CN211284593U - 电镀设备 - Google Patents

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CN211284593U CN201921404769.4U CN201921404769U CN211284593U CN 211284593 U CN211284593 U CN 211284593U CN 201921404769 U CN201921404769 U CN 201921404769U CN 211284593 U CN211284593 U CN 211284593U
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张成立
徐光龙
王强
李东海
茆昊奇
黄礼树
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Abstract

一种电镀设备,包括电镀槽的槽体,槽体内沿长度方向设置有阴极和阳极,产品挂在阴极上,其特征在于:所述阴极和阳极为固定设置,其中阴极设置在槽体中部,阳极为二个,分别等距间隔平行设置在阴极的两侧,阴极与阳极之间的槽体内设有用于搅拌电镀液的摆动装置;所述阴极上增设有震动泵;所述阳极与槽体的内壁面之间设有超声波发生器。本实用新型结构设计合理,由于阴极和阳极为固定设置,电力线不会变动,均匀性好;阴极上增设有震动泵,槽体内设置摆动装置和超声波发生器,达到消除气泡作用,增加药水交换速度,使得小至50μm的微型孔也能获得很好的灌孔效果;摆动装置的高度、尺寸、间距可调,适用于各种电镀类型的产品。

Description

电镀设备
技术领域
本实用新型属于线路板电镀技术领域,涉及一种电镀设备,尤其涉及一种高精度高速电镀设备。
背景技术
目前关于线路板电镀的常规电镀设备有二种,一种是龙门电镀,还有一种是VCP电镀,这二种设备存在以下缺陷:
一、龙门电镀:每个槽是独立的,产品挂在阴极上,为了达到比较好的灌孔效果,一般是有左右、对角45°方向的摇摆,增加药水灌孔能力,但是,随着阴极摇摆移动,阴阳极距离发生变化,电力线会随之变化,均匀性较差;
二、VCP电镀:垂直连续电镀线,阴极上的产品水平移动,阴阳极距离不变,均匀性好,如果电镀不同的厚度,需要调整不同的运行线速,为了达到较高的产能,只能把线体加长,这样会增加设备投入和占地面积,以及药水损耗和维护成本,且一条线无法做不同规格的电镀厚度;且阴极在水平移动时无法机械震动,这样,在阴极产生的电镀气泡无法迅速扩散,针对<100um的微小孔径,孔内空洞不良的概率会增加。
经查,现有专利号为CN201820147287的中国专利《一种电镀槽》,包括槽体,在槽体的两侧各安装第一组、第二组喷管;其中,第一组与第二组喷管之间平行并间隔设置,在第一组、第二组喷管的内侧各安装若干喷嘴,喷嘴沿每根喷管的长度方向均布,喷嘴射流方向垂直于印刷线路板。第一、第二导条安装在第一组和第二组喷管之间,第一导条和第二导条平行设置并预留印制线路板通过的空间;第一导条和第二导条上安装喷嘴,射流方向垂直于印刷线路板。该电镀槽是针对垂直连续电镀槽进行改进,设置导条、喷管和喷嘴,提高了产品的电镀质量,但是对于阴极产生的气泡的扩散效果还不够理想,需要进一步改进。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构合理、电镀均匀性会更好的电镀设备。
本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为:一种电镀设备,包括电镀槽的槽体,槽体内沿长度方向设置有阴极和阳极,产品挂在阴极上,其特征在于:所述阴极和阳极为固定设置,其中阴极设置在槽体中部,阳极为二个,分别等距间隔平行设置在阴极的两侧,阴极与阳极之间的槽体内设有用于搅拌电镀液的摆动装置;所述阴极上增设有震动泵;所述阳极与槽体的内壁面之间设有超声波发生器。
进一步,所述震动泵为二个,分别安装在阴极的前后两侧,震动泵的频率可调。
进一步,所述摆动装置沿槽体的长度方向设置,摆动装置与阳极的间距可调、且尽可能靠近阴极。
再进一步,所述摆动装置包括有摆动支架和驱动机构,其摆动支架采用框体,摆动支架下方固定有固定板,固定板的侧面安装有搅拌体。
进一步,所述摆动装置其驱动机构是在槽体一侧安装固定有摆动电机,摆动电机的向上输出端安装有偏心轮,偏心轮上的偏心销柱和摆动支架一侧的连接孔插接配合。
再进一步,所述固定板上可拆卸地安装有可移动的搅拌体,摆动支架的底部安装有 U字型滑轮,与槽体底部上的滑轨配合。
优选,所述固定板行列式分布有固定搅拌体的固定孔,使搅拌体间距、数量可调。
优选,所述搅拌体采用三角体。
进一步,所述摆动支架其左右两侧边框是搁置在槽体口沿部位上的定滑轮上,定滑轮采用U字型滑轮,分布在槽体口沿部位左右两侧。
