CN211393875U - 一种用于多晶硅还原炉的紧固装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于多晶硅还原炉的紧固装置,涉及多晶硅生产技术领域，包括设置在底座和钟罩对接面上的法兰盘，还包括用于夹紧两个法兰盘的自动夹紧机构。本实用新型通过采用伸缩装置驱动压紧件摆动，使压紧件自动对钟罩压紧，使底座与钟罩的压紧密封不需要人为操作即可完成，不仅节省了劳动力，且节约了人工紧固所需的时间，提高生产效率，显著的降低了多晶硅生产成本，易于规模化应用。

Description

一种用于多晶硅还原炉的紧固装置

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，具体而言，涉及一种用于多晶硅还原炉的紧固装置。

背景技术

生产多晶硅产品的主要设备是还原炉，还原炉是由钟罩和底盘组成，在还原炉内部安装硅芯后，将钟罩和底盘紧固形成密闭空间，使还原炉内部发生气相沉积还原反应，使硅芯的直径逐渐变粗而形成多晶硅棒，当多晶硅棒生产完毕后，再将钟罩和底盘分离，最后取出产品多晶硅硅棒即可。因此，在多晶硅硅棒生产过程中，钟罩与底盘的紧固及密封性对生产安全及效率起至关重要的影响。

传统的还原炉紧固方法是通过螺栓将底盘和钟罩相连，通过人工用扳手进行紧固，此方法不仅需消耗大量的人力，且紧固过程中耗时较长(生产辅助时间)；同时，人为紧固时，由于力量不均衡，通常容易造成气密不合格，有泄漏危险。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于多晶硅还原炉的紧固装置，在保证还原炉内气密性的同时，使底盘与钟罩的紧固不需要人为操作，使耗时大大减小，大大节约了生产辅助时间。

为实现本实用新型目的，采用的技术方案为：一种用于多晶硅还原炉的紧固装置，包括设置在底座和钟罩对接面上的法兰盘，其特征在于，还包括用于夹紧两个法兰盘的自动夹紧机构。

进一步的，所述自动夹紧机构为多个，多个自动夹紧机构沿法兰盘的圆周方向均匀间隔排布。

进一步的，所述自动夹紧机构包括铰接安装的固定压紧件和活动压紧件，所述固定压紧件与活动压紧件之间还铰接安装有伸缩装置。

进一步的，还包括摆动安装在固定压紧件上的连接杆，且活动压紧件铰接在连接杆上；所述伸缩装置的一端与连接杆铰接，且伸缩装置的另一端与固定压紧件铰接。

进一步的，所述固定压紧件与活动压紧件均包括“┓”型的安装臂，且安装臂的水平段上还固定安装有压紧头。

进一步的，两个所述法兰盘的被压紧面上均开设有压紧槽。

进一步的，两个所述法兰盘的对接面上还安装有密封垫片。

进一步的，所述密封垫片的材质为RPTFE或多元氟橡胶或耐高温的石墨材质。

进一步的，所述伸缩装置为电子液压杆。

本实用新型的有益效果是,

通过采用自动夹紧机构对两个法兰盘进行压紧，使底座与钟罩的压紧密封不需要人为操作即可完成，不仅节省了劳动力，且节约了人工紧固所需的时间，提高生产效率，显著的降低了多晶硅生产成本，易于规模化应用。

附图说明

图1是本实用新型提供的用于多晶硅还原炉的紧固装置的结构图；

图2是图1中自动夹紧机构的压紧状态图。

附图中标记及相应的零部件名称：

1、底座，2、钟罩，3、固定压紧件，4、伸缩装置，5、活动压紧件，6、压紧槽，7、法兰盘，8、密封垫片，9、连接销；

30、自动夹紧机构，31、连接杆，32、安装臂，33、上压紧头。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

图1、图2所示出了本实用新型提供的一种用于多晶硅还原炉的紧固装置，包括设置在底座1和钟罩2对接面上的法兰盘7，还包括用于夹紧两个法兰盘7的自动夹紧机构30。

所述底座1上的法兰盘7与底座1为一体结构，钟罩2上的法兰盘7与钟罩2为一体结构，且底座1上的法兰盘7与底座1的开口平齐，钟罩2上的法兰盘7与钟罩1的开口平齐，通过安装法兰盘7，使钟罩2罩设在底座1上时，钟罩2与底座1的对接面增大，不仅方便钟罩2罩设在底座1上，且使钟罩2与底座1在密封夹紧后，钟罩2与底座1的密封效果更好。

