CN211439296U - 一种新型环保硅片研磨机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型环保硅片研磨机，包括底座，底座上设有支撑柱，支撑柱上端设有安装横梁，安装横梁中部设有油缸，油缸下端固定连接上转盘，上转盘包括固定座、研磨部和吸尘盘，吸尘盘与集尘箱相连，上转盘正下方设有下转盘，下转盘上端设有固定块，固定块上设有安装槽，安装槽内固定连接有直行气缸，直行气缸输出端延伸到安装槽外部且固定连接有夹板，下转盘底端与转轴上端固定连接，转轴下端与底座转动连接，转轴上设有从动斜齿齿轮，底座上还设有转动电机，转动电机输出端上设有主动斜齿齿轮，主动斜齿齿轮和从动斜齿齿轮啮合。本实用新型具有结构简单、便于操作且使用效果好和更加环保等优点。

Description

一种新型环保硅片研磨机

技术领域

本实用新型属于硅片制造技术领域，具体涉及一种新型环保硅片研磨机。

背景技术

单晶硅作为一种重要的半导体材料，具有良好的电学性能和热稳定性，自被人们发现和利用后很快替代其它半导体材料。硅材料因其具有耐高温和抗辐射性能较好，特别适用于制作大功率器件的特性而成为应用最多的一种半导体材料，集成电路半导体器件大多数硅材料制成的。在制造性能良好的硅单晶方法中，直拉法生长硅单晶具有设备和工艺相对简单、容易实现自动控制。直拉单晶硅棒从单晶炉中拉制出来以后需要进行一系列的工序，前期包括截断、开方、圆角研磨和平面研磨等机械加工；中期还需要将单晶硅棒进行滚磨、切片、清洗、倒角、研磨和再清洗等工；后期将硅片进行制绒、扩散、结晶和烧结等工序后才能制造成半导体器件或用于光伏发电的太阳能电池片。

现有的研磨机中的驱动装置通常采用齿轮传动方式，来驱动研磨机对硅片进行磨削，由于研磨机长时间运行时，采用齿轮传动方式，齿轮上的锯齿会磨损，使两齿轮啮合稳定性较差，导致研磨机对硅片磨削的精度较差，提高了对硅片的报废率。

授权公告号为CN205184524U，授权公告日为2016.4.27的中国专利公开了一种研磨机，其特征在于：包括基座和研磨装置，所述的基座内设有电机，该电机的电机轴上套设有第一皮带轮，所述的研磨装置包括气缸、立柱、上板、下板、连接杆、第二皮带轮和设于基座上方的研磨桶，该研磨桶与基座固定连接，所述的立柱固定于基座的侧壁上，所述的气缸固定于立柱上，该气缸的气缸轴穿过立柱设置并与上板固定连接，所述的下板与连接杆的上端的端部固定连接，该下板位于研磨桶中，该上板与下板对应设置，所述的连接杆的下端穿过基座设置，该连接杆与基座转动连接，该连接杆的下端的端部上套设有第二皮带轮，该第二皮带轮与第一皮带轮对应设置，还包括皮带，所述的皮带分别与第一皮带轮和第二皮带轮连接。但该装置在工作的过程中，产生大量的研磨粉尘，严重污染环境，工作完成之后，研磨盘表面残留的大量粉尘不便于清洁，费时费力。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种结构简单、便于操作且使用效果好和更加环保的新型环保硅片研磨机。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

一种新型环保硅片研磨机，包括底座，其特征在于：所述底座上设置有支撑柱，所述支撑柱上端固定设置有安装横梁，所述安装横梁中部设置有油缸，所述油缸下端固定连接上转盘，所述上转盘包括固定座、研磨部和吸尘盘，所述固定座上端与油缸下端固定连接，所述固定座下方固定连接多个研磨部，所述固定座下方还与吸尘盘固定连接，所述吸尘盘与集尘箱相连，所述上转盘正下方设置有下转盘，所述下转盘与上转盘相匹配，所述下转盘上端设置有固定块，所述固定块上设置有安装槽，所述安装槽内固定连接有直行气缸，所述直行气缸输出端延伸到安装槽外部且固定连接有夹板，所述下转盘底端与转轴上端固定连接，所述转轴下端与底座转动连接，所述转轴上固定设置有从动斜齿齿轮，所述底座上还设置有转动电机，所述转动电机输出端上设置有主动斜齿齿轮，所述主动斜齿齿轮和从动斜齿齿轮啮合。

