CN211386911U - 铝基合金粉真空气雾化生产系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种铝基合金粉真空气雾化生产系统，包括熔炼雾化装置、真空控制装置、气压平衡系统、分级系统及除尘回收装置，本实用新型是采用高纯液氮作为惰性气体源，高纯液氮的纯度能够达到99.999%，利用高纯液氮雾化生产出的铝基合金粉的含氧量小于等于100PPM，含氧量低，完全能够达到增材制造需要，同时，利用真空泵和罗茨泵相互配合实现真空，其真空度能够达到0.1Pa，从而有效的提高雾化后铝基合金粉的球形度及流动性，设计一种闭路循环的惰性气体循环系统，实现惰性气体的回收利用及系统内压力平衡，降低生产成本提高生产效率。

Description

铝基合金粉真空气雾化生产系统

技术领域：

本实用新型属于合金粉的生产制造技术领域，具体涉及一种铝基合金粉真空气雾化生产系统。

背景技术：

目前，以3D打印为代表的增材制造技术越来越成熟，但是增材制造技术对原材料要求比较高，以利用合金粉末进行增材制造来说，要求合金粉末满足氧含量低、球形度高及流动性好等性能，粉体的流动性直接影响激光增材制造时铺粉效果、成形过程以及增材制造件质量。粉体的流动性与粉体的粒度、外观形貌、松装密度及霍尔流速等特征有关。粉体的球形度越高、粒度分布越均匀、霍尔流速越小，则粉体的流动性越好。粉体粒度的要求与增材制造技术有关，对于基于铺粉式粉末床的激光增材制造技术，其粉体粒度最好在15～53μｍ 范围内。而粉体的氧含量高，表面活性越大，润湿性越差，球化现象越严重，导致熔化效果差。

真空气雾化生产的合金粉末以其低氧、球形度高、流动性好等优势受到增材制造的欢迎，目前，增材制造技术已经被作为国家战略提出，随着增材制造技术的不断发展，现有的真空气雾化生产的合金粉末已经无法满足增材制造对合金粉末的球形度及流动性的要求，原材料问题已经严重制约我国增材制造技术的发展。

以真空气雾化生产铝基合金粉末为例，其主要工艺流程为铝基合金真空熔炼-氮气或氩气雾化制粉-粉末收集-气体排空。氮气或氩气为惰性气体，其在雾化制粉中作为保护气体使用，惰性气体的纯度直接影响铝基合金粉末的含氧量，而雾化制粉的真空度直接影响铝基合金粉末的球形度及流动性，真空度高则生产的铝基合金粉末球形度越好流动性好。目前铝基合金粉生产企业其采用的氮气大多是通过制氮机生产氮气，制氮机生产氮气，氮气成本低，但是，制氮机生产出的氮气纯度最高只能达到99.99%，利用该纯度的氮气真空雾化出的铝基合金粉的含氧量在800PPM左右，无法满足增材制造的需要，而且，氮气在粉末收集后直接排放，造成氮气使用效率较低，真空气雾化生产合金粉末的生产成本难以降低，而且，大量的惰性保护气体被排向大气也不利于大气环境保护。

另外，现有铝基合金粉生产企业其采用真空泵将生产系统中的空气抽走，保持生产系统真空，但是，真空泵所能达到的真空度不高，不能满足雾化生产需要。导致生产出的铝基合金粉球形度及流动性较差，不能够满足增材制造的需要。

