CN211292626U - 一种石英坩埚检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种石英坩埚检测装置，包括可转动底板组件、图像采集单元、伸缩旋转机构和图像处理单元，其中，所述可转动底板组件用于放置待测的石英坩埚，以使所述石英坩埚能够绕其中心轴转动；所述图像采集单元通过所述伸缩旋转机构安装在所述可转动底板组件上，以使所述伸缩旋转机构带动所述图像采集单元进行平移和旋转运动，进而采集所述石英坩埚的表面图像；所述图像处理单元电连接所述图像采集单元，用于根据所述表面图像判断所述石英坩埚是否存在缺陷。本实用新型的装置通过图像采集单元对石英坩埚表面进行图像采集，并通过图像处理单元对缺陷进行提取记录，能够自动全方位地检测石英坩埚上是否存在缺陷。

Description

一种石英坩埚检测装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆制造技术领域，更具体地，涉及一种石英坩埚检测装置。

背景技术

石英坩埚是生产多晶硅铸锭和拉制单晶硅棒的过程中必不可少的专用工艺装备，是承载多晶硅或单晶硅的载体。石英坩埚在使用时要承载超过400kg的熔硅，同时还要承受1400-1600℃的高温，受热时间长达50小时左右。随着单晶技术的发展，石英坩埚直径越来越大，承重越来越重，受热时间也越来越长，一旦在拉制单晶硅棒的过程中石英坩埚出现质量问题，轻则会导致单晶无法正常拉制，重则硅熔液会从石英坩埚流出，损坏热场、烧坏单晶炉，甚至可能危及人身和财产安全。

因此在使用之前必须对石英坩埚做仔细的检查，判断石英坩埚的质量是否合格，防止把存在裂纹、杂质点、气泡、划痕等缺陷的石英坩埚运用到实际生产中。目前石英坩埚质量的检测通常是使用强光灯对石英坩埚的内外表面进行照射，由于石英被强光照射后会变为透明状，可对石英坩埚的表面进行检验，观察石英坩埚是否存在裂纹、气泡、划痕等缺陷，若存在且超出规定的技术标准，则该石英坩埚质量不合格；若不存在或者在规定的技术标准内，则该石英坩埚质量合格。由于石英坩埚的各个面均需要检验，而且石英坩埚的材质为石英，易碎、易破，在翻转和旋转石英坩埚过程中，可能会因操作失误和用力过猛对坩埚造成损坏，使得石英坩埚损坏系数增大。

另外，上述检测方法需要通过目视对缺陷进行识别和判断，存在的不足是：对员工的要求较高，操作难度大并且存在不安全因素；距离检测者较远的地方可能会存在漏检；检查过程中可能会污染和损伤石英坩埚；检测精度和效率较低；需要消耗大量的人力和时间。

实用新型内容

为了解决现有技术中存在的上述问题，本实用新型提供了一种石英坩埚检测装置。本实用新型要解决的技术问题通过以下技术方案实现：

本实用新型提供了一种石英坩埚检测装置，包括可转动底板组件、图像采集单元、伸缩旋转机构和图像处理单元，其中，

所述可转动底板组件用于放置待测的石英坩埚，以使所述石英坩埚绕其中心轴转动；

所述图像采集单元通过所述伸缩旋转机构安装在所述可转动底板组件上，以使所述伸缩旋转机构带动所述图像采集单元进行平移和旋转运动，进而采集所述石英坩埚的表面图像；所述图像处理单元电连接所述图像采集单元，用于根据所述表面图像判断所述石英坩埚是否存在缺陷。

在本实用新型的一个实施例中，所述石英坩埚检测装置还包括控制单元，所述控制单元电连接所述图像采集单元和所述图像处理单元，用于控制所述图像采集单元采集所述石英坩埚的表面图像并将所述表面图像传输至所述图像处理单元。

