CN211278056U - 一种新型晶片磨片 - Google Patents

Abstract

本实用新型创造提供了一种新型晶片磨片，包括磨片本体，在磨片本体上设有数个过孔，在磨片本体中心处设有安装孔；所述磨片本体下侧表面沿等角螺线方向布置有若干打磨颗粒，且在磨片本体异于设有打磨颗粒一侧设有加强结构；所述加强结构包括呈十字型布置的四道加强筋，在每两加强筋间设有弧形连接筋。本实用新型创造提供的磨片结构设计合理，由于打磨颗粒间存在间隙，且与磨片本体间留有一定的距离，磨片打磨作业时，热量更易散发，工作精度高，稳定性好。

Description

一种新型晶片磨片

技术领域

本发明创造属于晶片加工设备技术领域，尤其涉及一种新型晶片磨片。

背景技术

科学技术的发展不断推动着半导体、自动化和计算机等技术的发展，硅片的应用非常广泛，涉及航空航天、工业、农业和国防等多个领域。晶片的打磨是芯片加工的重要环节，现有的打磨设备在工作过程中，磨片容易因摩擦而发热，即使是较小的发热量，对于精加工的晶片产品来说，也会带来一定的影响，保证磨片本身结构的稳定，并尽可能减小发热，可以在一定程度上提高加工精度，因此，有必要从上述角度对生产工艺及设施进行改进。

发明内容

有鉴于此，本发明创造旨在克服现有技术中的缺陷，提出一种新型晶片磨片。

为达到上述目的，本发明创造的技术方案是这样实现的：

一种新型晶片磨片，包括磨片本体，在磨片本体上设有数个过孔，在磨片本体中心处设有安装孔；所述磨片本体下侧表面沿等角螺线方向布置有若干打磨颗粒，且在磨片本体异于设有打磨颗粒一侧设有加强结构；所述加强结构包括呈十字型布置的四道加强筋，在每两加强筋间设有弧形连接筋。

进一步，所述过孔沿磨片本体中心均布设置。

进一步，所述安装孔处设有加强金属圈。

进一步，各所述弧形连接筋构成圆环形结构。

进一步，所述打磨颗粒与磨片本体一体成型。

进一步，所述加强结构粘结在磨片本体上。

进一步，所述打磨颗粒高度为5-8mm。

进一步，所述打磨颗粒呈圆饼形，其边缘处圆滑过渡。

相对于现有技术，本发明创造具有以下优势：

本发明创造提供的磨片结构设计合理，由于打磨颗粒间存在间隙，且与磨片本体间留有一定的距离，磨片打磨作业时，热量更易散发，同时，通过加强结构的优化设计，提高了磨片的刚度，即使磨片本体较薄，也不容易变形，稳定性好。

附图说明

构成本发明创造的一部分的附图用来提供对本发明创造的进一步理解，本发明创造的示意性实施例及其说明用于解释本发明创造，并不构成对本发明创造的不当限定。在附图中：

图1为本发明创造的结构示意图；

图2为图1的仰视图；

图3为图1的俯视图。

附图标记说明：

1-磨片本体；2-过孔；3-安装孔；4-打磨颗粒；5-加强筋；6-弧形连接筋；7-加强金属圈。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明创造中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本发明创造的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明创造的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明创造的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明创造中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明创造。

一种新型晶片磨片，如图1至3所示，包括磨片本体1，在磨片本体上设有数个过孔2，在磨片本体中心处设有安装孔3；所述磨片本体下侧表面沿等角螺线方向布置有若干打磨颗粒4，且在磨片本体异于设有打磨颗粒一侧设有加强结构；所述加强结构包括呈十字型布置的四道加强筋5，在每两加强筋间设有弧形连接筋6。