实用新型内容

综上所述，为了克服现有技术问题的不足，本实用新型提供了一种铝基合金粉真空气雾化生产系统，它是采用高纯液氮作为惰性气体源，高纯液氮的纯度能够达到99.999%，利用高纯液氮雾化生产出的铝基合金粉的含氧量小于等于100PPM，含氧量低，完全能够达到增材制造需要，同时，利用真空泵和罗茨泵相互配合实现真空，其真空度能够达到0.1Pa，从而有效的提高雾化后铝基合金粉的球形度及流动性，设计一种闭路循环的惰性气体循环系统，实现惰性气体的回收利用及系统内压力平衡，降低生产成本提高生产效率。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种铝基合金粉真空气雾化生产系统，其中：包括熔炼雾化装置、真空控制装置、气压平衡系统、分级系统及除尘回收装置，所述的熔炼雾化装置包括熔炼炉、雾化喷嘴及雾化室，所述的熔炼炉的出料口通过雾化喷嘴连通雾化室，所述的雾化喷嘴的进气口连通气压平衡系统的出气口，所述的熔炼炉的通过管道连接真空控制装置的进气口，雾化室的通过管道连接真空控制装置的进气口，所述的雾化室的出料口连通分级系统的进料口，所述的分级系统的出料口连通收料罐及真空包装装置，所述的分级系统的出风口连通除尘回收装置的进风口，所述的除尘回收装置的出风口连通气压平衡系统，所述的气压平衡系统包括高纯液氮罐、低压氮气储罐、压力平衡储罐、高效过滤器、冷却器、气体过滤器、氮气压缩机、中压氮气储罐及压力调节阀，所述的高纯液氮罐的出气口连通低压氮气储罐的进气口，低压氮气储罐的出气口通过供气管路连通压力平衡储罐的进气口，所述的压力平衡储罐包括罐体及罐体上设置的进气口、出气口、安全口、自动排气口、补气口、回收口及泄爆口，所述的压力平衡储罐的泄爆口上设置有泄爆阀，所述的压力平衡储罐的自动排气口上设置有自动排气阀，所述的压力平衡储罐的安全口上设置有安全阀，所述的压力平衡储罐的出气口通过增压管路连通中压氮气储罐的进气口，所述的中压氮气储罐的出气口连通压力调节阀的进气口，所述的中压氮气储罐的出气口与压力调节阀的进气口连通的管道上设置有控制阀，所述的压力调节阀的出气口连通熔炼雾化装置的雾化喷嘴的进气口，所述的压力平衡储罐的回收口连通除尘回收装置的出风口，所述的增压管路包括依次串联连接的高效过滤器、冷却器、气体过滤器及氮气压缩机。

进一步，所述的真空控制装置包括真空泵、罗茨泵及真空管道，所述的真空泵的进气口与罗茨泵进气口分别与真空管道连通，所述的真空管道分别通过真空分管连接熔炼炉和雾化室，所述的真空管道与熔炼炉连接的真空分管上设置有真空熔炼阀，所述的真空管道与雾化室连接的真空分管上设置有真空雾化阀。

进一步，所述的分级系统为多个依次串联布置的涡轮分级机。

进一步，所述的除尘回收装置包括除尘器、引风机、回收单向阀及回收管道，所述的除尘器的进风口连接分级系统的最后一个涡轮分级机的出风口，所述的除尘器的出风口通过回收管道连接压力平衡储罐的回收口，所述的回收管道上从除尘器到压力平衡储罐依次设置引风机及回收单向阀。

进一步，所述的供气管路包括供气管道、手动供气阀、自动供气阀、供气单向阀及供气溢流阀，所述的供气管道一端与低压氮气储罐的出气口连接，其另一端与压力平衡储罐的进气口连接，所述的供气管道上从低压氮气储罐到压力平衡储罐依次设置有手动供气阀、自动供气阀、供气单向阀及供气溢流阀。

进一步，所述的中压氮气储罐通过中压补气管路连通压力平衡储罐的补气口，所述的中压补气管路包括连通中压氮气储罐的出气口与压力平衡储罐的补气口的中压补气管道，中压补气管道上从中压氮气储罐到压力平衡储罐依次设置的中压补气阀、Y型过滤器、补气溢流阀及补气单向阀。

进一步，所述的高纯液氮罐的出气口通过补气管路连通压力调节阀，所述的补气管路上设置有补气泄压阀。

本实用新型的有益效果为：

1、本实用新型是采用高纯液氮作为惰性气体源，高纯液氮的纯度能够达到99.999%，利用高纯液氮雾化生产出的铝基合金粉的含氧量小于等于100PPM，含氧量低，完全能够达到增材制造需要，同时，利用真空泵和罗茨泵相互配合实现真空，其真空度能够达到0.1Pa，从而有效的提高雾化后铝基合金粉的球形度及流动性，设计一种闭路循环的惰性气体循环系统，实现惰性气体的回收利用及系统内压力平衡，降低生产成本提高生产效率。

2、本实用新型设置有压力平衡储罐，并通过供气管路及中压补气管路向气压平衡罐内补充氮气，保持整个真空气雾化生产系统的惰性气体平衡，使铝基合金粉末在微正压惰性气体保护下生产，从而有效的防止空气进入合金粉生产系统，防止造成合金粉产品品质降低和增加生产的危险性。