在本实用新型的一个实施例中，所述可转动底板组件包括下底板和上底板，其中，所述上底板以可转动的方式平行设置在所述下底板的上方，且所述石英坩埚设置在所述上底板上。

在本实用新型的一个实施例中，所述可转动底板组件上设置有多个第一滚轮和多个第二滚轮，其中，

所述多个第一滚轮的中心轴位于第一直线上，所述多个第二滚轮的中心轴位于第二直线上，所述第一直线与所述第二直线平行。

在本实用新型的一个实施例中，所述石英坩埚检测装置还包括驱动电机，所述驱动电机连接所述多个第一滚轮。

在本实用新型的一个实施例中，所述多个第一滚轮和多个第二滚轮分别通过滚轮支撑件安装在所述可转动底板组件上，且所述第一滚轮的高度小于所述第二滚轮的高度。

在本实用新型的一个实施例中，所述伸缩旋转机构包括第一伸缩杆、第二伸缩杆、第一关节件和第二关节件，其中，

所述第一伸缩杆的第一端竖向安装在所述下底板上，所述第一伸缩杆的第二端通过所述第一关节件连接至所述第二伸缩杆的第一端，所述第二伸缩杆的第二端通过所述第二关节件连接至所述图像采集单元。

在本实用新型的一个实施例中，所述图像采集单元上设置有距离传感器，用于测量所述图像采集单元与所述石英坩埚表面的距离。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

1、本实用新型的石英坩埚检测装置通过图像采集单元获取石英坩埚的内外表面图像，并通过图像处理单元对表面图像中的缺陷进行提取和记录，能够自动全方位地检测石英坩埚上是否存在缺陷。

2、本实用新型的石英坩埚检测装置包括可转动底板组件、图像采集单元和伸缩旋转机构，通过可转动底板组件的水平转动以及伸缩旋转机构的伸缩和旋转，使图像采集单元能够对石英坩埚的任何指定位置进行图像采集，从而可以全方位地检测石英坩埚内外的任何部位是否存在缺陷。

3、本实用新型的石英坩埚检测装置改善了检验方式，自动化程度高，可以快速及时发现石英坩埚存在的裂纹、气泡、划痕等缺陷，避免漏检，提高了检验的准确性和精度，具有规范性，减少了检验所需的人力和时间，降低了操作人员的劳动强度。

4、本实用新型的石英坩埚检测装置无需手动旋转石英坩埚，有效提高了石英坩埚的检验效率，减少了石英坩埚的二次污染，降低了石英坩埚损坏系数，保证石英坩埚的质量。

以下将结合附图及实施例对本实用新型做进一步详细说明。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的一种石英坩埚检测装置的立体图；

图2是本实用新型实施例提供的一种石英坩埚检测装置的控制模块图；

图3是本实用新型实施例提供的一种石英坩埚检测装置的主视图；

图4是本实用新型实施例提供的一种石英坩埚检测装置的侧视图；

图5是本实用新型实施例提供的一种伸缩旋转机构的结构示意图；

图6是本实用新型实施例提供的一种石英坩埚检测方法的流程图；

图7是本实用新型实施例提供的一种图像处理过程的流程图。

附图标记说明如下：

1-可转动底板组件；101-下底板；102-上底板；2-相机；3-伸缩旋转机构；301-第一伸缩杆；302-第二伸缩杆；303-第一关节件；304-第二关节件；305-连接杆；4-图像处理单元；5-石英坩埚；6-控制单元；7-旋转轴；8-第一滚轮；9-第二滚轮；10-驱动电机；11-滚轮支撑件；12-距离传感器；13-第一轴承；14-第二轴承。

具体实施方式

为了使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。有关本实用新型的前述及其他技术内容、特点及功效，在以下配合附图的具体实施方式详细说明中即可清楚地呈现。通过具体实施方式的说明，可对本实用新型为达成预定目的所采取的技术手段及功效进行更加深入且具体地了解，然而所附附图仅是提供参考与说明之用，并非用来对本实用新型的技术方案加以限制。

应当说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的物品或者设备中还存在另外的相同要素。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也相应地改变。