需要指出的是，采用等角螺线方式布置的打磨颗粒更符合打磨时的磨片运动特点，磨片转动方向需与螺旋旋向一致，这样可以对晶片打磨片形成更好的打磨效果，由于各打磨颗粒间留有间隙，同时，沿打磨颗粒布置的螺旋线内侧形成了等同于磨屑通道的间隙，均易于磨屑排出。另外，这些间隙更有利于气流通过，散热性更佳。

在一个可选的实施例中，上述过孔沿磨片本体中心均布设置，这些过孔可以作为散热孔，也可以作为加注冷却水或研磨液的过液孔，在实际使用时，预留的过孔能够发挥特定的功能。

上述安装孔处设有加强金属圈7，保证安装孔处结构强度，装卡及使用过程中不易破裂。

在一个可选的实施例中，每一加强筋的横截面积均沿磨片本体中心向外侧逐渐减小，通常，各所述弧形连接筋构成圆环形结构，与各加强筋构成了对称式结构，同时，弧形连接筋与加强筋连接处采用圆角平滑过渡，结构强度更高，稳定更好。

通常，上述打磨颗粒与磨片本体一体成型，稳定性高，不易脱落，在另外一个可选的实施例中，打磨颗粒也可以是压嵌在磨片本体上。

在一个可选的实施例中，上述加强结构胶粘在磨片本体上。也可以是采用连接件连接，辅助利用胶粘固定。

采用连接件时，一般可以是采用螺钉穿过加强筋，旋拧在磨片本体上，由于是工作面一侧是通过打磨颗粒作业，因此，螺钉即使穿过磨片本体也不影响正常使用，只要螺钉低于打磨颗粒表面即可。实际上，为了保证更长的使用寿命，应考虑到打磨颗粒在有一定的磨损情况下，仍能正常使用磨片，因此，螺钉表面与打磨颗粒表面间距大于3mm以上为宜。

需要说明的是，本领域技术人员也可以根据实际情况，采用常规技术手段将加强结构与磨片本体固定，只要能够实现固定作用即可。比如，采用磨片本体上开设卡槽，通过加强结构上的卡爪与卡槽卡接固定住。

上述打磨颗粒呈圆饼形，其边缘处圆滑过渡，结构牢固可靠。通常，上述打磨颗粒高度为5-8mm，使用寿命长，并且，打磨颗粒表面与磨片本体下表面有一定的距离，为其它结构布置奠定了基础。

本发明创造提供的磨片结构设计合理，由于打磨颗粒间存在间隙，且与磨片本体间留有一定的距离，磨片打磨作业时，热量更易散发，同时，通过加强结构的优化设计，提高了磨片的刚度，即使磨片本体较薄，也不容易变形，稳定性好。

以上所述仅为本发明创造的较佳实施例而已，并不用以限制本发明创造，凡在本发明创造的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明创造的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种新型晶片磨片，其特征在于：包括磨片本体，在磨片本体上设有数个过孔，在磨片本体中心处设有安装孔；所述磨片本体下侧表面沿等角螺线方向布置有若干打磨颗粒，且在磨片本体异于设有打磨颗粒一侧设有加强结构；所述加强结构包括呈十字型布置的四道加强筋，在每两加强筋间设有弧形连接筋。

2.根据权利要求1所述的一种新型晶片磨片，其特征在于：所述过孔沿磨片本体中心均布设置。

3.根据权利要求1所述的一种新型晶片磨片，其特征在于：所述安装孔处设有加强金属圈。

4.根据权利要求1所述的一种新型晶片磨片，其特征在于：各所述弧形连接筋构成圆环形结构。

5.根据权利要求1所述的一种新型晶片磨片，其特征在于：所述打磨颗粒与磨片本体一体成型。

6.根据权利要求1所述的一种新型晶片磨片，其特征在于：所述加强结构粘结在磨片本体上。

7.根据权利要求1所述的一种新型晶片磨片，其特征在于：所述打磨颗粒高度为5-8mm。

8.根据权利要求1至7任一项所述的一种新型晶片磨片，其特征在于：所述打磨颗粒呈圆饼形，其边缘处圆滑过渡。

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