再进一步,所述超声波发生器沿槽体长度方向设置,且频率可调。
进一步,所述阳极为氧化钇钛网材质的不溶阳极,阳极外增设有用于防止气泡溢出的网屏障,阳极上设有用于提升电镀的电力线分布均匀性的阳极遮蔽板,阳极遮蔽板可根据不同大小的产品做左右、上下调节。
最后,所述槽体是可独立管控的槽体,槽体能够多个组合成一条线同时作业不同规格的产品。
与现有技术相比,本实用新型的优点在于:阴极和阳极为固定设置,电力线变化小,均匀性好,所以同等条件下电镀均匀性会更好;阴极上增设有震动泵,槽体内设置摆动装置和超声波发生器,达到消除气泡作用,同时增加药水交换速度,使得小至30μm的微型孔也能获得很好的灌孔效果;摆动装置的搅拌体高度、尺寸、间距可调,适用于各种电镀类型的产品;阳极遮蔽板左右上下可调,可进一步提升电镀的电力线分布均匀性。本实用新型结构设计合理,电力线分布均匀性好,能快速消除气泡、电镀均匀性好,提高灌孔效果。
附图说明
图1是本实用新型提供的电镀槽原理性结构的俯视图;
图2是本实用新型提供的电镀槽原理性结构的前视图;
图3是本实用新型提供的电镀槽原理性结构的侧视图;
图4是本实用新型的电镀槽的具体结构图。
具体实施方式
以下结合附图实施例对本实用新型作进一步详细描述。
如图1~4所示,一种高速电镀设备即电镀槽,包括电镀槽的槽体1,槽体1内沿长度方向设置有阴极2和阳极3,阴极2和阳极3为固定设置,其中阴极2设置在槽体1 中部,阳极3为二个,分别等距间隔平行设置在阴极2的两侧,阴极2与阳极3之间的槽体1内设有用于搅拌电镀液的摆动装置4,阴极2上增设有震动泵5。具体为:震动泵5为二个,分别安装在阴极2的前后两侧,震动泵5的频率可调,为了方便安装震动泵,通常是将震动泵5固定在阴极2的支架上。摆动装置4沿槽体1的长度方向设置,摆动装置4与阳极3的间距可调、且尽可能靠近阴极2,摆动装置4包括摆动支架41 以及摆动电机44,摆动支架41采用强度高、直径小的装置,因为直径太大在摆动时会干扰电流的分布,强度低可能会变形,通常摆动支架41采用长方形的框体,摆动支架 41通过连接板46固定有固定板45,固定板45的内侧面通过螺栓螺母可拆卸地安装有搅拌体,通常为了方便生产制造,搅拌体可以采用简单易行的三角体42,就是搅拌体截面基本上为三角形截面,当然搅拌体可以各种各样,如柱状或者波浪条形,都可以,为了摆动支架41上可拆卸地安装有可移动的三角体42,三角体42之间的间距可调,数量可调,固定板45上可以行列式分布有固定孔,供螺栓使用,三角体42与阴极2上产品的间距要确认好,不可刮到产品。摆动支架42下的固定板45底部安装有滑轮,滑轮可以采用U字型滑轮43与槽底上的滑轨配合,不仅可有效保持垂直度,防止变形,而且还可以使顶部和底部的摆动幅度一致,摆动支架41的摆动的幅度、频率可调,本实施例的摆动支架41摆动的幅度在10~15cm之间,摆动的频率为1次/s。为了减少摆动支架的摩擦力,摆动支架41的左右两侧边框是搁置在槽体1口沿部位上的定滑轮47上,定滑轮47可以采用U字型定滑轮,分布在槽体1口沿部位左右两侧,每侧有两个U字型定滑轮基本分布在一条直线上,供摆动支架41的边框搁置。摆动装置4的驱动机构是在槽体1一侧安装固定有摆动电机44,摆动电机44的向上输出端安装有偏心轮47,偏心轮47上的偏心销柱48和摆动支架41一侧的连接孔插接配合,这样,摆动电机44 通过偏心轮47连接摆动支架41一侧,并可以驱动摆动支架41往返运动。阴极1铜排固定,阳极3为氧化钇钛网材质的不溶阳极,阳极3与槽体1的内壁面之间设有超声波发生器6,超声波发生器6沿槽体1长度方向设置,且频率可调。阳极3外增设有用于防止气泡溢出的网屏障31,阳极3上设有用于提升电镀的电力线分布均匀性的阳极遮蔽板,阳极遮蔽板3可根据不同大小的产品做左右、上下调节。
本实施例的槽体1尺寸按照250*200mm~250*250mm范围设计,挂板建议挂镀一张,因为挂镀二张的话,两种产品之间的电力线分别会有干扰,如果为避免电力线干扰,在槽体1中间设计挡板的话,由于中间有摆动装置4,挡板中间需要局部镂空,这样不仅对电流有影响,而且摆动装置4不容易安装;对于阴极2上的挂具的要求是:必须强度高、不易变形,除夹点外,挂具不可有外露导体,建议内埋铜芯线做专用挂具。
槽体1是可独立管控,也可以多个槽体1组合成一条线,同时作业不同规格的产品,若产品的厚度增加,只需延长时间/单独增加镀铜槽体即可,其他附着设备增加成本小,设备、药水、配套设施及管理成本下降。
电镀时,由于阴极2和阳极3为固定设置,电力线变化小,均匀性好;阴极2上增设有震动泵5,槽体1内设置摆动装置4和超声波发生器6,能较好地达到消除气泡作用,同时增加药水交换速度,使得小至50μm的微型孔也能获得很好的灌孔效果。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (12)

