CN211413092U - 一种清洗晶圆的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及了一种清洗晶圆的装置，包括槽体以及设置于槽体内的喷淋组件、电磁筛与加热管，所述电磁筛设置于喷淋组件的下方，所述加热管固定于槽体内壁上；所述喷淋组件包括喷淋组件本体，所述喷淋组件本体上设置有动力元件、行走部件、旋转载台以及若干喷淋头，所述行走部件与槽体槽口相适配，所述动力元件用于驱动行走部件沿槽口行走，所述旋转载台上开设有载物通孔，所述喷淋组件本体内设置有与各喷淋头相连接的管道；所述槽体底部开设有槽体进液口以及槽体出液口，槽体进液口以及槽体出液口均位于电磁筛的下方，所述槽体出液口处设置有分流装置。该清洗晶圆的装置能够实现高效、环保以及节能的效果。

Description

一种清洗晶圆的装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆清洗的领域，尤其涉及一种清洗晶圆的装置。

背景技术

现有的晶圆清洗机无法对晶圆进行均匀性的清洗，清洗后的晶圆各处清洁程度不一致，需要重复进行清洁工作，造成大量的资源浪费，且大大影响着晶圆的清洁速率；

现有的晶圆清洁机的清洁残留液直接向外排放，晶圆在清洁的过程中会在清洁残留液中留下许多金属碎渣，直接将清洁残留液向外排放不仅对环境造成了污染，还无法响应绿色生态、循环利用的号召。

实用新型内容

为此，需要提供一种清洗晶圆的装置，来解决晶圆清洗困难的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种清洗晶圆的装置，包括槽体以及设置于槽体内的喷淋组件、电磁筛与加热管，所述电磁筛设置于喷淋组件的下方，所述加热管固定于槽体内壁上；

所述喷淋组件包括喷淋组件本体，所述喷淋组件本体上设置有动力元件、行走部件、旋转载台以及若干喷淋头，所述行走部件与槽体槽口相适配，所述动力元件用于驱动行走部件沿槽口行走，所述旋转载台上开设有载物通孔，所述喷淋组件本体内设置有与各喷淋头相连接的管道；

所述槽体底部开设有槽体进液口以及槽体出液口，槽体进液口以及槽体出液口均位于电磁筛的下方，所述槽体出液口处设置有分流装置。

进一步地，所述喷淋组件本体包括相对设置的第一管道以及第二管道，所述行走部件的个数为两个且分别连接于第一管道以及第二管道的上端，所述旋转载台连接于第一管道以及第二管道，所述喷淋头均匀分布于第一管道以及第二管道上，且喷淋头位于旋转载台的下方。

进一步地，所述动力元件的个数为两个，分别用于驱动两个行走部件。

进一步地，所述行走部件的形状为“冂”型，所述行走部件的两侧边分别跨设于槽口的槽壁上。

进一步地，所述分流装置包括分流挡板、拉杆、拉力片以及分流槽，分流槽穿设于槽体槽壁，所述分流槽为两端分别设置有分流槽进液口以及分流槽出液口的壳状结构，分流槽进液口与槽体出液口位置相对应，分流槽进液口设置于分流挡板的下方；

所述分流挡板的一端铰接于槽体出液口下端以及分流槽进液口的相对位置，所述拉力片设置于槽体出液口内，所述拉杆的一端固定于拉力片上，拉杆的另一端活动连接于分流挡板上。

进一步地，还包括斜坡槽底，所述斜坡槽底倾斜设置于槽体内，所述斜坡槽底的上端位于槽体进液口的下端，所述斜坡槽底的下端位于槽体出液口的下端。

进一步地，所述喷淋组件还包括底板、感应开关以及控制器，所述底板设置于喷淋组件本体的底部，所述感应开关设置于底板上，所述感应开关与控制器电连接，控制器用于控制喷淋头喷淋工作的启停。

进一步地，所述槽体出液口高度不高于槽体进液口高度。

进一步地，还包括液位计，所述液位计设置于槽体外壁。

进一步地，所述加热管的形状为螺旋状。

区别于现有技术，上述技术方案具有如下优点：利用动力元件对行走部件进行驱动，使得喷淋组件在槽体内转动，对放置在槽体内的晶舟清洁更加均匀，利用分流装置对清洗的残留液进行分流处理，实现高效、环保以及节能的效果。

附图说明

图1为本实施例一种清洗晶圆的装置的整体结构示意图；

图2为本实施例一种清洗晶圆的装置的喷淋组件的结构示意图；

图3为本实施例一种清洗晶圆的装置的分流装置的结构示意图；

图4为本实施例一种清洗晶圆的装置内设置有晶舟的结构示意图。

附图标记说明：

1、槽体；

11、槽体进液口；

12、槽体出液口；

2、喷淋组件；

21、行走部件；

22、旋转载台；

23、喷淋头；

24、第一管道；

25、第二管道；

26、底板；

27、感应开关；

3、电磁筛；

4、加热管；

5、晶舟；

6、分流装置；

61、分流挡板；

62、拉杆；

63、拉力片；

64、分流槽；

7、斜坡槽底；

8、液位计。

具体实施方式

为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。

请参阅图1至图4，本实用新型提供一种清洗晶圆的装置，包括槽体1以及设置于槽体内的喷淋组件2、电磁筛3与加热管4，槽体可为高分子防腐材料或合金防腐材料制成，槽体顶部敞开形成槽口，槽口边缘为导轨状。