优选的，集尘箱内部分别设有抽风机、活性炭过滤网和水液，所述抽风机设置在集尘箱内壁的左上方，所述抽风机的进风端通过进气管与吸尘盘相连，所述抽风机的出气端通过出气管插入水液中，所述活性炭过滤网固定设置在集尘箱内壁的中部，所述水液位于活性炭过滤网下方。

优选的，所述集尘箱右上方还设置有排气管。

优选的，所述集尘箱右下方设置有排污口。

优选的，所述集尘箱通过安装板固定设置在支撑柱上。

优选的，所述安装横梁上还设置有照明灯。

优选的，所述夹板与固定块的向对面上设置有摩擦垫。

本技术方案的有益效果如下：

一、本实用新型提供的一种新型环保硅片研磨机，使用时控制直行气缸伸出，将硅片放置在固定块与夹板之间，随后控制直行气缸收缩，硅片固定好后停止直行气缸运行，随后控制油缸向下伸出，上转盘与下转盘相接触后，停止油缸向下运行，此时研磨部与硅片相接触，启动转动电机，主动斜齿齿轮在转动电机的带动下转动，从动斜齿齿轮随主动斜齿齿轮转动，从而带动转轴和下转盘转动，硅片开始研磨，硅片研磨下来粉尘，从吸尘盘通过集尘箱内的抽风机排入集尘箱内，粉尘通过水液时被水液留下，气体从排气管排出。本实用新型具有结构简单、便于操作且使用效果好和更加环保等优点。

二、本实用新型提供的一种新型环保硅片研磨机，硅片研磨下来的粉尘在抽风机的抽引作用下，从进气管通过出气管进入水液中，粉尘被留在水液中，气体从水液离开最后通过排气管排出集尘箱，活性炭过滤网的设置防止少量的粉尘从水液中逸出逃离集尘箱，进一步保证装置的环保性能。

三、本实用新型提供的一种新型环保硅片研磨机，集尘箱设置的排污口使得更换水液时排出更方便，装置的操作更简单。

四、本实用新型提供的一种新型环保硅片研磨机，照明灯能够在装置进行研磨时清楚的看清硅片的情况，防止误操作。

五、本实用新型提供的一种新型环保硅片研磨机，夹板与固定块的向对面上设置有摩擦垫，防止硅片损坏。

附图说明

本实用新型的前述和下文具体描述在结合以下附图阅读时变得更清楚，附图中：

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型上转盘的结构示意图；

图3是本实用新型下转盘的结构示意图；

图4是本实用新型固定块的结构示意图；

图5是本实用新型集尘箱的结构示意图；

图中：1、底座；2、支撑柱；3、安装横梁；4、油缸；5、上转盘；5.1、固定座；5.2、研磨部；5.3、吸尘盘；6、集尘箱；6.1、抽风机；6.2、活性炭过滤网；6.3、水液；6.4、进气管；6.5、出气管；6.6、排气管；6.7、排污口；7、下转盘；8、固定块；8.1、安装槽；8.2、直行气缸；8.3、夹板；8.4、摩擦垫；9、转轴；9.1、从动斜齿齿轮；10、转动电机；10.1、主动斜齿齿轮；11、安装板；12、照明灯。

