CN211159172U - 一种光刻胶生产用废气尾气排放装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及光刻胶生产技术领域，且公开了一种光刻胶生产用废气尾气排放装置，包括废气处理罐，所述废气处理罐的右侧穿插设置有废气收集管道，所述废气收集管道的内部设置有抽风机，所述废气收集管道的右侧固定连接有网格栅，所述抽风机的输出端连通有导风管。该光刻胶生产用废气尾气排放装置，通过设置废气收集管道，可将废气收集管道通入光刻胶生产的排气口处，可通过启动抽风机将废气尾气收集到废气处理罐内，经活性炭吸附层以及酸性中和层对尾气废气进行过滤，活性炭吸附层将有毒气体中的有害物质进行吸附处理，酸性中和层将碱性气体进行中和处理，使得废气处理罐排出无毒无害的气体，提高光刻胶生产的安全性。

Description

一种光刻胶生产用废气尾气排放装置

技术领域

本实用新型涉及光刻胶生产技术领域，具体为一种光刻胶生产用废气尾气排放装置。

背景技术

光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域。1954年由明斯克等人首先研究成功的聚乙烯醇肉桂酸脂就是用于印刷工业的，以后才用于电子工业。

光刻胶的技术复杂，品种较多，大部分的光刻胶由感光树脂，增感剂和溶剂主要的成分组成；光刻胶的危害主要是溶剂，负胶的溶剂是二甲苯毒性较大，还会伴随碱性溶液，因此在光刻胶的生产过程中，会排放一些有毒性气体以及难溶于水的颗粒杂质，如果不对其废气进行处理，则会对环境以及人身健康造成危害。

实用新型内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种光刻胶生产用废气尾气排放装置，具备对光刻胶生产中产生的尾气废气中的有毒性气体进行过滤吸附，便于清除废气处理罐内吸附的颗粒杂质，提高光刻胶生产的安全性等优点，解决了光刻胶的危害主要是溶剂，负胶的溶剂是二甲苯毒性较大，还会伴随碱性溶液，因此在光刻胶的生产过程中，会排放一些有毒性气体以及难溶于水的颗粒杂质，如果不对其废气进行处理，则会对环境以及人身健康造成危害的问题。

（二）技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光刻胶生产用废气尾气排放装置，包括废气处理罐，所述废气处理罐的右侧穿插设置有废气收集管道，所述废气收集管道的内部设置有抽风机，所述废气收集管道的右侧固定连接有网格栅，所述抽风机的输出端连通有导风管，所述废气处理罐的内部右侧固定连接有L形支架，所述L形支架的上表面固定连接有放置板，所述放置板的上表面固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有转轴，所述转轴的外表面固定连接有两个相互对称的延长杆，两个所述延长杆相背的一端均固定连接有清洁板，所述废气处理罐的内部固定连接有酸性中和层，所述废气处理罐的内部固定连接有活性炭吸附层，所述废气处理罐的下表面铰接有开合门，所述废气处理罐的下表面固定连接有安装座，所述安装座的内部穿插设置有活动杆，所述活动杆的左端固定连接有T形支撑块，所述T形支撑块的上表面与所述开合门的下表面相搭接，所述活动杆的外表面套设有弹簧，所述活动杆的右端固定连接有推拉块。

优选的，所述弹簧的一端与所述活动杆的外表面固定连接，所述弹簧的另一端与所述安装座的左侧固定连接。

优选的，两个所述清洁板相背的一侧均固定连接有清洁刷，且所述清洁刷与所述废气处理罐的内壁相搭接。

优选的，所述驱动电机的外表面设置有防尘罩。

优选的，所述抽风机通过两个连接板固定在所述废气收集管道的内部。

优选的，所述导风管的左端延伸至所述废气处理罐的内部。

（三）有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种光刻胶生产用废气尾气排放装置，具备以下有益效果：

（1）该光刻胶生产用废气尾气排放装置，通过设置废气收集管道，可将废气收集管道通入光刻胶生产的排气口处，可通过启动抽风机将废气尾气收集到废气处理罐内，经活性炭吸附层以及酸性中和层对尾气废气进行过滤，活性炭吸附层将有毒气体中的有害物质进行吸附处理，酸性中和层将碱性气体进行中和处理，使得废气处理罐排出无毒无害的气体，提高光刻胶生产的安全性。

（2）该光刻胶生产用废气尾气排放装置，通过设置驱动电机，经抽风机将废气尾气收集到废气处理罐内，气体中含有的颗粒杂质可能会粘附在废气处理罐的内壁，久而久之累计过多时，可启动驱动电机带动转轴转动，进而通过延长杆带动清洁板转动，通过清洁刷对废气处理罐内壁进行清洁，最后可拉动推拉块通过活动杆带动T形支撑块远离开合门，此时开合门张开排出清洁掉的颗粒杂质，清理完成后，关上开合门，在弹簧的弹力作用松开推拉块，T形支撑块向右移动挡住开合门，使其关上，使用方便，且便于清除废气处理罐内吸附的颗粒杂质。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的图1中A的结构放大图；

