CN211419983U - 一种石英环火抛光装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及石英加工技术领域，具体涉及一种石英环火抛光装置，其包括操作台架，操作台架包括支架和操作台组件，操作台组件设置于支架上，操作台组件包括载物台和抛光枪架，待加工的石英环固定于载物台上，抛光枪架设置于载物台的一侧；抛光枪架的底端固定于载物台上、顶端设有抛光枪头，抛光枪头的喷射口朝向载物台的台面；载物台设置于一旋转台上，旋转台经由电机驱动后转动时带动载物台旋转。本实用新型大幅提高石英环的加工效率，保证待加工品的整体面型，避免加工过程中对待加工品的二次污染；结构简单，操作便利；效率高、成本低、减少资源浪费。

Description

一种石英环火抛光装置

技术领域

本实用新型涉及石英加工技术领域，具体涉及一种石英环火抛光装置。

背景技术

随着世界半导体科技的发展，生产半导体材料的耗材的使用量逐年增加，作为半导体主要耗材之一的石英材料制品的主打产品——石英环的用量快速增加，产品产出持续扩张，国家产业政策鼓励石英环产业向高技术产品方向发展，国内企业新增投资项目投资也逐渐增多，面对市场需求的增加，目前常规生产加工方式无法在激烈的市场竞争中取得优势，为了使我们石英环制造企业提升市场竞争力，降低生产成本必须时刻进行技术改进与革新。

由于石英环材料应用的特点，对产品的内、外圈尺寸及外观有非常精密的要求，目前石英环表面抛光处理加工方式有两种：一是应用极细的抛光粉来进行冷抛光，抛光时间长，需消耗大量抛光粉，且大多只能抛光上下面，稍有复杂结构的产品就无法抛光；二是利用氢氧焰烧灼石英产品表面使其表面融化以达到抛光要求，但现有火抛光都是人工操作，作业温度高，长时间作业操作人员受不了，且产品品质不稳定，效率低下，批量生产耗费大量人力物力，无法满足目前市场对石英环的大批量需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种石英环火抛光装置，解决以上技术问题。

本实用新型所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现：

一种石英环火抛光装置，包括操作台架，所述操作台架包括支架和操作台组件，所述操作台组件设置于所述支架上，待加工件在所述操作台组件上进行火抛光作业，其中，所述操作台组件包括载物台和抛光枪架，待加工的石英环固定于所述载物台上，所述抛光枪架设置于所述载物台的一侧；

所述抛光枪架的底端固定于所述支架上、顶端设有抛光枪头，所述抛光枪头的喷射口朝向所述载物台的台面；

所述载物台设置于一旋转台上，所述旋转台经由电机驱动后转动时带动所述载物台旋转。

本实用新型通过设置旋转的载物台和位于其一侧的抛光枪架，对待加工件进行匀速稳定的火抛光加工，效率高，精度高，成材率高。

所述抛光枪架设有至少两个，任一所述抛光枪架的顶端设有一所述抛光枪头。

所述载物台的对向的两侧均设有至少一所述抛光枪架。

所述载物台的对向的两侧设置的所述抛光枪架为一一对应。

所述载物台的一侧设有至少两块防护挡板，所述防护挡板固定于所述支架上，以便阻隔火抛光操作时的火焰高温外泄，也减少所处环境对待加工件的污染。

所述载物台采用石墨制成的载物台，避免支架和旋转台的金属离子对待加工件造成污染，也可以有效隔热，放置火抛光时的高温对旋转台造成伤害。

所述载物台的台面上设有至少两个用于支撑待加工石英环的支撑柱，任一所述支撑柱采用石英制成的支撑柱，采用石英材质制成支撑柱可有效保证待加工件不受污染，也可以更好确保平面度的要求。

所述载物台上设有凹槽，任一所述凹槽与一所述支撑柱一一对应，支撑柱可方便嵌入凹槽内，有助于定期更换时的操作方便。

优选的，所述载物台的台面上设有六个所述凹槽，任一所述凹槽内设有一所述支撑柱，且六个所述支撑柱的顶端位于同一平面，且平面度不大于 0.005mm。

有益效果：由于采用上述技术方案，本实用新型通过将待加工的石英环平放于由伺服电机驱动后旋转的载物台上，由其两边架设的抛光枪头喷出适当强度的火焰对石英环进行匀速烧灼，达到抛光要求，大幅提高石英环的加工效率，具有如下优点：

1)保证待加工品的整体面型，避免加工过程中对待加工品的二次污染；

2)结构简单，操作便利；

3)效率高、成本低、减少资源浪费。

附图说明

图1为本实用新型的一种结构示意图；

图2为图1的立体结构图。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示进一步阐述本实用新型。需要说明的是，本实用新型的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等 (如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应当理解，这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的实施例能够以除了在这里图示或描述的内容以外的顺序实施。此外，术语“包括”或“具有”及其任何变形，其意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列组成部件或单元的产品或设备不必限于清楚地列出的那些组成部件或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些产品或设备固有的其它部件组成或者组成单元。

参照图1、图2，一种石英环火抛光装置，包括操作台架，操作台架包括支架100和操作台组件。操作台组件设置于支架100上，操作台组件包括载物台201和抛光枪架202，待加工的石英环在加工时被固定于载物台201上，抛光枪架202设置于载物台201的一侧，抛光枪架202的底端固定于支架100 上、顶端设有抛光枪头，抛光枪头的喷射口朝向载物台201的台面；

载物台201设置于旋转台301上，旋转台301经由电机303驱动后转动时带动载物台201旋转。

在一些实施例中，载物台201的台面上设有至少两个用于支撑待加工石英环的支撑柱2011。载物台201上设有凹槽，任一凹槽与一支撑柱2011一一对应，任一支撑柱2011均嵌入凹槽内。