3、本实用新型的真空熔炼后气雾化产生的铝基合金粉经分级系统分级并真空包装后，氮气在引风机的作用下经除尘器除尘后进入压力平衡储罐，实现对氮气的回收，形成闭路循环的氮气循环系统，从而有效的提高氮气利用率，降低铝基合金粉的生产成本，使本实用新型适合大型真空气雾化装置。

4、本实用新型的高纯液氮罐的出气口通过补气管路连通压力调节阀，则当中压氮气储罐的压力不足时，可以从高纯液氮罐直接向熔炼雾化装置及分级系统补充氮气，保证铝基合金粉的顺利生产。

5、本实用新型的压力平衡储罐内的氮气通过高效过滤器、冷却器，被氮气压缩机加压后送至中压氮气储罐，然后通过参与铝基合金粉雾化生产及分级。为保证铝基合金粉生产和中压氮气储罐的压力稳定，必须保证压力平衡储罐进入氮气压缩机的氮气流量和参与铝基合金粉生产的氮气流量相等。但是，参与铝基合金粉雾化生产的氮气流量是时刻变化的，而进入氮气压缩机的气体流量是相对稳定的，为了保证二者平衡，本实用新型设置中压补气管路，即，在保证氮气压缩机的产气量大于雾化气体流量的前提下，将所剩余部分氮气通过中压补气管路直接补入压力平衡储罐内，来达到压力平衡储罐和中压氮气储罐的压力保持平衡的目的。

6、本实用新型结构简单、使用方便，能够有效的实现铝基合金粉的真空气雾化生产，同时，通过提高参与铝基合金粉生产的氮气的纯度而降低生产的铝基合金粉的含氧量，通过提高真空度达到提升铝基合金粉球形度及流动性的目的，为我国增材制造提供球形度高、氧含量低、流动性好的材料。

附图说明：

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步的详细说明。

如图1所示，一种铝基合金粉真空气雾化生产系统，包括熔炼雾化装置1、真空控制装置2、气压平衡系统3、分级系统4及除尘回收装置5，所述的熔炼雾化装置1包括熔炼炉11、雾化喷嘴12及雾化室13，所述的熔炼炉11的出料口通过雾化喷嘴12连通雾化室13，所述的雾化喷嘴12的进气口连通气压平衡系统3的出气口，所述的熔炼炉11的通过管道连接真空控制装置2的进气口，雾化室13的通过管道连接真空控制装置2的进气口，所述的真空控制装置2包括真空泵21、罗茨泵22及真空管道23，所述的真空泵21的进气口与罗茨泵22进气口分别与真空管道23连通，所述的真空管道23分别通过真空分管连接熔炼炉11和雾化室13，所述的真空管道23与熔炼炉11连接的真空分管上设置有真空熔炼阀24，所述的真空管道23与雾化室13连接的真空分管上设置有真空雾化阀25。所述的雾化室13的出料口连通分级系统4的进料口，所述的分级系统4为三个依次串联布置的涡轮分级机，包括第一涡轮分级机41、第二涡轮分级机42及第三涡轮分级机43，所述的第一涡轮分级机41的进料口通过管道连接雾化室13的出料口，所述的第一涡轮分级机41的出风口连接第二涡轮分级机42的进料口，第二涡轮分级机42的出风口连接第三涡轮分级机43的进料口，第一涡轮分级机41、第二涡轮分级机42及第三涡轮分级机43的出料口分别连接收料罐及真空包装装置，所述的第三涡轮分级机43的出风口连通除尘回收装置5的进风口，所述的除尘回收装置5包括除尘器51、引风机52、回收单向阀53及回收管道54，所述的除尘器51的进风口连接第三涡轮分级机43的出风口，所述的除尘器51的出风口通过回收管道54连接气压平衡系统3的压力平衡储罐33的回收口，所述的回收管道54上从除尘器51到压力平衡储罐33依次设置引风机52及回收单向阀53。