所述自动夹紧机构30用于对钟罩2上的法兰盘7与底座1上的法兰盘7夹紧固定，从而使钟罩2与底座1被压紧密封；所述自动夹紧机构30能自动打开或夹紧，使钟罩2与底座1需要压紧密封时，自动夹紧机构30对两个法兰盘7自动夹紧；当钟罩2与底座1需要分离时，自动夹紧机构30失去对两个法兰盘7的夹紧。

本实用新型能快速的实现对钟罩2与底座1的分离或压紧密封，使钟罩2与底座1的分离或压紧密封不需要人为操作即可完成，不仅节省了劳动力，且节约了人工紧固所需的时间，提高生产效率，显著的降低了多晶硅生产成本，易于规模化应用。

所述自动夹紧机构30为多个，多个自动夹紧机构30沿法兰盘7的圆周方向均匀间隔排布；当需要对两个法兰盘7夹紧时，通过多个自动夹紧机构30的配合，使法兰盘7的圆周方向能被压紧固定，使法兰盘7受到的压紧力的分布更加均匀，使两个法兰盘7在被压紧密封时，底座1与钟罩2的密封效果更好。

所述自动夹紧机构30包括铰接安装的固定压紧件3和活动压紧件5，所述固定压紧件3与活动压紧件5之间还铰接安装有伸缩装置4。所述活动压紧件5可在固定压紧件3上摆动，通过伸缩装置4的伸长或收缩，使固定压紧件3与活动压紧件5张开或收拢。当固定压紧件3与活动压紧件5收拢时，固定压紧件3与活动压紧件5对两个法兰盘7压紧，使底座1与钟罩2实现压紧密封，当固定压紧件3与活动压紧件5张开时，固定压紧件3与活动压紧件5失去对两个法兰盘7的压紧，使底座1与钟罩2可直接分离即可。

本实用新型还包括摆动安装在固定压紧件3上的连接杆31，且活动压紧件5铰接在连接杆31上；所述伸缩装置4的一端与连接杆31铰接，且伸缩装置4的另一端与固定压紧件3铰接。所述连接杆31水平安装，且固定压紧件3上固定安装有一个连接销9，连接杆31上开设有一个与连接销9配合的通孔，且通孔与连接销9间隙配合，不仅使连接杆31安装在连接销9上，且连接杆31可绕连接销9充分的摆动。所述活动压紧件5与连接杆31通过销钉固定或焊接固定，连接杆31在摆动时，连接杆31带动活动压紧件5同步摆动，从而使活动压紧件5与固定压紧件3之间的距离更小或更大，从而实现两个法兰盘7的压紧密封或分离。

所述伸缩装置4的两端均通过铰接座铰接安装，使伸缩装置4在伸长或收缩时，伸缩装置4与固定压紧件3之间的角度和伸缩装置4与连接杆31之间的角度均可发生变化，从而使伸缩装置4在伸长或收缩时，伸缩装置4能有效驱动连接杆31在固定压紧件3上摆动。

为了避免连接杆31在摆动时，固定压紧件3对活动压紧件5造成阻挡，可在固定压紧件3的连接端开设U型避让槽，U型避让槽对固定压紧件3的下端进行避让。

所述固定压紧件3与活动压紧件5均包括“┓”型的安装臂32，且安装臂32的水平段上还固定安装有压紧头33。所述安装臂32的垂直段与连接杆31连接；所述压紧头33安装在安装臂32的水平段上，且压紧头33为圆弧型，压紧头33的弧度与法兰盘7的弧度相同，使两个压紧头33分别对两个法兰盘7压紧时，两个压紧头33与法兰盘7的压紧面更大，使压紧头33施加的压力均匀分散，使两个法兰盘7的压紧效果更好，最终使钟罩2与底座1的压紧密封效果更好。

两个所述法兰盘7的被压紧面上均开设有压紧槽6。具体的，法兰盘7的被压紧面为压紧头33对法兰盘7压紧的一面，压紧槽6的圆心与法兰盘7的圆心位于同一点，且压紧槽6的宽度与压紧头33的宽度配合，使压紧头33在对法兰盘7压紧时，压紧头33直接卡设在压紧槽6内，此时压紧槽6能有效对压紧头33进行限位，有效防止压紧头33与法兰盘7打滑。所述压紧槽6还可以为与压紧头33配合的圆弧型槽，此时，压紧槽6的数量与自动压紧机构的数量相等。当压紧头33为其他形状时，压紧槽6可做适应性变化。