图3为本实用新型的转轴侧视结构示意图。

图中：1废气处理罐、2废气收集管道、3抽风机、4网格栅、5导风管、6L形支架、7放置板、8驱动电机、9转轴、10延长杆、11清洁板、12酸性中和层、13活性炭吸附层、14开合门、15安装座、16活动杆、17T形支撑块、18弹簧、19推拉块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，一种光刻胶生产用废气尾气排放装置，包括废气处理罐1，废气处理罐1的右侧穿插设置有废气收集管道2，废气收集管道2的内部设置有抽风机3，废气收集管道2的右侧固定连接有网格栅4，抽风机3的输出端连通有导风管5，废气处理罐1的内部右侧固定连接有L形支架6，L形支架6的上表面固定连接有放置板7，放置板7的上表面固定连接有驱动电机8，驱动电机8的输出端固定连接有转轴9，转轴9的外表面固定连接有两个相互对称的延长杆10，两个延长杆10相背的一端均固定连接有清洁板11，废气处理罐1的内部固定连接有酸性中和层12，废气处理罐1的内部固定连接有活性炭吸附层13，废气处理罐1的下表面铰接有开合门14，废气处理罐1的下表面固定连接有安装座15，安装座15的内部穿插设置有活动杆16，活动杆16的左端固定连接有T形支撑块17，T形支撑块17的上表面与开合门14的下表面相搭接，活动杆16的外表面套设有弹簧18，活动杆16的右端固定连接有推拉块19。

优选的，弹簧18的一端与活动杆16的外表面固定连接，弹簧18的另一端与安装座15的左侧固定连接，弹簧18随着活动杆16的移动发生形变进而产生弹力。

优选的，两个清洁板11相背的一侧均固定连接有清洁刷，且清洁刷与废气处理罐1的内壁相搭接。

优选的，驱动电机8的外表面设置有防尘罩。

优选的，抽风机3通过两个连接板固定在废气收集管道2的内部。

优选的，导风管5的左端延伸至废气处理罐1的内部。

综上所述，该光刻胶生产用废气尾气排放装置，通过设置废气收集管道2，可将废气收集管道2通入光刻胶生产的排气口处，可通过启动抽风机3将废气尾气收集到废气处理罐1内，经活性炭吸附层13以及酸性中和层12对尾气废气进行过滤，活性炭吸附层13将有毒气体中的有害物质进行吸附处理，酸性中和层12将碱性气体进行中和处理，使得废气处理罐1排出无毒无害的气体，提高光刻胶生产的安全性。

该光刻胶生产用废气尾气排放装置，通过设置驱动电机8，经抽风机3将废气尾气收集到废气处理罐1内，气体中含有的颗粒杂质可能会粘附在废气处理罐1的内壁，久而久之累计过多时，可启动驱动电机8带动转轴9转动，进而通过延长杆10带动清洁板11转动，通过清洁刷对废气处理罐1内壁进行清洁，最后可拉动推拉块19通过活动杆16带动T形支撑块17远离开合门14，此时开合门14张开排出清洁掉的颗粒杂质，清理完成后，关上开合门14，在弹簧18的弹力作用松开推拉块19，T形支撑块17向右移动挡住开合门14，使其关上，使用方便，且便于清除废气处理罐内吸附的颗粒杂质。

需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种光刻胶生产用废气尾气排放装置，包括废气处理罐（1），其特征在于：所述废气处理罐（1）的右侧穿插设置有废气收集管道（2），所述废气收集管道（2）的内部设置有抽风机（3），所述废气收集管道（2）的右侧固定连接有网格栅（4），所述抽风机（3）的输出端连通有导风管（5），所述废气处理罐（1）的内部右侧固定连接有L形支架（6），所述L形支架（6）的上表面固定连接有放置板（7），所述放置板（7）的上表面固定连接有驱动电机（8），所述驱动电机（8）的输出端固定连接有转轴（9），所述转轴（9）的外表面固定连接有两个相互对称的延长杆（10），两个所述延长杆（10）相背的一端均固定连接有清洁板（11），所述废气处理罐（1）的内部固定连接有酸性中和层（12），所述废气处理罐（1）的内部固定连接有活性炭吸附层（13），所述废气处理罐（1）的下表面铰接有开合门（14），所述废气处理罐（1）的下表面固定连接有安装座（15），所述安装座（15）的内部穿插设置有活动杆（16），所述活动杆（16）的左端固定连接有T形支撑块（17），所述T形支撑块（17）的上表面与所述开合门（14）的下表面相搭接，所述活动杆（16）的外表面套设有弹簧（18），所述活动杆（16）的右端固定连接有推拉块（19）。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶生产用废气尾气排放装置，其特征在于：所述弹簧（18）的一端与所述活动杆（16）的外表面固定连接，所述弹簧（18）的另一端与所述安装座（15）的左侧固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种光刻胶生产用废气尾气排放装置，其特征在于：两个所述清洁板（11）相背的一侧均固定连接有清洁刷，且所述清洁刷与所述废气处理罐（1）的内壁相搭接。

4.根据权利要求1所述的一种光刻胶生产用废气尾气排放装置，其特征在于：所述驱动电机（8）的外表面设置有防尘罩。

5.根据权利要求1所述的一种光刻胶生产用废气尾气排放装置，其特征在于：所述抽风机（3）通过两个连接板固定在所述废气收集管道（2）的内部。

6.根据权利要求1所述的一种光刻胶生产用废气尾气排放装置，其特征在于：所述导风管（5）的左端延伸至所述废气处理罐（1）的内部。

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