CN211332766U - 抛光布修整游轮 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种抛光布修整游轮，属于晶片加工技术领域。抛光布修整游轮包括游轮盘，其特征是：在所述游轮盘表面开设有若干个轴向通孔，所述通孔在所述游轮盘表面呈中心对称分布，在所述通孔内固定有安装块，所述安装块可拆卸套设于所述通孔，在所述安装块的至少一个表面设有多个安装槽，多个所述安装槽在所述安装块的表面呈中心对称分布，在所述安装槽中嵌设有用于修整抛光布的修整柱，所述修整柱顶面设有金刚石磨层，所述修整柱顶面凸出游轮盘表面。本实用新型结构可根据金刚石磨层的磨损程度通过拆卸修整柱单独更换金刚石磨层，又可以通过拆卸安装块整体更换金刚石磨层，达到提高加工效率、降低成本的目的。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶片加工技术领域，具体涉及一种抛光布修整游轮。
背景技术
表面抛光是对石英、硅、玻璃、陶瓷等材料片的表面加工，使其达到一定的厚度、光洁度和平面度的方法。现有技术中，抛光工艺主要采用抛光布垫抛光，每次抛光加工完成后，由于晶片的化学机械抛光产生的反应物、抛光液粒子的沉淀物及抛光布垫本身的磨耗等其他物质，会使抛光布垫表面产生板结 (硬化) 现象，从而降低硅片的研磨速率，增加划伤晶片表面的风险传统的做法是在每次抛光之后，使用水刀刷洗抛光布垫，无法彻底清除抛光布垫表面沉积的物质。
为解决以上问题，现有技术采用抛光布修整盘的方式进行抛光布的修整，其具体方式是，在抛光盘的外围设置与之不相接触的内齿圈，抛光盘中心孔位置设置与之不相接触的太阳轮，太阳轮带有外齿，在内齿圈与太阳轮之间啮合3-4 个修整游星轮，修整游星轮为带齿轮的不锈钢圆盘，在圆盘盘面上通过粘贴大面积的金刚石片或是粘贴多个表面有金刚石磨层的圆钉状丸片来达到抛光布修整的作用。采用粘贴金刚石片的方式的缺点是只要金刚石磨层有磨损就只能整体更换掉金刚石片，使用成本高，而采用粘贴多个丸片的方式是可以部分单独更换，但缺点是在实际加工中，在加工一段时间后整个盘面的金刚石磨层磨损程度差异性较小，在遇到频率较高的需要整体更换时，拆卸非常繁琐。
发明内容
本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种根据实际的磨损程度灵更换金刚石磨层的抛光布修整轮，提高加工效率、降低成本。
按照本实用新型提供的技术方案，所述抛光布修整游轮，包括游轮盘，在所述游轮盘表面开设有若干个轴向通孔，所述通孔在所述游轮盘表面呈中心对称分布，在所述通孔内可拆卸套设有安装块，在所述安装块的至少一个表面设有多个安装槽，多个所述安装槽在所述安装块的表面呈中心对称分布，在所述安装槽中嵌设有用于修整抛光布的修整柱，所述修整柱顶面设有金刚石磨层，所述修整柱顶面凸出游轮盘表面。
进一步地，所述游轮盘为不锈钢、陶瓷。
进一步地，所述游轮盘由多层碳纤维用粘结剂粘贴为一体。
进一步地，所述粘结剂为环氧树脂。
进一步地，所述安装块与通孔通过卡扣安装。
进一步地，所述修整柱粘贴或螺接于所述安装槽。
进一步地，所述修整柱5顶面的金刚石磨层6是在高温高压下烧结而成。
有益效果：通过在安装块上嵌设修整抛光布的修整柱，同时，安装块可拆卸地安装于游轮盘的通孔内，本实用新型结构可根据实际加工过程中金刚石磨层的磨损程度既可以通过拆卸修整柱单独更换金刚石磨层，又可以通过拆卸安装块整体更换金刚石磨层，达到提高加工效率、降低成本的目的。
附图说明
图1为本实用新型所述抛光布修整游轮的结构示意图。
图2为图1的左视图。
附图标记说明：1-游轮盘、2-通孔、3-安装块、4-安装槽、5-修整柱、6-金刚石磨层。
具体实施方式
下面结合具体附图对本实用新型作进一步说明。
