CN211142201U - 可调节屏蔽装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种可调节屏蔽装置，所述可调节屏蔽装置包括：一屏蔽板，所述屏蔽板具有一镂空的圆心部以及若干镂空的圆弧部，所述圆弧部设置在所述圆心部的外围；若干遮挡板，所述遮挡板分别与各所述圆弧部对应，且所述遮挡板相对于所述圆弧部移动从而调节对圆弧部的遮盖面积。通过本实用新型的圆弧部的设置可以保证晶圆镀层厚度的均匀性。并且通过遮挡板可以调节屏蔽板上镂空部位相对于整个阴极工件的位置，从而具有广泛的通用性。

Description

可调节屏蔽装置

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆电镀，尤其是一种用于晶圆电镀的可调节屏蔽装置。

背景技术

晶圆电镀是芯片制造湿制程的一个重要工艺步骤。晶圆电镀有水平电镀和垂直电镀。在晶圆电镀工艺中，镀层厚度均匀性是电镀效果的重要方面，各电镀设备制造商都在不断改良其设备，旨在改善其镀层厚度均匀性。

目前，芯片制造的晶圆有8英寸(200mm直径)和12英寸(300mm直径)两种。晶圆越大，其电镀时的整片厚度均匀性难度越大。

影响晶圆的镀层厚度均匀性的因素很多且很复杂，其中主要是电场和流体场两方面的影响。一般来说，镀层厚度的不均匀主要是指晶圆边缘和其内部之间的厚度的差异性较大。为了减少这种差异性，一般会采取用阴极边缘实心屏蔽板的方式，屏蔽掉晶圆边缘的一部分电力线，这种方式虽然对厚度均匀性的提升有益，但整片晶圆的镀层厚度均匀性问题仍在晶圆局部存在。而业界在改善晶圆镀层局部均匀性方面，尚未有好的解决方法。尤其是垂直电镀中，由于晶圆在电镀中难以旋转，局部的镀层厚度均匀性问题尤为突出。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是为了克服现有技术中无法保证整片晶圆的镀层厚度均匀性的缺陷，提供一种可调节屏蔽装置。

本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题：

一种可调节屏蔽装置，其特点在于，所述可调节屏蔽装置包括：

一屏蔽板，所述屏蔽板具有一镂空的圆心部以及若干镂空的圆弧部，所述圆弧部设置在所述圆心部的外围；

若干遮挡板，所述遮挡板分别与各所述圆弧部对应，且所述遮挡板相对于所述圆弧部移动从而调节对圆弧部的遮盖面积。

遮挡板为任意可以遮盖圆弧部的结构，形状可以为圆弧、长条状或其他任意形状。遮挡板可以通过移动来遮盖圆弧部，其中遮挡板的移动方向可以为任意能够改变圆弧部的遮盖面积的方向。

本方案中，通过对镂空的圆弧部的设置，使得晶圆边缘的镀层厚度能够得到控制，从而保证晶圆的镀层的厚度的均匀性。此外，通过遮挡板对圆弧部的可变遮挡面积，可以适应不同情况下的遮挡，提高可调节装置的通用性。

较佳地，所述圆弧部的数量为4个，各所述圆弧部均匀分布于所述圆心部的外围。

较佳地，所述圆弧部设置于所述屏蔽板的对角45度处，所述圆弧部对应的角度为45-90度，孔宽10-20mm，所述圆弧部与所述圆心部之间的间隔为3-10mm。进一步优选地，圆弧部对应的角度为65-70度，孔宽15-16mm，圆弧部与圆心部之间的间隔为5mm。

较佳地，所述可调节屏蔽装置还包括若干调节机构，所述调节机构驱动各所述遮挡板相对于所述圆弧部移动，从而调节对圆弧部的遮盖面积。其中，调节机构可以为任意的机械机构，通过主动或者被动的方式驱动遮挡板进行移动。