所述电磁筛设置于喷淋组件的下方，装有晶圆的晶舟5放入该槽体内进行清洗的过程中，喷淋组件对晶圆进行喷淋，电磁筛通电，利用电生磁的原理，使网筛的交点处具备磁性，从而达到吸附残液中金属残渣的效果。网筛采用高分子抗腐蚀材料，内部布置电生磁电路。通过电路匹配，通电时，有磁性，吸住金属残渣；断电时，无磁性，释放金属残渣。从晶圆上掉落的金属残渣被电磁筛吸附，清洁残液从清洁筛滤过排出，被吸附的金属残渣可实现回收利用。

所述加热管固定于槽体内壁上，加热管采用可自控温的陶瓷PTC热敏电阻作为制热元件，加热管工作对槽体内进行加热，从喷淋头喷淋出的清洁液被加热，从而达到更好的清洁效果。所述加热管的形状为螺旋状，沿着槽体的内壁盘旋设置。

所述喷淋组件包括喷淋组件本体，所述喷淋组件本体上设置有动力元件、行走部件21、旋转载台22以及若干喷淋头23，所述行走部件与槽体槽口相适配，所述动力元件用于驱动行走部件沿槽口行走，所述旋转载台上开设有载物通孔，所述喷淋组件本体内设置有与各喷淋头相连接的管道。行走部件可以是可以在槽口的边缘上行走的轮状结构，动力元件是马达，马达转动带动行走部件转动，沿着槽口的边缘行走。旋转载台上开设的载物通孔与装载有晶圆的晶舟尺寸相适配，晶舟放入旋转载台后，随着喷淋组件的转动，晶舟随之转动。喷淋头的清洁液由喷淋组件本体内设置的管道来运送。

所述槽体底部开设有槽体进液口11以及槽体出液口12，槽体进液口以及槽体出液口均位于电磁筛的下方，所述槽体出液口处设置有分流装置6。槽体进液口用于向槽体内通入清洗槽体的通道，槽体出液口用于将槽体内的废液排出。分流装置能够将槽体内的废液进行分流排出。

喷淋组件本体可以是上下开口的壳状结构，行走部件设置在其上端开口处的任意位置，旋转载台的形状与喷淋组件本体的截面形状相适配，且旋转载台固定在喷淋组件本体的内壁上，喷淋头安装在喷淋组件本体的内壁上，喷淋头的喷淋方向朝向喷淋组件本体的中心轴线方向，喷淋头均匀分布在喷淋组件本体的内壁上。

在某些实施例中，所述喷淋组件本体包括相对设置的第一管道24以及第二管道25，所述行走部件的个数为两个且分别连接于第一管道以及第二管道的上端，所述旋转载台连接于第一管道以及第二管道，所述喷淋头均匀分布于第一管道以及第二管道上，且喷淋头位于旋转载台的下方。第一管道以及第二管道同时作为喷淋头的供液通道。第一管道以及第二管道的设置能够降低喷淋组件本体的制作成本。设置两个行走部件能够有效带动喷淋组件本体转动，使之转动更为流畅。

更优选的，所述动力元件的个数为两个，分别用于驱动两个行走部件。两个动力元件同步驱动两个行走部件，提高喷淋组件本体的转动效率。

在某些实施例中，所述行走部件的形状为“冂”型，所述行走部件的两侧边分别跨设于槽口的槽壁上。“冂”型的行走部件能够有效避免喷淋组件本体在转动的过程中从槽体上脱落。轮状结构设置在“冂”型行走部件内侧顶部，行走部件的两侧边能够起到很好的限位作用，使轮状结构沿着槽口边缘行走。

所述分流装置包括分流挡板61、拉杆62、拉力片63以及分流槽64，分流挡板以及拉力片均是片状结构，槽体槽壁上开设分流槽安装孔，分流槽穿设于槽体槽壁的分流槽安装孔中并固定，所述分流槽为两端分别设置有分流槽进液口以及分流槽出液口的壳状结构，分流槽进液口设置于槽体内，分流槽出液口设置于槽体外，分流槽进液口与槽体出液口位置相对应，分流槽进液口设置于分流挡板的下方，分流挡板的下端面朝向分流槽进液口，分流挡板的上端面朝向槽体出液口。所述分流挡板的一端铰接于槽体出液口下端以及分流槽进液口的相对位置，所述拉力片设置于槽体出液口内，所述拉杆的一端固定于拉力片上，拉杆的另一端活动连接于分流挡板上，具体的，拉杆的另一端铰接于分流挡板上。在初始状态时，分流挡板处于水平位置，分流挡板遮挡分流槽进液口，当有液体冲入槽体出液口时，拉力片沿着槽体出液口向外推动，带动分流挡板朝向槽体出液口方向转动，形成分流，密度较小的悬浮残液就可以从槽体出液口排出，而密度较大的金属和其他残渣则经分流装置的分流槽进液口最后从分流槽出液口排出。