实施例一

请参见图1和图2，图1是本实用新型实施例提供的一种石英坩埚检测装置的立体图；图2是本实用新型实施例提供的一种石英坩埚检测装置的控制模块图。本实施例的石英坩埚检测装置包括可转动底板组件1、图像采集单元2、伸缩旋转机构3和图像处理单元4，其中，可转动底板组件1上用于放置设置有待测的石英坩埚5，以使石英坩埚5能够绕其中心轴转动；图像采集单元2通过伸缩旋转机构3安装在可转动底板组件1上，以使伸缩旋转机构3带动图像采集单元2进行平移和旋转运动，进而采集石英坩埚5的表面图像；图像处理单元4电连接所述图像采集单元2，用于根据所述表面图像判断所述石英坩埚5是否存在缺陷。

进一步地，所述石英坩埚检测装置还包括控制单元6，控制单元6分别电连接可转动底板组件1、图像采集单元2、伸缩旋转机构3和图像处理单元4，并且控制单元6能够控制可转动底板组件1的转动角度和速度、图像采集单元2的拍摄动作、伸缩旋转机构3的伸缩长度和旋转角度、以及图像处理单元4的图像处理和分析过程。

可转动底板组件1可以放置在平坦的地板或者检测平台上，并且能够绕垂直于地板或检测平台的方向转动。请参见图3，图3是本实用新型实施例提供的一种石英坩埚检测装置的主视图。在本实施例中，可转动底板组件1包括下底板101和上底板102，其中，上底板102通过旋转轴7平行设置在下底板101上，使得上底板102能够相对于下底板101转动，石英坩埚5设置在上底板102上。下底板101的尺寸大于上底板102。下底板101可以放置在平坦的地板或者检测平台上。优选地，下底板101为矩形，上底板102为正方形，且上底板102的边长与下底板101的宽度相等。

在本实施例中，在旋转轴7的下端外周套设有第一轴承13，以对旋转轴7起支撑作用。第一轴承13的下端固定在下底板101的上表面。进一步地，控制单元6连接至旋转轴7，以控制旋转轴7的转动，进而控制上底板102相对于下底板101的转动。具体地，本实施例的控制单元6可以包括控制平台、驱动器、伺服电机和传动机构，其中，通过控制平台(例如计算机)控制驱动器来启动伺服电机，再通过伺服电机驱动旋转轴7的转动。此外，可以通过控制平台来设置和调节旋转轴7的转动角度和速度。

进一步地，本实施例的石英坩埚5侧向放置在上底板102上，即石英坩埚5的开口朝向一侧。由于上底板102能够相对于固定的下底板101转动，也就是说，石英坩埚5能够绕竖向方向转动，使其开口能够转动360°。

此外，石英坩埚5还能够绕其自身的中心轴转动。具体实现方式为：上底板102上设置有多个第一滚轮8和多个第二滚轮9，其中，所述多个第一滚轮8的中心轴位于第一直线上，所述多个第二滚轮9的中心轴位于第二直线上，第一直线与第二直线平行；在测试状态下，石英坩埚5位于多个第一滚轮8和多个第二滚轮9上。也就是说，所述多个第一滚轮8沿其轴线方向排成一列，所述多个第二滚轮9沿其轴线方向排成一列，两列滚轮之间存在一定的间隙。石英坩埚5被放置在两列滚轮之间，石英坩埚5的侧面分别与每个第一滚轮8和每个第二滚轮9的侧面滚动接触，但石英坩埚5不与上底板102的上表面接触。所述多个第一滚轮8的作用是带动石英坩埚5进行滚动，而所述多个第二滚轮9的主要作用是对石英坩埚5起支撑作用，并防止石英坩埚5从上底板102上滚落。

继续参见图2和图3，本实施例的石英坩埚检测装置还包括驱动电机10，驱动电机10电连接每个第一滚轮8，用于驱动第一滚轮8绕其轴向方向转动。优选地，驱动电机10安装在上底板102上。进一步地，驱动电机10电连接控制单元6，通过控制单元6控制驱动器来启动驱动电机10，再通过驱动电机10驱动第一滚轮8的转动。随后，由于石英坩埚5的侧面分别与每个第一滚轮8和每个第二滚轮9的侧面滚动接触，第一滚轮8的转动会带动石英坩埚5的转动，进而带动第二滚轮9的滚动。此外，可以通过控制平台来设置和调节第一滚轮8的转动速度，以保持石英坩埚5在第一滚轮8与第二滚轮9之间的平稳转动。