具体实施方式

下面通过几个具体的实施例来进一步说明实现本实用新型目的技术方案，需要说明的是，本实用新型要求保护的技术方案包括但不限于以下实施例。

实施例1

作为本实用新型一种最基本的实施方案，本实施例公开了一种新型环保硅片研磨机，如图1—图4所示，包括底座1，所述底座1上设置有支撑柱2，所述支撑柱2上端固定设置有安装横梁3，所述安装横梁3中部设置有油缸4，所述油缸4下端固定连接上转盘5，所述上转盘5包括固定座5.1、研磨部5.2和吸尘盘5.3，所述固定座5.1上端与油缸4下端固定连接，所述固定座5.1下方固定连接多个研磨部5.2，所述固定座5.1下方还与吸尘盘5.3固定连接，所述吸尘盘5.3与集尘箱6相连，所述上转盘5正下方设置有下转盘7，所述下转盘7与上转盘5相匹配，所述下转盘7上端设置有固定块8，所述固定块8上设置有安装槽8.1，所述安装槽8.1内固定连接有直行气缸8.2，所述直行气缸8.2输出端延伸到安装槽8.1外部且固定连接有夹板8.3，所述下转盘7底端与转轴9上端固定连接，所述转轴9下端与底座1转动连接，所述转轴9上固定设置有从动斜齿齿轮9.1，所述底座1上还设置有转动电机10，所述转动电机10输出端上设置有主动斜齿齿轮10.1，所述主动斜齿齿轮10.1和从动斜齿齿轮9.1啮合。

本实用新型提供的一种新型环保硅片研磨机，使用时控制直行气缸8.2伸出，将硅片放置在固定块8与夹板8.3之间，随后控制直行气缸8.2收缩，硅片固定好后停止直行气缸8.2运行，随后控制油缸4向下伸出，上转盘5与下转盘7相接触后，停止油缸4向下运行，此时研磨部5.2与硅片相接触，启动转动电机10，主动斜齿齿轮10.1在转动电机10的带动下转动，从动斜齿齿轮9.1随主动斜齿齿轮10.1转动，从而带动转轴9和下转盘7转动，硅片开始研磨，硅片研磨下来粉尘，从吸尘盘5.3通过集尘箱6内的抽风机6.1排入集尘箱6内，粉尘通过水液6.3时被水液6.3留下，气体从排气管6.6排出。本实用新型具有结构简单、便于操作且使用效果好和更加环保等优点。

实施例2

作为本实用新型一种优选的实施方案，本实施例公开了一种新型环保硅片研磨机，如图1—图4所示，包括底座1，所述底座1上设置有支撑柱2，所述支撑柱2上端固定设置有安装横梁3，所述安装横梁3中部设置有油缸4，所述油缸4下端固定连接上转盘5，所述上转盘5包括固定座5.1、研磨部5.2和吸尘盘5.3，所述固定座5.1上端与油缸4下端固定连接，所述固定座5.1下方固定连接多个研磨部5.2，所述固定座5.1下方还与吸尘盘5.3固定连接，所述吸尘盘5.3与集尘箱6相连，所述上转盘5正下方设置有下转盘7，所述下转盘7与上转盘5相匹配，所述下转盘7上端设置有固定块8，所述固定块8上设置有安装槽8.1，所述安装槽8.1内固定连接有直行气缸8.2，所述直行气缸8.2输出端延伸到安装槽8.1外部且固定连接有夹板8.3，所述下转盘7底端与转轴9上端固定连接，所述转轴9下端与底座1转动连接，所述转轴9上固定设置有从动斜齿齿轮9.1，所述底座1上还设置有转动电机10，所述转动电机10输出端上设置有主动斜齿齿轮10.1，所述主动斜齿齿轮10.1和从动斜齿齿轮9.1啮合。

如图5所示，优选的，集尘箱6内部分别设有抽风机6.1、活性炭过滤网6.2和水液6.3，所述抽风机6.1设置在集尘箱6内壁的左上方，所述抽风机6.1的进风端通过进气管6.4与吸尘盘5.3相连，所述抽风机6.1的出气端通过出气管6.5插入水液6.3中，所述活性炭过滤网6.2固定设置在集尘箱6内壁的中部，所述水液6.3位于活性炭过滤网6.2下方。