较佳地，所述调节机构包括若干杠杆臂，所述杠杆臂分别与各所述遮挡板相连接，所述杠杆臂被直接或者间接推动，从而带动各所述遮挡板相对于所述圆弧部移动。

较佳地，所述杠杆臂与所述遮挡板之间为转动连接。杠杆臂与遮挡板进一步可以通过旋转销实现转动连接。杠杆臂的运动方向经过转动转换为遮挡板的移动。

较佳地，所述遮挡板被限制为沿着所述圆弧部的径向移动。由此，遮挡板沿着径向改变圆弧部的遮盖面积，遮盖时能够保证圆弧部露出部分沿着径向的厚度保持均匀。

较佳地，所述屏蔽板上设置有若干导向槽，所述导向槽位于各所述圆弧部的外围，且所述导向槽沿着所述圆弧部的径向延伸，所述遮挡板被限制于沿着所述导向槽移动。导向槽可以引导遮挡板的运动，其中，通过导向槽的延伸方向的预先设置，可以保证遮挡板沿着预定方向进行移动。

较佳地，所述调节机构还包括动力元件，所述动力元件直接或者间接连接于所述杠杆臂，并带动所述杠杆臂移动。动力元件可以提供直线运动、旋转运动等各种运动，可以为电机、气缸等常用提供动力的设备。通过动力元件直接提供动力可以避免人力调节遮挡板的移动。

较佳地，所述动力元件直接或者间接沿着圆周方向推动所述杠杆臂。圆周方向进一步为与各圆弧部同心的外圆方向，由此能够保证对各杠杆臂均匀的推动，使得遮挡板对圆弧部的遮盖面积具有均一性。

较佳地，所述动力元件通过齿轮组推动所述杠杆臂移动。齿轮组的传动比固定，通过对动力元件的输出的控制，可以精确地得到遮挡板的移动距离，从而保证遮挡板对圆弧部的遮盖面积的精确控制。

较佳地，所述齿轮组包括：

一大齿轮，所述大齿轮环绕于各所述遮挡板的外围，且所述大齿轮与各所述杠杆臂的一端连接；

至少一传动齿轮，所述传动齿轮与所述动力元件连接，并同所述大齿轮啮合传动。

大齿轮能够同时对各杠杆臂产生推动作用，实现遮挡板同时的移动和一致的遮盖面积。同时传动齿轮向大齿轮进行传动时，由于大齿轮所具有的更大齿数，在转动时更加慢速，从而能够带动遮挡板更微小的移动。

较佳地，所述屏蔽板上连接有若干限位齿轮，所述限位齿轮分布在所述大齿轮的周围，并与所述大齿轮啮合。限位齿轮限制住了大齿轮的位置，同时通过啮合增加大齿轮转动的平稳性。

较佳地，所述屏蔽板、所述遮挡板以及所述杠杆臂的材料为聚四氟乙烯、PVC或PEEK。屏蔽板、遮挡板以及杠杆臂也可以采用其他绝缘防腐材料。

较佳地，所述圆弧部的外侧边缘上设置有若干齿状部，所述齿状部呈圆弧状间隔排列。

较佳地，所述遮挡板上连接有若干齿状遮挡部，所述齿状遮挡部呈圆弧状间隔排列。

较佳地，所述遮挡板与所述圆弧部沿着同一圆周上布置，所述遮挡板被限制为沿着圆周旋转并遮盖所述圆弧部。

一种电镀屏蔽方法，其特点在于，在电镀过程中，利用所述可调节屏蔽装置进行屏蔽。

较佳地，在晶圆电镀过程中，利用所述可调节屏蔽装置进行屏蔽。

在符合本领域常识的基础上，上述各优选条件，可任意组合，即得本实用新型各较佳实例。

本实用新型的积极进步效果在于：通过本实用新型的圆弧部的设置可以保证晶圆镀层厚度的均匀性。并且通过遮挡板可以调节屏蔽板上镂空部位相对于整个阴极工件的位置，从而具有广泛的通用性。

附图说明

图1为本实用新型实施例1的可调节屏蔽装置的正面结构示意图。

图2为本实用新型实施例1的可调节屏蔽装置的尺寸参数示意图。

图3为本实用新型实施例1的可调节屏蔽装置的电镀效果对比图。

图4为本实用新型实施例2的可调节屏蔽装置的正面结构示意图。

图5为本实用新型实施例3的可调节屏蔽装置的正面结构示意图。

图6为本实用新型实施例3的可调节屏蔽装置的立体结构示意图。

图7为本实用新型实施例4的可调节屏蔽装置的立体结构示意图。

图8为本实用新型实施例4的可调节屏蔽装置的未遮挡时的结构示意图。

图9为本实用新型实施例4的可调节屏蔽装置的遮挡时的结构示意图。

图10为本实用新型实施例5的可调节屏蔽装置的正面结构示意图。

图11为本实用新型实施例5的可调节屏蔽装置的局部结构示意图。

图12为本实用新型实施例6的可调节屏蔽装置的局部结构示意图。

图13为本实用新型实施例7的可调节屏蔽装置的正面结构示意图。

具体实施方式

下面通过实施例的方式进一步说明本实用新型，但并不因此将本实用新型限制在所述的实施例范围之中。下列实施例中未注明具体条件的实验方法，按照常规方法和条件，或按照商品说明书选择。