两个所述法兰盘7的对接面上还安装有密封垫片8，使钟罩2与底座1被压紧时，钟罩2与底座1的密封效果更好。所述密封垫片8的材质为RPTFE或多元氟橡胶或耐高温的石墨材质。所述伸缩装置4为电子液压杆，该电子液压杆为现有技术的直接使用，且所述伸缩装置4还可以为气缸或其他直线驱动元件。

当需要对硅芯进行气相沉积还原反应时，先将硅芯依次放置在底座1上，再将密封垫片8放置在底座1上的法兰盘7上，将钟罩2罩设在底座1上，使两个法兰盘7对接；此时，将固定压紧件3上的压紧头33对应置于底座1法兰盘7上的压紧槽6内，并使活动压紧件5上的压紧头33与钟罩2法兰盘7上的压紧槽6对应，此时，伸缩装置4开始收缩，伸缩装置4收缩带动连接杆31摆动，连接杆31在摆动时，连接杆31带动活动压紧件5动作，使活动压紧件5上的压紧头33逐渐靠近钟罩2法兰盘7上的压紧槽6，随着伸缩装置4的继续收缩，活动压紧件5上的压紧头33进入钟罩2法兰盘上的压紧槽6内，使活动压紧件5与固定压紧件3上的压紧头33共同对两个法兰盘7压紧，当伸缩装置4完全收缩时，两个密封盘7压紧密封，使钟罩2与底座1被紧固。

当气相沉积还原反应完毕且需要去除多晶硅硅棒时，伸缩装置4开始伸长，伸缩装置4带动连接杆31摆动，连接杆31在摆动时，连接杆31带动活动压紧件3同步动作，使活动压紧件3上的压紧头33远离法兰盘7，从而使活动压紧件3上的压紧头33与固定压紧件5上的压紧头33之间的距离逐渐增大，使两个压紧头33失去对两个法兰盘7的压紧，此时可直接将钟罩2搬离底座1，并将多晶硅硅棒从底座1上取下即可。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种用于多晶硅还原炉的紧固装置，包括设置在底座(1)和钟罩(2)对接面上的法兰盘（7），其特征在于，还包括用于夹紧两个法兰盘（7）的自动夹紧机构（30）。

2.根据权利要求1所述的用于多晶硅还原炉的紧固装置，其特征在于，所述自动夹紧机构（30）为多个，多个自动夹紧机构（30）沿法兰盘（7）的圆周方向均匀间隔排布。

3.根据权利要求1或2所述的用于多晶硅还原炉的紧固装置，其特征在于，所述自动夹紧机构（30）包括铰接安装的固定压紧件（3）和活动压紧件（5），所述固定压紧件（3）与活动压紧件（5）之间还铰接安装有伸缩装置（4）。

4.根据权利要求3所述的用于多晶硅还原炉的紧固装置，其特征在于，还包括摆动安装在固定压紧件（3）上的连接杆(31)，且活动压紧件（5）铰接在连接杆(31)上；所述伸缩装置（4）的一端与连接杆（31）铰接，且伸缩装置（4）的另一端与固定压紧件（3）铰接。

5.根据权利要求3所述的用于多晶硅还原炉的紧固装置，其特征在于，所述固定压紧件（3）与活动压紧件（5）均包括“┓”型的安装臂(32)，且安装臂(32)的水平段上还固定安装有压紧头(33)。

6.根据权利要求3所述的用于多晶硅还原炉的紧固装置，其特征在于，两个所述法兰盘（7）的被压紧面上均开设有压紧槽（6）。

7.根据权利要求1所述的用于多晶硅还原炉的紧固装置，其特征在于，两个所述法兰盘（7）的对接面上还安装有密封垫片(8)。

8.根据权利要求7所述的用于多晶硅还原炉的紧固装置，其特征在于，所述密封垫片(8)的材质为RPTFE或多元氟橡胶或耐高温的石墨材质。

9.根据权利要求3所述的用于多晶硅还原炉的紧固装置，其特征在于，所述伸缩装置(4)为电子液压杆。

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