进一步地，请参见图3和图4，图4是本实用新型实施例提供的一种石英坩埚检测装置的侧视图。所述多个第一滚轮8和所述多个第二滚轮9分别通过相应的滚轮支撑件11安装在可转动底板组件1上。滚轮支撑件11包括竖向固定在上底板102上的两个平行的支脚，以及固定在两个支脚之间的滚轮安装轴，第一滚轮8和第二滚轮9分别套设在相应的滚轮安装轴上，并且能够在滚轮安装轴上自由转动。

此外，第一滚轮8的滚轮支撑件11的高度小于第二滚轮9的滚轮支撑件11的高度，使得第一滚轮8的高度小于第二滚轮9的高度，以防止石英坩埚5在转动过程中从第二滚轮9一侧滚落。

优选地，至少包括两个第一滚轮8和六个第二滚轮9。并且，第一滚轮8和第二滚轮9均选用较软的材料制作，例如减震橡胶或聚乙烯，以防止在滚动过程中对石英坩埚的表面造成损伤。在本实施例中，第一滚轮8和第二滚轮9的形状相同且尺寸相等。然而，在其他实施例中，第一滚轮8和第二滚轮9也可以采用不同的形状和尺寸，这里不做限制。

进一步地，请参见图4和图5，图5是本实用新型实施例提供的一种伸缩旋转机构的结构示意图。在本实施例中，伸缩旋转机构3设置在下底板101上，包括第一伸缩杆301、第二伸缩杆302、第一关节件303和第二关节件304，其中，第一伸缩杆301的第一端竖向固定在下底板101，第一伸缩杆301的第二端通过第一关节件303连接至第二伸缩杆302的第一端，第二伸缩杆302的第二端通过第二关节件304连接至图像采集单元2。在第一伸缩杆301的下端外周套设有第二轴承14，以对第一伸缩杆301起支撑作用。第二轴承14的下端固定在下底板101的上表面。在本实施例中，伸缩旋转机构3还包括连接杆305，第二关节件304通过连接杆305连接至图像采集单元2。

第一伸缩杆301和第二伸缩杆302均由多节依次套设且直径不同的空心管制成，能够沿长度方向伸缩。第一关节件303和第二关节件304可以绕其中心转动。通过第一伸缩杆301、第二伸缩杆302、第一关节件303和第二关节件304的组合，可以灵活地调节图像采集单元2的位置，以对石英坩埚5表面的任何区域进行图像采集。

此外，本实施例的伸缩旋转机构3连接至控制单元6，控制单元6能够控制伸缩旋转机构3的伸缩和旋转。具体地，本实施例的控制单元6的控制平台(例如计算机)根据石英坩埚5的尺寸和位置控制驱动器，以启动伺服电机，再通过伺服电机驱动第一伸缩杆301和第二伸缩杆302的伸缩以及第一关节件303和第二关节件304的转动，以将图像采集单元2调节至适当的位置。

此外，请参见图2，图像采集单元2上设置有距离传感器12，用于测量图像采集单元2与石英坩埚5表面的距离。距离传感器12电连接控制单元6，控制单元6能够接收来自距离传感器12的距离信号，并根据距离信号来控制伸缩旋转机构3的伸缩和旋转，以调节图像采集单元2的位置。