实施例1

如图1所示，本实施例公开了一种可调节屏蔽装置，可调节屏蔽装置包括一屏蔽板1以及四个遮挡板2。

屏蔽板1为具有中间镂空的结构。其中，屏蔽板1具有一镂空的圆心部11以及若干镂空的圆弧部12，圆弧部12设置在圆心部11的外围。

遮挡板2分别与各圆弧部12对应，且遮挡板2相对于圆弧部12移动从而调节对圆弧部12的遮盖面积。

如图2所示，本实施例中的圆弧部12设置于屏蔽板1的对角45度处。圆弧部12对应的角度θ为45-90度，孔宽a为10-20mm，圆弧部12与圆心部11之间的间隔b为3-10mm。进一步优选地，圆弧部对应的角度θ为65-70度，孔宽a为15-16mm，圆弧部12与圆心部11之间的间隔b为5mm。其中，举例来说，圆弧部12对应的角度θ可以设置为65度，孔宽a设置为15mm。

屏蔽板内径(圆心部11的直径c)一般为外径(圆弧部12的外经d)小1/10左右。例如当为12寸晶圆电镀时，屏蔽板外径约300mm，内径270mm。

如图1所示，本实施例的遮挡板2为扇形的形状，在其他实施方式中，遮挡板2可以为任意可以遮盖圆弧部12的结构，形状可以为圆弧、长条状或其他任意形状。遮挡板2可以通过移动来遮盖圆弧部12，其中，本实施例的遮挡板2的移动方向可以为任意能够改变圆弧部12的遮盖面积的方向。

本实施例中，通过对镂空的圆弧部12的设置，使得晶圆边缘的镀层厚度能够得到控制，从而保证晶圆的镀层的厚度的均匀性。此外，通过遮挡板2对圆弧部12的可变遮挡面积，可以适应不同情况下的遮挡，提高可调节装置的通用性。

本实施例还公开一种电镀屏蔽方法，在电镀过程中，例如晶圆电镀过程中，利用所述可调节屏蔽装置进行屏蔽。其中，利用可调节屏蔽装置的屏蔽板屏蔽掉晶圆边缘的一部分电力线，镂空的圆弧部12和圆心部11露出晶圆。由此实现电镀并能够保证晶圆的镀层的厚度均匀。

本实施例的可调节屏蔽装置以及电镀屏蔽方法可应用于阴极屏蔽和/或阳极屏蔽。

其中，当可调节屏蔽装置距离阳极之间距离为7mm；a＝10mm(遮挡后)；b＝5mm；c＝220mm；d＝250mm；θ＝70°时，可实现如图3中半径0～120mm范围内镀层厚度均匀性的优化。

图3中，上方的曲线为优化前，下方的曲线为优化后。横轴表示距离中心的距离，竖轴表示厚度的不均匀程度。可以明显看到，采用可调节屏蔽装置后，在不同的中心距离中均能够得到更好的均匀性。

实施例2

如图4所示，本实施例公开了一种可调节屏蔽装置，可调节屏蔽装置包括一屏蔽板1以及四个遮挡板2。

屏蔽板1为具有中间镂空的结构。其中，屏蔽板1具有一镂空的圆心部11以及若干镂空的圆弧部12，圆弧部12设置在圆心部11的外围。

遮挡板2分别与各圆弧部12对应，且遮挡板2相对于圆弧部12移动从而调节对圆弧部12的遮盖面积。

本实施例中，可调节屏蔽装置还包括若干杠杆臂3，杠杆臂3作为调节机构驱动各遮挡板2相对于圆弧部12移动，从而调节对圆弧部12的遮盖面积。其中，除了本实施例的杠杆臂3之外，调节机构可以为任意的机械机构，通过主动或者被动的方式驱动遮挡板2进行移动。