在其中一些优选的实施例中，载物台201的台面上设有六个凹槽，任一凹槽内设有一支撑柱2011，且六个支撑柱2011的顶端位于同一平面，且平面度不大于0.005mm，以便提高火抛光时的操作精度，确保加工质量。需要说明的是，六个凹槽不能位于同一直线上，可围绕载物台201的中心排布，从而使六个支撑柱2011围绕载物台201中心设置，便于平稳放置待加工件。

在其中一些优选的实施例中，支撑柱2011采用石英材料制成。

在一些实施例中，操作台架的支架100内设有电机303、减速机304、旋转转轴302，旋转转轴302上套设万向连接套401，通过万向连接套401使旋转转轴302与减速机304的转轴联轴连接，用于缓冲旋转转轴302和减速机 304转轴的转速差；旋转转轴302上设有锥形轴承402，旋转转轴302竖直向上穿过操作台组件的台面后在其伸出端设置旋转台301；支架100上通过隔板 101将电机303、减速机304、旋转转轴302封闭在操作台组件的台面下。

在其中一些优选的实施例中，旋转转轴302为多段式结构，相邻的旋转转轴302的联轴处通过锥形轴承402相互连接。该多段旋转转轴的结构可使转轴的长度不至于太长，便于材料的安装和运输，也便于多段式灵活组合的情况下对应不同的操作台高度。锥形轴承又称圆锥滚子轴承，可有效保证旋转转轴的轴向稳定。

在一些实施例中，旋转台301的台面上设有三个凸起结构3011，三个凸起结构3011不在同一直线上，且对应三个凸起结构3011在载物台201的底面设有三个凹点结构2012，凸起结构3011与凹点结构2012一一对应，使得载物台201放置在旋转台301上时，任一凸起结构3011嵌入和其对应的凹点结构2012内，使得两个平台相互固定，防止旋转时产生相对滑动后导致移载台201掉落。

在一些实施例中，载物台201的一侧设有至少两个抛光枪架202，任一抛光枪架202的顶端均设有一抛光枪头。在其中一些优选实施例中，载物台201 的对向的两侧均设有至少一抛光枪架202。

在其中一些优选实施例中，载物台201的对向的两侧设置的抛光枪架202 为一一对应，两侧的抛光枪架202可呈对称设置。

在一些实施例中，载物台201的一侧设有至少两块防护挡板203，防护挡板203固定于支架100上，具体位于支架100的顶部与操作台组件的连接处。

在其中一些优选的实施例中，支架100内设有前后左右四个防护挡板203，以便形成一个包围结构将电机、减速机、旋转转轴包围其中。

在一些实施例中，载物台201采用石墨制成。

本实用新型操作时，按如下步骤进行：

1)根据待加工的石英环的结构，通过控制柜设定相应的旋转速度、火焰大小等相关参数；

2)将待加工的石英环放置于载物台的支撑柱上，并调整产品轴向同心；

3)依次启动控制柜设置的旋转速度及火焰控制，一次匀速旋转抛光一周，完成作业。

本实用新型工作时，对待加工件进行水平式抛光：抛光时，将待加工件水平放置与载物台的台面上，使其架设在支撑柱上，通过支撑柱的顶端所在的平面的平面度来控制待加工件的平面度和相关面型。

本实用新型工作时，对待加工件进行水平匀速旋转方式抛光：抛光时，旋转台为匀速旋转，可有效避免其他方式加工时因旋转带来的不必要的产品污染，整个抛光过程应当避免人工中途取放，一次抛光完成。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (10)

1.一种石英环火抛光装置，包括操作台架，所述操作台架包括支架和操作台组件，所述操作台组件设置于所述支架上，其特征在于，所述操作台组件包括载物台和抛光枪架，所述抛光枪架设置于所述载物台的一侧，所述抛光枪架的底端固定于所述支架上、顶端设有抛光枪头，所述抛光枪头的喷射口朝向所述载物台的台面，所述载物台设置于一旋转台上。

2.根据权利要求1所述的一种石英环火抛光装置，其特征在于，旋转台的台面上设有三个凸起结构，所述三个凸起结构不在同一直线上，且对应所述三个凸起结构在所述载物台的底面设有三个凹点结构，所述凸起结构与所述凹点结构一一对应，所述载物台放置在所述旋转台上时，任一所述凸起结构嵌入和其对应的所述凹点结构内。

3.根据权利要求2所述的一种石英环火抛光装置，其特征在于，所述抛光枪架设有至少两个，任一所述抛光枪架的顶端设有一所述抛光枪头。

4.根据权利要求2所述的一种石英环火抛光装置，其特征在于，所述载物台的对向的两侧均设有至少一所述抛光枪架。

5.根据权利要求2所述的一种石英环火抛光装置，其特征在于，所述载物台的对向的两侧设置的所述抛光枪架为一一对应。

6.根据权利要求1所述的一种石英环火抛光装置，其特征在于，所述载物台的一侧设有至少两块防护挡板，所述防护挡板固定于所述支架上。

7.根据权利要求1至6任一项所述的一种石英环火抛光装置，其特征在于，所述载物台采用石墨制成的载物台。

8.根据权利要求7所述的一种石英环火抛光装置，其特征在于，所述载物台的台面上设有至少两个支撑柱，任一所述支撑柱采用石英制成的支撑柱。

9.根据权利要求8所述的一种石英环火抛光装置，其特征在于，所述载物台上设有凹槽，任一所述凹槽与一所述支撑柱一一对应。

10.根据权利要求9所述的一种石英环火抛光装置，其特征在于，所述载物台的台面上设有六个所述凹槽，任一所述凹槽内设有一所述支撑柱，且六个所述支撑柱的顶端位于同一平面，且平面度不大于0.005mm。

Images