆孔的一侧设置有转盘，所述转盘的底部转动连接有转轴，所述转轴的一端贯穿圆孔且通过连接块与支撑台的内壁底部转动连接，所述转轴的外壁底部套接有第一齿轮，所述第一齿轮啮合连接有第二齿轮，所述第二齿轮的一侧转动连接有转杆，所述转杆的一端贯穿支撑台的一侧且转动连接有第二转柄，所述转盘的顶部固定连接有承载板。

优选的，所述承载板的顶部设置有横板，所述承载板与横板之间设置有减震机构。

优选的，所述横板的顶部一侧通过螺钉固定连接有调节板，所述调节板的底部一侧固定连接有探测针。

优选的，所述减震机构包括阻尼器，所述承载板的顶部与多个阻尼器的底部固定连接，多个所述阻尼器的顶部均固定连接有固定块，多个所述固定块均与横板的底部固定连接，多个所述阻尼器的外部均套接有减震弹簧，多个所述减震弹簧的底端与承载板的顶部固定连接，多个所述减震弹簧的顶端均与横板的底部固定连接。

优选的，所述底座的底部四个边角处分别固定连接有支撑腿，四个所述支撑腿的底部分别固定连接有垫圈。

本实用新型的技术效果和优点：

1、本实用新型通过螺杆和滑块的配合使用，实现了对探测针的位置进行移动的目的，操作简单，提高了移动的便捷性，且通过手动调节，比较容易控制，提高了检测的准确性；

2、本实用新型通过第一齿轮、第二齿轮、转盘和转杆的设置，实现了对探测针的运动方向尽心调节的目的，提高了探测针运动的便捷性，从而提高了检测效果。

附图说明

图1为本实用新型立体结构示意图。

图2为本实用新型正面结构示意图。

图3为本实用新型图2中A处局部放大结构示意图。

图中：1、底座；2、滑槽；3、滑块；4、第一转柄；5、螺杆；6、支撑台；7、转盘；8、转轴；9、第一齿轮；10、第二齿轮；11、转杆；12、第二转柄；13、承载板；14、横板；15、调节板；16、探测针；17、阻尼器；18、减震弹簧；19、支撑腿。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1-3所示的一种半导体测试设备探针台用调节支架，包括底座1，底座1的顶部开设有滑槽2，滑槽2的内壁滑动连接有滑块3，滑槽2的内壁一侧固定连接有轴承，底座1的一侧开设有螺孔，螺孔的一侧设置有第一转柄4，第一转柄4的一侧转动连接有螺杆5，螺杆5的一端贯穿螺孔和滑块3延伸至轴承的一侧，且与轴承的一侧转动连接，滑块3的顶部固定连接有支撑台6，转动第一转柄4，第一转柄4转动带动螺杆5转动，螺杆5转动带动滑块3移动，滑块3移动带动支撑台6运动，从而带动探测针16运动。

支撑台6的顶部开设有圆孔，圆孔的一侧设置有转盘7，转盘7的底部转动连接有转轴8，转轴8的一端贯穿圆孔且通过连接块与支撑台6的内壁底部转动连接，转轴8的外壁底部套接有第一齿轮9，第一齿轮9啮合连接有第二齿轮10，第二齿轮10的一侧转动连接有转杆11，转杆11的一端贯穿支撑台6的一侧且转动连接有第二转柄12，转盘7的顶部固定连接有承载板13，转动第二转柄12，第二转柄12带动转杆11转动，转杆11带动第二齿轮10转动，第二齿轮10带动第一齿轮9转动，第一齿轮9带动转轴8转动，转轴8带动转盘7转动，转盘7带动支撑台6转动，从而对探测针16的纵向位置进行调节，承载板13的顶部设置有横板14，承载板13与横板14之间设置有减震机构，横板14的顶部一侧通过螺钉固定连接有调节板15，调节板15的底部一侧固定连接有探测针16，减震机构包括阻尼器17，承载板13的顶部与多个阻尼器17的底部固定连接，多个阻尼器17的顶部均固定连接有固定块，多个固定块均与横板14的底部固定连接，多个阻尼器17的外部均套接有减震弹簧18，多个减震弹簧18的底端与承载板13的顶部固定连接，多个减震弹簧18的顶端均与横板14的底部固定连接，阻尼器17和减震弹簧18对横板14进行减震，底座1的底部四个边角处分别固定连接有支撑腿19，四个支撑腿19的底部分别固定连接有垫圈。

本实用工作原理：使用时，先将待检测的半导体放置在检测台上，转动第一转柄4，第一转柄4转动带动螺杆5转动，螺杆5转动带动滑块3移动，滑块3移动带动支撑台6运动，支撑台6带动承载板13移动，承载板13带动横板14运动，横板14带动调节板15运动，从而使调节板15带动探测针16横向运动，转动第二转柄12，第二转柄12带动转杆11转动，转杆11带动第二齿轮10转动，第二齿轮10带动第一齿轮9转动，第一齿轮9带动转轴8转动，转轴8带动转盘7转动，转盘7带动支撑台6转动，从而对探测针16的纵向位置进行调节。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种半导体测试设备探针台用调节支架，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部开设有滑槽(2)，所述滑槽(2)的内壁滑动连接有滑块(3)，所述滑槽(2)的内壁一侧固定连接有轴承，所述底座(1)的一侧开设有螺孔，所述螺孔的一侧设置有第一转柄(4)，所述第一转柄(4)的一侧转动连接有螺杆(5)，所述螺杆(5)的一端贯穿螺孔和滑块(3)延伸至轴承的一侧，且与轴承的一侧转动连接，所述滑块(3)的顶部固定连接有支撑台(6)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体测试设备探针台用调节支架，其特征在于：所述支撑台(6)的顶部开设有圆孔，所述圆孔的一侧设置有转盘(7)，所述转盘(7)的底部转动连接有转轴(8)，所述转轴(8)的一端贯穿圆孔且通过连接块与支撑台(6)的内壁底部转动连接，所述转轴(8)的外壁底部套接有第一齿轮(9)，所述第一齿轮(9)啮合连接有第二齿轮(10)，所述第二齿轮(10)的一侧转动连接有转杆(11)，所述转杆(11)的一端贯穿支撑台(6)的一侧且转动连接有第二转柄(12)，所述转盘(7)的顶部固定连接有承载板(13)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体测试设备探针台用调节支架，其特征在于：所述承载板(13)的顶部设置有横板(14)，所述承载板(13)与横板(14)之间设置有减震机构。

4.根据权利要求3所述的一种半导体测试设备探针台用调节支架，其特征在于：所述横板(14)的顶部一侧通过螺钉固定连接有调节板(15)，所述调节板(15)的底部一侧固定连接有探测针(16)。

5.根据权利要求3所述的一种半导体测试设备探针台用调节支架，其特征在于：所述减震机构包括阻尼器(17)，所述承载板(13)的顶部与多个阻尼器(17)的底部固定连接，多个所述阻尼器(17)的顶部均固定连接有固定块，多个所述固定块均与横板(14)的底部固定连接，多个所述阻尼器(17)的外部均套接有减震弹簧(18)，多个所述减震弹簧(18)的底端与承载板(13)的顶部固定连接，多个所述减震弹簧(18)的顶端均与横板(14)的底部固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体测试设备探针台用调节支架，其特征在于：所述底座(1)的底部四个边角处分别固定连接有支撑腿(19)，四个所述支撑腿(19)的底部分别固定连接有垫圈。

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