如图4所示，杠杆臂3分别与各遮挡板2相连接，杠杆臂3被直接或者间接推动，从而带动各遮挡板2相对于圆弧部12移动。其中，杠杆臂3与遮挡板2之间为转动连接。杠杆臂3与遮挡板2进一步可以通过旋转销实现转动连接。

本实施例中，遮挡板2被限制为沿着圆弧部12的径向移动。由此，遮挡板2沿着径向改变圆弧部12的遮盖面积，遮盖时能够保证圆弧部12露出部分沿着径向的厚度保持均匀。

具体来说，本实施例的屏蔽板1上设置有若干导向槽4，导向槽4位于各圆弧部12的外围，且导向槽4沿着圆弧部12的径向延伸，遮挡板2被限制于沿着导向槽4移动。导向槽4可以引导遮挡板2的运动，其中，通过导向槽4的延伸方向的预先设置，可以保证遮挡板2沿着预定方向进行移动。

本实施例在进行操作时，通过任意方向通过手动或者其他方式拨动杠杆臂3，由于遮挡板2被限制在导向槽4的方向移动，因此，杠杆臂3的运动方向经过转动转换为遮挡板2的沿导向槽4的移动。

实施例3

如图5和图6所示，本实施例公开了一种可调节屏蔽装置，可调节屏蔽装置包括一屏蔽板1以及四个遮挡板2。

屏蔽板1为具有中间镂空的结构。其中，屏蔽板1具有一镂空的圆心部11以及若干镂空的圆弧部12，圆弧部12设置在圆心部11的外围。

遮挡板2分别与各圆弧部12对应，且遮挡板2相对于圆弧部12移动从而调节对圆弧部12的遮盖面积。

如图5和图6所示，可调节屏蔽装置还包括若干杠杆臂3，杠杆臂3作为调节机构驱动各遮挡板2相对于圆弧部12移动，从而调节对圆弧部12的遮盖面积。其中，除了本实施例的杠杆臂3之外，调节机构可以为任意的机械机构，通过主动或者被动的方式驱动遮挡板2进行移动。

如图5和图6所示所示，杠杆臂3分别与各遮挡板2相连接，杠杆臂3被直接或者间接推动，从而带动各遮挡板2相对于圆弧部12移动。其中，杠杆臂3与遮挡板2之间为转动连接。杠杆臂3与遮挡板2进一步可以通过旋转销实现转动连接。

本实施例中，遮挡板2被限制为沿着圆弧部12的径向移动。由此，遮挡板2沿着径向改变圆弧部12的遮盖面积，遮盖时能够保证圆弧部12露出部分沿着径向的厚度保持均匀。

具体来说，本实施例的屏蔽板1上设置有若干导向槽4，导向槽4位于各圆弧部12的外围，且导向槽4沿着圆弧部12的径向延伸，遮挡板2被限制于沿着导向槽4移动。导向槽4可以引导遮挡板2的运动，其中，通过导向槽4的延伸方向的预先设置，可以保证遮挡板2沿着预定方向进行移动。

如图5和图6所示，本实施例还包括动力元件8，动力元件8直接连接于杠杆臂3，并带动杠杆臂3移动。本实施例的动力元件采用电机，在其他实施方式中，动力元件8可以提供直线运动、旋转运动等各种运动，可以为电机、气缸等常用提供动力的设备。通过动力元件8直接提供动力可以避免人力调节遮挡板2的移动。

如图5和图6所示，本实施例的动力元件8通过传动齿轮6以及大齿轮5间接沿着圆周方向推动杠杆臂3。圆周方向具体为与各圆弧部12同心的外圆方向，由此能够保证对各杠杆臂3均匀的推动，使得遮挡板2对圆弧部12的遮盖面积具有均一性。

本实施例中，动力元件8通过传动齿轮6以及大齿轮5推动杠杆臂3移动。齿轮组的传动比固定，通过对动力元件8的输出的控制，可以精确地得到遮挡板2的移动距离，从而保证遮挡板2对圆弧部12的遮盖面积的精确控制。