如图1、2所示，本实用新型一种抛光布修整游轮包括游轮盘1，游轮盘1采用不锈钢或陶瓷材质，游轮盘在加工过程中由于受力容易变形、磨损，影响游轮盘对抛光布的修整质量，优选地，采用由多层碳纤维通过环氧树脂粘结剂粘贴为一体的游轮盘1，可以更大程度地提高游轮盘1的使用寿命和强度。在游轮盘1表面开设有若干个轴向通孔2，优选地，在游轮盘1表面呈中心对称分布4个轴向通孔2，在通孔2内固定有安装块3，安装块3通过卡扣方式可拆卸套设于通孔2，在安装块3的至少一个表面设有多个安装槽4，多个安装槽4在安装块3的表面呈中心对称分布，在安装槽4中通过粘贴或螺接嵌设有用于修整抛光布的修整柱5，修整柱5顶面设有金刚石磨层6，金刚石磨层6是在高温高压下烧结而成，修整柱5顶面凸出游轮盘1表面，以达到修整抛光布的作用。
工作原理：本实用新型在双面抛光设备中使用时，将抛光布修整游轮放置在抛光盘的内齿圈和太阳轮之间充分啮合固定，使带有金刚石磨层6的修整柱5分别朝向上、下抛光盘，当上抛光盘下移对抛光布修整游轮上的修整柱5施加一定压力后旋转上、下抛光盘及抛光盘的内齿圈、太阳轮，此时抛光布修整游轮将沿内齿圈、太阳轮啮合圆周运动，使朝向上、下抛光盘的修整柱分别对贴于上、下抛光盘面的抛光布进行修正，从而达到清洁抛光布的目的。
本实用新型通过在安装块上嵌设修整抛光布的修整柱，同时，安装块可拆卸地安装于游轮盘的通孔内，本实用新型结构可根据实际加工过程中金刚石磨层的磨损程度既可以通过拆卸修整柱单独更换金刚石磨层，又可以通过拆卸安装块整体更换金刚石磨层，达到提高加工效率、降低成本的目的。
Claims (6)
1.一种抛光布修整游轮，包括游轮盘（1），其特征是：在所述游轮盘（1）表面开设有若干个轴向通孔（2），所述通孔（2）在所述游轮盘（1）表面呈中心对称分布，在所述通孔（2）内可拆卸套设有安装块（3），在所述安装块（3）的至少一个表面设有多个安装槽（4），多个所述安装槽（4）在所述安装块（3）的表面呈中心对称分布，在所述安装槽（4）中嵌设有用于修整抛光布的修整柱（5），所述修整柱（5）顶面设有金刚石磨层（6），所述修整柱（5）顶面凸出游轮盘（1）表面。
2.如权利要求1所述的抛光布修整游轮，其特征是：所述游轮盘（1）为不锈钢或者陶瓷材质。
3.如权利要求1所述的抛光布修整游轮，其特征是：所述游轮盘（1）由多层碳纤维用粘结剂粘贴为一体。
4.如权利要求3所述的抛光布修整游轮，其特征是：所述粘结剂为环氧树脂。
5.如权利要求1所述的抛光布修整游轮，其特征是：所述安装块（3）与所述通孔（2）通过卡扣安装。
6.如权利要求1所述的抛光布修整游轮，其特征是：所述修整柱（5）粘贴或螺接于所述安装槽（4）。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201920781167.4U CN211332766U (zh) | 2019-05-28 | 2019-05-28 | 抛光布修整游轮 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN211332766U true CN211332766U (zh) | 2020-08-25 |
Family
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Family Applications (1)
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| CN201920781167.4U Active CN211332766U (zh) | 2019-05-28 | 2019-05-28 | 抛光布修整游轮 |
Country Status (1)
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-
2019
- 2019-05-28 CN CN201920781167.4U patent/CN211332766U/zh active Active
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