优选的，所述集尘箱6右上方还设置有排气管6.6。

优选的，所述集尘箱6右下方设置有排污口6.7。

优选的，所述集尘箱6通过安装板11固定设置在支撑柱2上。

优选的，所述安装横梁3上还设置有照明灯12。

优选的，所述夹板8.3与固定块8的向对面上设置有摩擦垫8.4。

本实用新型提供的一种新型环保硅片研磨机，使用时控制直行气缸8.2伸出，将硅片放置在固定块8与夹板8.3之间，随后控制直行气缸8.2收缩，硅片固定好后停止直行气缸8.2运行，随后控制油缸4向下伸出，上转盘5与下转盘7相接触后，停止油缸4向下运行，此时研磨部5.2与硅片相接触，启动转动电机10，主动斜齿齿轮10.1在转动电机10的带动下转动，从动斜齿齿轮9.1随主动斜齿齿轮10.1转动，从而带动转轴9和下转盘7转动，硅片开始研磨，硅片研磨下来粉尘，从吸尘盘5.3通过集尘箱6内的抽风机6.1排入集尘箱6内，粉尘通过水液6.3时被水液6.3留下，气体从排气管6.6排出。本实用新型具有结构简单、便于操作且使用效果好和更加环保等优点。

硅片研磨下来的粉尘在抽风机6.1的抽引作用下，从进气管6.4通过出气管6.5进入水液6.3中，粉尘被留在水液6.3中，气体从水液6.3离开最后通过排气管6.6排出集尘箱6，活性炭过滤网6.2的设置防止少量的粉尘从水液6.3中逸出逃离集尘箱6，进一步保证装置的环保性能。集尘箱6设置的排污口6.7使得更换水液6.3时排出更方便，装置的操作更简单。照明灯12能够在装置进行研磨时清楚的看清硅片的情况，防止误操作。夹板8.3与固定块8的向对面上设置有摩擦垫8.4，防止硅片损坏。

以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种新型环保硅片研磨机，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）上设置有支撑柱（2），所述支撑柱（2）上端固定设置有安装横梁（3），所述安装横梁（3）中部设置有油缸（4），所述油缸（4）下端固定连接上转盘（5），所述上转盘（5）包括固定座（5.1）、研磨部（5.2）和吸尘盘（5.3），所述固定座（5.1）上端与油缸（4）下端固定连接，所述固定座（5.1）下方固定连接多个研磨部（5.2），所述固定座（5.1）下方还与吸尘盘（5.3）固定连接，所述吸尘盘（5.3）与集尘箱（6）相连，所述上转盘（5）正下方设置有下转盘（7），所述下转盘（7）与上转盘（5）相匹配，所述下转盘（7）上端设置有固定块（8），所述固定块（8）上设置有安装槽（8.1），所述安装槽（8.1）内固定连接有直行气缸（8.2），所述直行气缸（8.2）输出端延伸到安装槽（8.1）外部且固定连接有夹板（8.3），所述下转盘（7）底端与转轴（9）上端固定连接，所述转轴（9）下端与底座（1）转动连接，所述转轴（9）上固定设置有从动斜齿齿轮（9.1），所述底座（1）上还设置有转动电机（10），所述转动电机（10）输出端上设置有主动斜齿齿轮（10.1），所述主动斜齿齿轮（10.1）和从动斜齿齿轮（9.1）啮合。

2.如权利要求1所述的一种新型环保硅片研磨机，其特征在于：集尘箱（6）内部分别设有抽风机（6.1）、活性炭过滤网（6.2）和水液（6.3），所述抽风机（6.1）设置在集尘箱（6）内壁的左上方，所述抽风机（6.1）的进风端通过进气管（6.4）与吸尘盘（5.3）相连，所述抽风机（6.1）的出气端通过出气管（6.5）插入水液（6.3）中，所述活性炭过滤网（6.2）固定设置在集尘箱（6）内壁的中部，所述水液（6.3）位于活性炭过滤网（6.2）下方。

3.如权利要求1所述的一种新型环保硅片研磨机，其特征在于：所述集尘箱（6）右上方还设置有排气管（6.6）。

4.如权利要求1所述的一种新型环保硅片研磨机，其特征在于：所述集尘箱（6）右下方设置有排污口（6.7）。

5.如权利要求1所述的一种新型环保硅片研磨机，其特征在于：所述集尘箱（6）通过安装板（11）固定设置在支撑柱（2）上。

6.如权利要求1所述的一种新型环保硅片研磨机，其特征在于：所述安装横梁（3）上还设置有照明灯（12）。

7.如权利要求1所述的一种新型环保硅片研磨机，其特征在于：所述夹板（8.3）与固定块（8）的向对面上设置有摩擦垫（8.4）。

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