1.一种电镀设备,包括电镀槽的槽体,槽体内沿长度方向设置有阴极和阳极,产品挂在阴极上,其特征在于:所述阴极和阳极为固定设置,其中阴极设置在槽体中部,阳极为二个,分别等距间隔平行设置在阴极的两侧,阴极与阳极之间的槽体内设有用于搅拌电镀液的摆动装置;所述阴极上增设有震动泵;所述阳极与槽体的内壁面之间设有超声波发生器。
2.根据权利要求1所述的电镀设备,其特征在于:所述震动泵为二个,分别安装在阴极的前后两侧,震动泵的频率可调。
3.根据权利要求1所述的电镀设备,其特征在于:所述摆动装置沿槽体的长度方向设置,摆动装置与阳极的间距可调、且尽可能靠近阴极。
4.根据权利要求1所述的电镀设备,其特征在于:所述摆动装置包括有摆动支架和驱动机构,其摆动支架采用框体,摆动支架下方固定有固定板,固定板的侧面安装有搅拌体。
5.根据权利要求4所述的电镀设备,其特征在于:所述摆动装置其驱动机构是在槽体一侧安装固定有摆动电机,摆动电机的向上输出端安装有偏心轮,偏心轮上的偏心销柱和摆动支架一侧的连接孔插接配合。
6.根据权利要求4所述的电镀设备,其特征在于:所述固定板上可拆卸地安装有可移动的搅拌体,摆动支架的底部安装有U字型滑轮,与槽体底部上的滑轨配合。
7.根据权利要求6所述的电镀设备,其特征在于:所述固定板行列式分布有用来固定搅拌体的固定孔,使搅拌体间距、数量可调。
8.根据权利要求7所述的电镀设备,其特征在于:所述搅拌体采用三角体。
9.根据权利要求4所述的电镀设备,其特征在于:所述摆动支架其左右两侧边框是搁置在槽体口沿部位上的定滑轮上,定滑轮采用U字型滑轮,分布在槽体口沿部位左右两侧。
10.根据权利要求1所述的电镀设备,其特征在于:所述超声波发生器沿槽体长度方向设置,且频率可调。
11.根据权利要求1至10任一权利要求所述的电镀设备,其特征在于:所述阳极为氧化钇钛网材质的不溶阳极,阳极外增设有用于防止气泡溢出的网屏障,阳极上设有用于提升电镀的电力线分布均匀性的阳极遮蔽板,阳极遮蔽板可根据不同大小的产品做左右、上下调节。
12.根据权利要求11所述的电镀设备,其特征在于:所述槽体为可独立管控的槽体,槽体能够多个组合成一条线同时作业不同规格的产品。
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CN110804755A (zh) * 2019-08-27 2020-02-18 宁波华远电子科技有限公司 电镀设备
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