如图5和图6所示，本实施例的大齿轮5环绕于各遮挡板2的外围，且大齿轮5与各杠杆臂3的一端连接。本实施例还包括3个互相啮合的传动齿轮6。如图6所示，最上方的传动齿轮6与设置于屏蔽板后方的动力元件8的转轴连接，最下方的传动齿轮6同大齿轮5啮合传动。

大齿轮5能够同时对各杠杆臂3产生推动作用，实现遮挡板2同时的移动和一致的遮盖面积。同时传动齿轮6向大齿轮5进行传动时，由于大齿轮5所具有的更大齿数，在转动时更加慢速，从而能够带动遮挡板2更微小的移动。

如图5和图6所示，本实施例的屏蔽板1上连接有若干限位齿轮7，限位齿轮7分布在大齿轮5的周围，并与大齿轮5啮合。限位齿轮7限制住了大齿轮5的位置，同时通过啮合增加大齿轮5转动的平稳性。

本实施例中，屏蔽板1、遮挡板2以及杠杆臂3的材料为聚四氟乙烯、PVC或PEEK。屏蔽板1、遮挡板2以及杠杆臂3也可以采用其他绝缘防腐材料。

实施例4

如图7、图8和图9所示，本实施例公开了一种可调节屏蔽装置，与实施例3相同，本实施例的可调节屏蔽装置也包括一屏蔽板1以及四个遮挡板2。

本实施例的屏蔽板1为具有中间镂空的结构。其中，与实施例3相同，本实施例的屏蔽板1也具有一镂空的圆心部11以及若干镂空的圆弧部12，圆弧部12设置在圆心部11的外围。遮挡板2分别与各圆弧部12对应。如图7和图8所示，遮挡板2可以相对于圆弧部12移动从而调节对圆弧部12的遮盖面积。

如图7所示，本实施例和实施例3一样，也包括若干杠杆臂3，导向槽4、大齿轮5以及传动齿轮6。这些结构在实施例3中以及详细描述，故再次不一一赘述。

如图7、图8和图9所示，本实施例与实施例3的不同之处在于，本实施例的圆弧部12的表面上形成有若干齿状部121，这些齿状部朝着圆弧部12延伸，从而使得圆弧部12的外侧边缘上具有向内凹陷的形状。

实施例5

如图10和图11所示，本实施例公开了一种可调节屏蔽装置，与实施例3和实施例4相同，本实施例的可调节屏蔽装置也包括一屏蔽板1以及四个遮挡板2。

如图10所示，本实施例和实施例3和实施例4一样，也包括若干杠杆臂3，导向槽4、大齿轮5以及传动齿轮6。这些结构在实施例3中以及详细描述，故再次不一一赘述。

本实施例的屏蔽板1为具有中间镂空的结构。其中，与实施例4相同，本实施例的屏蔽板1也具有一镂空的圆心部11以及若干镂空的圆弧部12，圆弧部12设置在圆心部11的外围。遮挡板2分别与各圆弧部12对应。如图7和图8所示，遮挡板2可以相对于圆弧部12移动从而调节对圆弧部12的遮盖面积。

如图10所示，本实施例与实施例4一样，圆弧部12的表面上形成有若干齿状部121，这些齿状部121圆弧形排列，并朝着圆弧部12延伸，从而使得圆弧部12的外侧边缘上具有向内凹陷的形状。

如图10和图11所示，本实施例与实施例4的不同之处在于，本实施例的遮挡板2上连接有若干齿状遮挡部21。在本实施例中，齿状遮挡部21设置于屏蔽板1的另一侧，与遮挡板2通过连接件连接。屏蔽板1上设置有滑槽13以使得连接件能够在其中滑动。

如图11所示，本实施例中的齿状遮挡部21与齿状部121位置一一对应设置，且齿状遮挡部21与齿状部121均是圆弧形排列。

实施例6

如图12所示，本实施例公开了一种可调节屏蔽装置，本实施例与实施例6基本相同，不同之处在于，本实施例的圆弧部12具有平滑的圆弧表面，不具有突出的齿状部。

实施例7

如图13所示，本实施例公开了一种可调节屏蔽装置，可调节屏蔽装置包括一屏蔽板1以及四个遮挡板2。

屏蔽板1为具有中间镂空的结构。其中，屏蔽板1具有一镂空的圆心部11以及若干镂空的圆弧部12，圆弧部12设置在圆心部11的外围。

遮挡板2与圆弧部12沿着同一圆周上布置，遮挡板2被限制为沿着圆周旋转并遮盖对应的圆弧部2。

综上所述，通过本实用新型的圆弧部的设置可以保证晶圆镀层厚度的均匀性。并且通过遮挡板可以调节屏蔽板上镂空部位相对于整个阴极工件的位置，从而具有广泛的通用性。

虽然以上描述了本实用新型的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这仅是举例说明，本实用新型的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本实用新型的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本实用新型的保护范围。