所述的气压平衡系统3包括高纯液氮罐31、低压氮气储罐32、压力平衡储罐33、高效过滤器34、冷却器35、气体过滤器36、氮气压缩机37、中压氮气储罐38及压力调节阀39，所述的高纯液氮罐31的出气口连通低压氮气储罐32的进气口，低压氮气储罐32的出气口通过供气管路连通压力平衡储罐33的进气口，所述的压力平衡储罐33包括罐体及罐体上设置的进气口、出气口、安全口、自动排气口、补气口、回收口及泄爆口，所述的压力平衡储罐33的泄爆口上设置有泄爆阀，所述的压力平衡储罐33的自动排气口上设置有自动排气阀，所述的压力平衡储罐33的安全口上设置有安全阀，所述的压力平衡储罐33的出气口通过增压管路311连通中压氮气储罐38的进气口，所述的中压氮气储罐38的出气口连通压力调节阀39的进气口，所述的中压氮气储罐38的出气口与压力调节阀39的进气口连通的管道上设置有控制阀310，所述的压力调节阀39的出气口连通熔炼雾化装置1的雾化喷嘴12的进气口，所述的压力平衡储罐33的回收口连通除尘回收装置5的出风口，所述的增压管路311包括依次串联连接的高效过滤器34、冷却器35、气体过滤器36及氮气压缩机37。所述的供气管路包括供气管道312、手动供气阀313、自动供气阀314、供气单向阀315及供气溢流阀316，所述的供气管道312一端与低压氮气储罐32的出气口连接，其另一端与压力平衡储罐33的进气口连接，所述的供气管道312上从低压氮气储罐32到压力平衡储罐33依次设置有手动供气阀313、自动供气阀314、供气单向阀315及供气溢流阀316。

所述的中压氮气储罐38通过中压补气管路连通压力平衡储罐33的补气口，所述的中压补气管路包括连通中压氮气储罐38的出气口与压力平衡储罐33的补气口的中压补气管道317，中压补气管道317上从中压氮气储罐38到压力平衡储罐33依次设置的中压补气阀318、Y型过滤器319、补气溢流阀320及补气单向阀321。

所述的高纯液氮罐31的出气口通过补气管路322连通压力调节阀39，所述的补气管路322上设置有补气泄压阀323。

开机生产时，将铝基合金加入熔炼室内，启动真空泵21，打开真空熔炼阀24和真空雾化阀25，此时关闭压力调节阀39，真空泵21抽取熔炼室、雾化喷嘴12、雾化室13、分级系统4、除尘器51及连接管道内的空气，当雾化室13内的压力达到1kPa时，关闭真空泵21，打开罗茨泵22，继续抽取空气，当雾化室13内的压力达到0.1Pa以下时，关闭罗茨泵22、关闭真空熔炼阀24和真空雾化阀25。

高纯液氮罐31内的高压氮气进入低压氮气储罐32内，之后，手动打开手动供气阀313、或者自动打开自动供气阀314，低压氮气储罐32内的氮气经供气管道312进入压力平衡储罐33，然后压力平衡储罐33内的氮气再经高效过滤器34、冷却器35、气体过滤器36后进入氮气压缩机37增压，增压后的氮气进入中压氮气储罐38存储，打开压力调节阀39设定铝基合金粉生产所需氮气压力，刚开机生产时，由于中压氮气储罐38内的氮气压力不能够满足生产需要，此时，控制阀310关闭，高纯液氮罐31内的高压氮气经补气管路322及补气泄压阀323泄压至铝基合金粉生产所需氮气压力，经压力调节阀39进入雾化喷嘴12参与铝基合金粉生产，熔炼室在真空状态下将铝基合金熔炼成熔液，熔液经雾化喷嘴12在氮气保护下雾化，雾化后的铝基合金粉在氮气保护下进入分级系统4分级，铝基合金粉按其粒径大小分级，铝基合金粉进入收集罐收集，最后经真空包装机真空包装，氮气携带少量合金粉进入除尘器51，在除尘器51内氮气中携带的少量合金粉被回收，氮气在引风机52的作用下经回收管道54进入压力平衡储罐33。

低压氮气储罐32内的氮气经供气管路进入压力平衡储罐33，回收的氮气经回收管道54进入压力平衡储罐33，则压力平衡储罐33内的氮气压力持续升高，同时，压力平衡储罐33内的氮气经增压管路311进入中压氮气储罐38，则中压氮气储罐38内的氮气压力增高，当中压氮气储罐38内的氮气压力达到压力调节阀39的设定值时，关闭补气管路322的补气泄压阀323，打开控制阀310，中压氮气储罐38内的氮气参与铝基合金粉雾化生产，同时，低压氮气储罐32持续向压力平衡储罐33输送氮气，直至压力平衡储罐33及中压氮气储罐38内的氮气均达到设定压力上限。

