CN211414743U - 一种蓝宝石衬底抛光台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种蓝宝石衬底抛光台，包括陶瓷抛光台，其特征在于：所述陶瓷抛光台的表面贴合设置有柔性塑料皮，所述柔性塑料皮的厚度为10μm～20μm之间，所述柔性塑料皮贯穿分布有圆孔，所述圆孔的直径为2mm～5mm之间，其技术方案要点是：通过在陶瓷抛光台上铺设柔性塑料皮，将蓝宝石片放置在柔性塑料皮上后，能够防止坚硬的陶瓷颗粒直接与蓝宝石片接触，通过设置圆孔，使聚四氟乙烯层在抛光机的压力下能够变形延伸，均匀分散蓝宝石片的压力，并且柔性塑料皮硬度低，不会对蓝宝石片造成任何划伤。
Description
技术领域
本实用新型涉及衬底生产技术领域，更具体地说，它涉及一种蓝宝石衬底抛光台。
背景技术
蓝宝石衬底主要用作LED芯片，衬底片的质量对后续GaN外延层的生长以及制备LED性能和成品率有很大的影响。为了改善衬底的厚度和精度，需要对衬底片进行减薄，其中，衬底片的减薄是通过研磨、抛光控制的，主要方法为通过抛光机进行机械化学抛光。
现有技术主要采用抛光机进行抛光，通过将衬底放置在抛光台上，由抛光机上的抛光盘进行抛光。目前的抛光台主要为陶瓷台，其表面存在细小突起颗粒，由于蓝宝石片的厚度较薄，蓝宝石片在受压力后导致受力集中，容易出现裂痕，造成产品报废，由于蓝宝石片价格高昂，成本浪费较大。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种蓝宝石衬底抛光台，其具有能够放置蓝宝石衬底片受损的优势。
为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：
一种蓝宝石衬底抛光台，包括陶瓷抛光台，其特征在于：所述陶瓷抛光台的表面贴合设置有柔性塑料皮，所述柔性塑料皮的厚度为10μm～20μm之间，所述柔性塑料皮贯穿分布有圆孔，所述圆孔的直径为2mm～5mm之间。
优选的，所述柔性塑料皮为聚四氟乙烯层。
优选的，任意相邻两个所述圆孔的圆心距相等。
优选的，任意相邻两个所述圆孔的圆心距大小为3～8mm。
优选的，所述柔性塑料皮设置有接通任意相邻两个圆孔的排液槽，所述排液槽贯穿所述柔性塑料皮。
优选的，所述柔性塑料皮的其中一个侧边连接有卷棒。
优选的，所述卷棒两端转动设置有两个转动轴。
与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：
1、通过在陶瓷抛光台上铺设柔性塑料皮，将蓝宝石片放置在柔性塑料皮上后，能够防止坚硬的陶瓷颗粒直接与蓝宝石片接触，通过设置圆孔，使聚四氟乙烯层在抛光机的压力下能够变形延伸，均匀分散蓝宝石片的压力，并且柔性塑料皮硬度低，不会对蓝宝石片造成任何划伤；柔性塑料皮采用聚四氟乙烯层制作，具有柔软度好，耐腐蚀，刚度和硬度都较小的特点，有效提供缓冲和支撑；
2、通过设置排液槽，使抛光液能够在排泄槽之间流通，防止固废液体积攒在圆孔内，使抛光时的废弃物能够顺利排出；
3、通过设置卷棒，便于铺设和卷起柔性塑料皮，使铺设更均匀，同时，便于更换柔性塑料皮，通过在卷棒两端设置转动轴，便于操作人员按压时转动，收卷更平稳。
附图说明
图1为本实施例的结构示意图。
图中：1、陶瓷抛光台；2、柔性塑料皮；21、圆孔；22、排液槽；3、卷棒；31、转动轴。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
一种蓝宝石衬底抛光台，参照图1，其包括陶瓷抛光台1，陶瓷抛光台1的表面贴合设置有柔性塑料皮2，柔性塑料皮2的厚度为10μm～20μm之间，柔性塑料皮2贯穿分布有圆孔21，圆孔21的直径为2mm～5mm之间，柔性塑料皮2为聚四氟乙烯层，具有柔软度好，耐腐蚀，刚度和硬度都较小的特点，有效提供缓冲和支撑，将蓝宝石片放置在柔性塑料皮2上后，能够防止坚硬的陶瓷颗粒直接与蓝宝石片接触，通过设置圆孔21，使聚四氟乙烯层在抛光机的压力下能够变形延伸，均匀分散蓝宝石片的压力，并且柔性塑料皮2硬度低，不会对蓝宝石片造成任何划伤。
任意相邻两个圆孔21的圆心距相等，使得圆孔21等距分布，使蓝宝石片受力均匀。任意相邻两个圆孔21的圆心距大小为3～8mm，根据不同的蓝宝石片尺寸设置相应的圆孔21分布密度，使其受力更合理。
柔性塑料皮2设置有接通任意相邻两个圆孔21的排液槽22，排液槽22贯穿柔性塑料皮2，通过设置排液槽22，使抛光液能够在排泄槽之间流通，防止固废液体积攒在圆孔21内，使抛光时的废弃物能够顺利排出。
柔性塑料皮2的其中一个侧边连接有卷棒3，便于铺设和卷起柔性塑料皮2，卷棒3两端通过轴承转动设置有两个转动轴31，便于操作人员按压同时转动，使收卷更平稳、整齐。
本实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。
Claims (7)
1.一种蓝宝石衬底抛光台，包括陶瓷抛光台，其特征在于：所述陶瓷抛光台的表面贴合设置有柔性塑料皮，所述柔性塑料皮的厚度为10μm～20μm之间，所述柔性塑料皮贯穿分布有圆孔，所述圆孔的直径为2mm～5mm之间。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底抛光台，其特征在于：所述柔性塑料皮为聚四氟乙烯层。
3.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底抛光台，其特征在于：任意相邻两个所述圆孔的圆心距相等。
4.根据权利要求3所述的蓝宝石衬底抛光台，其特征在于：任意相邻两个所述圆孔的圆心距大小为3～8mm。
5.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底抛光台，其特征在于：所述柔性塑料皮设置有接通任意相邻两个圆孔的排液槽，所述排液槽贯穿所述柔性塑料皮。
6.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底抛光台，其特征在于：所述柔性塑料皮的其中一个侧边连接有卷棒。
7.根据权利要求6所述的蓝宝石衬底抛光台，其特征在于：所述卷棒两端转动设置有两个转动轴。
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