Claims (17)

1.一种可调节屏蔽装置，其特征在于，所述可调节屏蔽装置包括：

一屏蔽板，所述屏蔽板具有一镂空的圆心部以及若干镂空的圆弧部，所述圆弧部设置在所述圆心部的外围；

若干遮挡板，所述遮挡板分别与各所述圆弧部对应，且所述遮挡板相对于所述圆弧部移动从而调节对圆弧部的遮盖面积。

2.如权利要求1所述的可调节屏蔽装置，其特征在于，所述圆弧部的数量为4个，各所述圆弧部均匀分布于所述圆心部的外围。

3.如权利要求2所述的可调节屏蔽装置，其特征在于，所述圆弧部设置于所述屏蔽板的对角45度处，所述圆弧部对应的角度为45-90度，孔宽10-20mm，所述圆弧部与所述圆心部之间的间隔为3-10mm。

4.如权利要求1所述的可调节屏蔽装置，其特征在于，所述可调节屏蔽装置还包括若干调节机构，所述调节机构驱动各所述遮挡板相对于所述圆弧部移动，从而调节对圆弧部的遮盖面积。

5.如权利要求4所述的可调节屏蔽装置，其特征在于，所述调节机构包括若干杠杆臂，所述杠杆臂分别与各所述遮挡板相连接，所述杠杆臂被直接或者间接推动，从而带动各所述遮挡板相对于所述圆弧部移动。

6.如权利要求5所述的可调节屏蔽装置，其特征在于，所述杠杆臂与所述遮挡板之间为转动连接。

7.如权利要求1所述的可调节屏蔽装置，其特征在于，所述遮挡板被限制为沿着所述圆弧部的径向移动。

8.如权利要求7所述的可调节屏蔽装置，其特征在于，所述屏蔽板上设置有若干导向槽，所述导向槽位于各所述圆弧部的外围，且所述导向槽沿着所述圆弧部的径向延伸，所述遮挡板被限制于沿着所述导向槽移动。

9.如权利要求5所述的可调节屏蔽装置，其特征在于，所述调节机构还包括动力元件，所述动力元件直接或者间接连接于所述杠杆臂，并带动所述杠杆臂移动。

10.如权利要求9所述的可调节屏蔽装置，其特征在于，所述动力元件直接或者间接沿着圆周方向推动所述杠杆臂。

11.如权利要求10所述的可调节屏蔽装置，其特征在于，所述动力元件通过齿轮组推动所述杠杆臂移动。

12.如权利要求11所述的可调节屏蔽装置，其特征在于，所述齿轮组包括：

一大齿轮，所述大齿轮环绕于各所述遮挡板的外围，且所述大齿轮与各所述杠杆臂的一端连接；

至少一传动齿轮，所述传动齿轮与所述动力元件连接，并同所述大齿轮啮合传动。

13.如权利要求12所述的可调节屏蔽装置，其特征在于，所述屏蔽板上连接有若干限位齿轮，所述限位齿轮分布在所述大齿轮的周围，并与所述大齿轮啮合。

14.如权利要求5所述的可调节屏蔽装置，其特征在于，所述屏蔽板、所述遮挡板以及所述杠杆臂的材料为聚四氟乙烯、PVC或PEEK。

15.如权利要求1-14任意一项所述的可调节屏蔽装置，其特征在于，所述圆弧部的外侧边缘上设置有若干齿状部，所述齿状部呈圆弧状间隔排列。

16.如权利要求1-14任意一项所述的可调节屏蔽装置，其特征在于，所述遮挡板上连接有若干齿状遮挡部，所述齿状遮挡部呈圆弧状间隔排列。

17.如权利要求1所述的可调节屏蔽装置，其特征在于，所述遮挡板与所述圆弧部沿着同一圆周上布置，所述遮挡板被限制为沿着圆周旋转并遮盖所述圆弧部。

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