为保持铝基合金粉持续生产所需的氮气压力，对压力平衡系统的压力平衡储罐33、中压氮气储罐38、低压氮气储罐32进行压力的设定，本实施例中设定压力平衡储罐33的压力上限为10KPa、压力下限5KPa；中压氮气储罐38的压力上限设为8MPa、压力下限设为6MPa，低压氮气储罐32的压力下限设定为0.3MPa。

压力平衡系统具体工作如下：

当压力平衡储罐33的压力≥10KPa时，此时无需向压力平衡储罐33补气。

当压力平衡储罐33的压力＜5 KPa时，需要向压力平衡储罐33补充惰性气体，此时，如果中压氮气储罐38的压力＞8MPa，中压补气管路连通，中压补气管道317上的中压补气阀318开启，中压氮气储罐38内的惰性气体经Y型过滤器319过滤后，从压力平衡储罐33的补气口流入压力平衡储罐33，向压力平衡储罐33内补充惰性气体，在此过程中，中压氮气储罐38压力逐渐降低，当中压氮气储罐38压力低于6MPa时，中压补气管道317上的中压补气阀318关闭，低压氮气储罐32与压力平衡储罐33连通的自动供气管路打开，低压氮气储罐32向压力平衡储罐33及中压氮气储罐38补充惰性气体，中压氮气储罐38内压力逐渐升高，当中压氮气储罐38内的压力超过8 MPa时，自动供气管路关闭 ，中压补气管路打开，中压氮气储罐38向压力平衡储罐33补充惰性气体，如此循环往复，直至压力平衡储罐33的压力≥10KPa。

当压力平衡储罐33的压力＜5 KPa时，需要向压力平衡储罐33补充惰性气体，此时，如果中压氮气储罐38的压力≤6MPa，低压氮气储罐32的压力＞0.3MPa，则低压氮气储罐32向压力平衡储罐33补充惰性气体，惰性气体进入压力平衡储罐33再经过滤器过滤，经冷却器35冷却后，再经氮气压缩机37增压后向中压氮气储罐38补充惰性气体，中压氮气储罐38内压力逐渐升高，当中压氮气储罐38内压力超过8MPa时，中压补气管路自动打开，中压氮气储罐38向压力平衡储罐33补充惰性气体，中压氮气储罐38内压力逐渐降低，等中压氮气储罐38压力低于6MPa时，低压氮气储罐32向压力平衡储罐33补充惰性气体，如此循环往复，直至压力平衡储罐33的压力≥10KPa。

当压力平衡储罐33的压力＜5 KPa时，需要向压力平衡储罐33补充惰性气体，此时，如果中压氮气储罐38的压力≤6MPa且低压氮气储罐32的压力≤0.3MPa，则中压氮气储罐38向压力平衡储罐33补气的中压补气管路强制打开，中压氮气储罐38强制向压力平衡储罐33补充惰性气体，以维持气压平衡。

当所有线路都没有补气时，压力平衡储罐33压力只有小于5 KPa，方开始补气。

需要说明的是，以上所述实施例是对本实用新型技术方案的说明而非限制，所属技术领域普通技术人员的等同替换或者根据现有技术而做的其它修改，只要没超出本实用新型技术方案的思路和范围，均应包含在本实用新型所要求的权利范围之内。

Claims (7)