优选地，图像采集单元2为相机。

本实施例的石英坩埚检测装置的操作过程如下：

首先，将待测的石英坩埚5放置在第一滚轮8和第二滚轮9上，通过控制单元6旋转上底板102，调节第一伸缩杆301、第一关节件303、第二伸缩杆302、第二关节件304，使相机到达石英坩埚5表面的预定位置处；启动驱动电机10，驱动第一滚轮8带动石英坩埚5旋转，第二滚轮9随石英坩埚5从动并起到支撑作用；通过控制单元6调节第二伸缩杆302和第二关节件304，使相机到达石英坩埚5的不同位置处，利用相机对石英坩埚5的内外壁进行图像采集；石英坩埚5内外壁图像采集完成后，关闭驱动电机10，并使伸缩旋转机构3的各部件伸缩旋转恢复到初始位置；利用图像处理单元4将采集的图像进行预处理后再进行后续处理，接着判断是否存在缺陷，如果存在缺陷，则将缺陷图片保存后继续判断下一张图像采集，否则直接进行下一张图像采集。需要说明的是，在拍摄过程中，采集的图像中可能会出现不完整缺陷，即只拍摄到了缺陷的一部分，此时，为了防止不完整缺陷被误认为“完整缺陷”进行标记，或者同一缺陷被重复检测而影响对缺陷尺寸和数量的统计，需要对具有不完整缺陷的图像或边界图像进行拼接，再同已保存的缺陷图片进行匹配比对，判断是否为重复检测，记录所有缺陷数量、缺陷尺寸大小并与技术标准规定的范围比较，判别该石英坩埚是否合格。

本实施例的石英坩埚检测装置通过相机获取石英坩埚的表面图像，并通过图像处理单元对表面图像中的缺陷进行提取和记录，能够自动全方位地检测石英坩埚上是否存在缺陷。另外，该石英坩埚检测装置包括可转动底板组件、相机和伸缩旋转机构，通过可转动底板组件的水平转动以及伸缩旋转机构的伸缩和旋转，使相机能够对石英坩埚的任何指定位置进行图像采集，从而可以全方位地检测石英坩埚内外的任何部位是否存在缺陷。

实施例二

在实施例一的基础上，本实施例提供了一种石英坩埚检测方法，所述方法可以利用实施例一所述的石英坩埚检测装置对石英坩埚进行质量检测。

请参见图6，图6是本实用新型实施例提供的一种石英坩埚检测方法的流程图。所述方法包括：

S1：通过相机采集待测石英坩埚表面的图像；

具体地，将石英坩埚放置在第一滚轮和第二滚轮上，通过控制单元旋转上底板，调节第一伸缩杆、第一关节件、第二伸缩杆、第二关节件，使相机到达石英坩埚表面的预定位置处；启动驱动电机，驱动第一滚轮带动石英坩埚旋转，第二滚轮随石英坩埚从动并起到支撑作用；通过控制单元调节第二伸缩杆和第二关节，利用相机对石英坩埚的内外壁进行图像采集；石英坩埚内外壁图像采集完成后，关闭驱动电机，并使伸缩旋转机构的各部件伸缩旋转恢复到初始位置。

S2：判断所述图像中是否存在缺陷，保存缺陷图像并记录缺陷数据；

所述缺陷数据包括缺陷的形状、尺寸、位置和数量等参数。

所述S2还包括：

判断所述缺陷图像中是否存在不完整缺陷，若是，则对具有不完整缺陷的图像进行拼接，以将所述不完整缺陷拼接成完整缺陷，保存拼接后的完整缺陷图像并根据所述完整缺陷图像记录缺陷数据，若否，则直接保存当前缺陷图像并记录缺陷数据。

请参见图7，图7是本实用新型实施例提供的一种图像处理过程的流程图。在本实施例中，步骤S2具体包括：

步骤a：通过图像处理软件对相机采集的图像进行预处理；

所述预处理为将采集到的图片的前景和背景色进行预处理，提高对比度。

步骤b：判断所述图像中是否存在缺陷，若是，则执行步骤c，若否，则进行下一张图像采集；

步骤c：判断所述图像中的缺陷是否为不完整缺陷，若是，则对具有不完整缺陷的图像与对应的图像进行拼接，将所述不完整缺陷组成完整缺陷，并执行步骤d，若否，则直接执行步骤d；

步骤d：判断具有完整缺陷的当前图像是否与已保存的图像重复，若否，则保存具有完整缺陷的当前图像并记录缺陷数据，若是，则舍弃该图像并进行下一张图像的采集，直到完成整个石英坩埚表面的图像采集和缺陷图像保存。