在优选的实施例中，该清洗晶圆的装置还包括斜坡槽底7，所述斜坡槽底倾斜设置于槽体内，所述斜坡槽底的上端位于槽体进液口的下端，所述斜坡槽底的下端位于槽体出液口的下端。其有益效果在于能够有利于残渣更易流向槽体出液口或槽体进液口。

在某些实施例中，所述喷淋组件还包括底板26、感应开关27以及控制器，所述底板设置于喷淋组件本体的底部，所述感应开关设置于底板上，感应开关用于感应晶圆的放置和离开，所述感应开关与控制器电连接，控制器用于控制喷淋头喷淋工作的启停。当感应开关感应到晶舟放置到槽体内时，控制器控制喷淋组件开始喷淋，当感应开关感应到晶舟离开槽体时，控制器控制喷淋组件停止喷淋。优选的，感应开关的个数为两个。

在某些实施例中，所述槽体出液口高度不高于槽体进液口高度。能够有效避免清洁液体回流到槽体出液口。

在某些实施例中，该清洗晶圆的装置还包括液位计8，所述液位计设置于槽体外壁。液位计用于判断槽体内液位状况，用于控制槽体保持和达到一定的液位。

需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本实用新型的专利保护范围。因此，基于本实用新型的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域，均包括在本实用新型专利的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种清洗晶圆的装置，其特征在于：包括槽体以及设置于槽体内的喷淋组件、电磁筛与加热管，所述电磁筛设置于喷淋组件的下方，所述加热管固定于槽体内壁上；

所述喷淋组件包括喷淋组件本体，所述喷淋组件本体上设置有动力元件、行走部件、旋转载台以及若干喷淋头，所述行走部件与槽体槽口相适配，所述动力元件用于驱动行走部件沿槽口行走，所述旋转载台上开设有载物通孔，所述喷淋组件本体内设置有与各喷淋头相连接的管道；

所述槽体底部开设有槽体进液口以及槽体出液口，槽体进液口以及槽体出液口均位于电磁筛的下方，所述槽体出液口处设置有分流装置。

2.根据权利要求1所述的清洗晶圆的装置，其特征在于：所述喷淋组件本体包括相对设置的第一管道以及第二管道，所述行走部件的个数为两个且分别连接于第一管道以及第二管道的上端，所述旋转载台连接于第一管道以及第二管道，所述喷淋头均匀分布于第一管道以及第二管道上，且喷淋头位于旋转载台的下方。

3.根据权利要求2所述的清洗晶圆的装置，其特征在于：所述动力元件的个数为两个，分别用于驱动两个行走部件。

4.根据权利要求1或2所述的清洗晶圆的装置，其特征在于：所述行走部件的形状为“冂”型，所述行走部件的两侧边分别跨设于槽口的槽壁上。

5.根据权利要求1所述的清洗晶圆的装置，其特征在于：所述分流装置包括分流挡板、拉杆、拉力片以及分流槽，分流槽穿设于槽体槽壁，所述分流槽为两端分别设置有分流槽进液口以及分流槽出液口的壳状结构，分流槽进液口与槽体出液口位置相对应，分流槽进液口设置于分流挡板的下方；

所述分流挡板的一端铰接于槽体出液口下端以及分流槽进液口的相对位置，所述拉力片设置于槽体出液口内，所述拉杆的一端固定于拉力片上，拉杆的另一端活动连接于分流挡板上。

6.根据权利要求5所述的清洗晶圆的装置，其特征在于：还包括斜坡槽底，所述斜坡槽底倾斜设置于槽体内，所述斜坡槽底的上端位于槽体进液口的下端，所述斜坡槽底的下端位于槽体出液口的下端。

7.根据权利要求1所述的清洗晶圆的装置，其特征在于：所述喷淋组件还包括底板、感应开关以及控制器，所述底板设置于喷淋组件本体的底部，所述感应开关设置于底板上，所述感应开关与控制器电连接，控制器用于控制喷淋头喷淋工作的启停。

8.根据权利要求1所述的清洗晶圆的装置，其特征在于：所述槽体出液口高度不高于槽体进液口高度。

9.根据权利要求1所述的清洗晶圆的装置，其特征在于：还包括液位计，所述液位计设置于槽体外壁。

10.根据权利要求1所述的清洗晶圆的装置，其特征在于：所述加热管的形状为螺旋状。

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