1.一种铝基合金粉真空气雾化生产系统，其特征在于：包括熔炼雾化装置（1）、真空控制装置（2）、气压平衡系统（3）、分级系统（4）及除尘回收装置（5），所述的熔炼雾化装置（1）包括熔炼炉（11）、雾化喷嘴（12）及雾化室（13），所述的熔炼炉（11）的出料口通过雾化喷嘴（12）连通雾化室（13），所述的雾化喷嘴（12）的进气口连通气压平衡系统（3）的出气口，所述的熔炼炉（11）的通过管道连接真空控制装置（2）的进气口，雾化室（13）的通过管道连接真空控制装置（2）的进气口，所述的雾化室（13）的出料口连通分级系统（4）的进料口，所述的分级系统（4）的出料口连通收料罐及真空包装装置，所述的分级系统（4）的出风口连通除尘回收装置（5）的进风口，所述的除尘回收装置（5）的出风口连通气压平衡系统（3），所述的气压平衡系统（3）包括高纯液氮罐（31）、低压氮气储罐（32）、压力平衡储罐（33）、高效过滤器（34）、冷却器（35）、气体过滤器（36）、氮气压缩机（37）、中压氮气储罐（38）及压力调节阀（39），所述的高纯液氮罐（31）的出气口连通低压氮气储罐（32）的进气口，低压氮气储罐（32）的出气口通过供气管路连通压力平衡储罐（33）的进气口，所述的压力平衡储罐（33）包括罐体及罐体上设置的进气口、出气口、安全口、自动排气口、补气口、回收口及泄爆口，所述的压力平衡储罐（33）的泄爆口上设置有泄爆阀，所述的压力平衡储罐（33）的自动排气口上设置有自动排气阀，所述的压力平衡储罐（33）的安全口上设置有安全阀，所述的压力平衡储罐（33）的出气口通过增压管路（311）连通中压氮气储罐（38）的进气口，所述的中压氮气储罐（38）的出气口连通压力调节阀（39）的进气口，所述的中压氮气储罐（38）的出气口与压力调节阀（39）的进气口连通的管道上设置有控制阀（310），所述的压力调节阀（39）的出气口连通熔炼雾化装置（1）的雾化喷嘴（12）的进气口，所述的压力平衡储罐（33）的回收口连通除尘回收装置（5）的出风口，所述的增压管路（311）包括依次串联连接的高效过滤器（34）、冷却器（35）、气体过滤器（36）及氮气压缩机（37）。

2.根据权利要求1所述的铝基合金粉真空气雾化生产系统，其特征在于：所述的真空控制装置（2）包括真空泵（21）、罗茨泵（22）及真空管道（23），所述的真空泵（21）的进气口与罗茨泵（22）进气口分别与真空管道（23）连通，所述的真空管道（23）分别通过真空分管连接熔炼炉（11）和雾化室（13），所述的真空管道（23）与熔炼炉（11）连接的真空分管上设置有真空熔炼阀（24），所述的真空管道（23）与雾化室（13）连接的真空分管上设置有真空雾化阀（25）。

3.根据权利要求1所述的铝基合金粉真空气雾化生产系统，其特征在于：所述的分级系统（4）为多个依次串联布置的涡轮分级机。

4.根据权利要求1所述的铝基合金粉真空气雾化生产系统，其特征在于：所述的除尘回收装置（5）包括除尘器（51）、引风机（52）、回收单向阀（53）及回收管道（54），所述的除尘器（51）的进风口连接分级系统（4）的最后一个涡轮分级机的出风口，所述的除尘器（51）的出风口通过回收管道（54）连接压力平衡储罐（33）的回收口，所述的回收管道（54）上从除尘器（51）到压力平衡储罐（33）依次设置引风机（52）及回收单向阀（53）。

5.根据权利要求1所述的铝基合金粉真空气雾化生产系统，其特征在于：所述的供气管路包括供气管道（312）、手动供气阀（313）、自动供气阀（314）、供气单向阀（315）及供气溢流阀（316），所述的供气管道（312）一端与低压氮气储罐（32）的出气口连接，其另一端与压力平衡储罐（33）的进气口连接，所述的供气管道（312）上从低压氮气储罐（32）到压力平衡储罐（33）依次设置有手动供气阀（313）、自动供气阀（314）、供气单向阀（315）及供气溢流阀（316）。

6.根据权利要求1所述的铝基合金粉真空气雾化生产系统，其特征在于：所述的中压氮气储罐（38）通过中压补气管路连通压力平衡储罐（33）的补气口，所述的中压补气管路包括连通中压氮气储罐（38）的出气口与压力平衡储罐（33）的补气口的中压补气管道（317），中压补气管道（317）上从中压氮气储罐（38）到压力平衡储罐（33）依次设置的中压补气阀（318）、Y型过滤器（319）、补气溢流阀（320）及补气单向阀（321）。

7.根据权利要求1所述的铝基合金粉真空气雾化生产系统，其特征在于：所述的高纯液氮罐（31）的出气口通过补气管路（322）连通压力调节阀（39），所述的补气管路（322）上设置有补气泄压阀（323）。

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