S3：将所述缺陷数据与预设的阈值进行比较，判断所述石英坩埚是否合格。

具体地，将所记录的整个石英坩埚的缺陷的形状、尺寸、位置和数量等参数与技术标准规定的范围进行比较，若各项参数均在范围之内，则说明该石英坩埚为合格品，可以正常使用，若存在不合格参数，则说明该石英坩埚不合格，使用时可能存在风险。所述预设的阈值可以根据实际使用的要求高低进行人为设定。

综上，本实用新型实施例的石英坩埚检测装置改善了检验方式，自动化程度高，可以快速及时发现石英坩埚存在的裂纹、气泡、划痕等缺陷，避免漏检，提高了检验的准确性和精度，具有规范性，减少了检验所需的人力和时间，降低了操作人员的劳动强度。另外，本实用新型实施例的石英坩埚检测装置无需手动旋转石英坩埚，有效提高石英坩埚的检验效率，减少石英坩埚二次污染，降低石英坩埚损坏系数，保证石英坩埚质量。

以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种石英坩埚检测装置，其特征在于，包括可转动底板组件(1)、图像采集单元(2)、伸缩旋转机构(3)和图像处理单元(4)，其中，

所述可转动底板组件(1)用于放置待测的石英坩埚(5)，以使所述石英坩埚(5)绕其中心轴转动；

所述图像采集单元(2)通过所述伸缩旋转机构(3)安装在所述可转动底板组件(1)上，以使所述伸缩旋转机构(3)带动所述图像采集单元(2)进行平移和旋转运动，进而采集所述石英坩埚(5)的表面图像；所述图像处理单元(4)电连接所述图像采集单元(2)，用于根据所述表面图像判断所述石英坩埚(5)是否存在缺陷。

2.根据权利要求1所述的石英坩埚检测装置，其特征在于，所述石英坩埚检测装置还包括控制单元(6)，所述控制单元(6)电连接所述图像采集单元(2)和所述图像处理单元(4)，用于控制所述图像采集单元(2)采集所述石英坩埚(5)的表面图像并将所述表面图像传输至所述图像处理单元(4)。

3.根据权利要求1所述的石英坩埚检测装置，其特征在于，所述可转动底板组件(1)包括下底板(101)和上底板(102)，其中，所述上底板(102)以可转动的方式平行设置在所述下底板(101)的上方，且所述石英坩埚(5)设置在所述上底板(102)上。

4.根据权利要求1所述的石英坩埚检测装置，其特征在于，所述可转动底板组件(1)上设置有多个第一滚轮(8)和多个第二滚轮(9)，其中，

所述多个第一滚轮(8)的中心轴位于第一直线上，所述多个第二滚轮(9)的中心轴位于第二直线上，所述第一直线与所述第二直线平行。

5.根据权利要求4所述的石英坩埚检测装置，其特征在于，所述石英坩埚检测装置还包括驱动电机(10)，所述驱动电机(10)连接所述多个第一滚轮(8)。

6.根据权利要求4所述的石英坩埚检测装置，其特征在于，所述多个第一滚轮(8)和多个第二滚轮(9)分别通过滚轮支撑件(11)安装在所述可转动底板组件(1)上，且所述第一滚轮(8)的高度小于所述第二滚轮(9)的高度。

7.根据权利要求3所述的石英坩埚检测装置，其特征在于，所述伸缩旋转机构(3)包括第一伸缩杆(301)、第二伸缩杆(302)、第一关节件(303)和第二关节件(304)，其中，

所述第一伸缩杆(301)的第一端竖向安装在所述下底板(101)上，所述第一伸缩杆(301)的第二端通过所述第一关节件(303)连接至所述第二伸缩杆(302)的第一端，所述第二伸缩杆(302)的第二端通过所述第二关节件(304)连接至所述图像采集单元(2)。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的石英坩埚检测装置，其特征在于，所述图像采集单元(2)上设置有距离传感器(12)，用于测量所述图像采集单元(2)与所述石英坩埚(5)表面的距离。

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