CN208803136U - 一种四工位靶装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种四工位靶装置，包括底板、水冷靶座和驱动水冷靶座转动的驱动电机，所述底板上设置有X向移动组件，所述X向移动组件的上方设有Y向移动组件，所述X向移动组件能带动Y向移动组件沿X方向移动，所述Y向移动组件的上方设有Z向移动组件，所述驱动电机和水冷靶座装设于Z向移动组件上，所述Y向移动组件能带动Z向移动组件、驱动电机和水冷靶座沿Y方向移动，所述Z向移动组件能带动驱动电机和水冷靶座沿Z方向移动，所述水冷靶座上装设有四种不同种类的靶材。本实用新型能调整靶材与样品台在X向、Y向和Z向之间的距离和角度以及在不停机的条件下直接选择不同的靶材进行镀膜，提高生产效率，尤其适合多层薄膜的镀制。
Description
技术领域
本实用新型涉及溅射靶设备技术领域，特别涉及一种四工位靶装置。
背景技术
溅射工艺为半导体工艺中常用的薄膜制备方法，而溅射靶材为溅射工艺的关键结构之一，现有的靶装置通常是固定不动的，且通常该靶装置只装设有一种靶材，如此在镀制过程中，靶材离样品台的距离是固定的，且靶材与样品台的角度也是固定的，镀膜的沉积效率较低，导致镀膜生产效率低；另外，由于该靶装置只装设一种靶材，而在镀制不同的膜是需要不同的靶材，如此在镀制之前得要停机更换靶材，导致操作人员的工作量加大，且生产效率低。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是，针对上述现有技术中的不足，提供一种四工位靶装置，其能实现在镀制过程中能能调整靶材与样品台在X向、Y向和Z向之间的距离和角度，以此来使镀膜的沉积效率提高，从而提高生产效率，还能实现在不停机的条件下直接选择不同的靶材进行镀膜，降低操作人员工作量，提高生产效率，该装置适合多层薄膜的镀制。
为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：
一种四工位靶装置，包括底板、水冷靶座和驱动水冷靶座转动的驱动电机，所述底板上设置有X向移动组件，所述X向移动组件的上方设有Y向移动组件，所述X向移动组件能带动Y向移动组件沿X方向移动，所述Y向移动组件的上方设有Z向移动组件，所述驱动电机和水冷靶座装设于Z向移动组件上，所述Y向移动组件能带动Z向移动组件、驱动电机和水冷靶座沿Y方向移动，所述Z向移动组件能带动驱动电机和水冷靶座沿Z方向移动，所述水冷靶座上装设有四种不同种类的靶材。
作为一种优选方案，所述X向移动组件包括固定块和移动块，所述固定块固定安装于底板上，所述固定块的上端设有第一滑槽，所述移动块的下端设有与第一滑槽适配的第一滑块，所述移动块通过第一滑块与第一滑槽配合滑动安装于固定块上，并能相对固定块沿X方向移动。
作为一种优选方案，所述Y向移动组件包括调节丝杆和调节丝杆座，所述移动块的上端沿Y方向开设有第二滑槽，所述调节丝杆座的下端设有与第二滑槽适配的第二滑块，所述调节丝杆座沿Y轴方向开设有与调节丝杆适配的螺孔。
作为一种优选方案，所述Y向移动组件还包括两固定板，所述固定板固定安装于底板的两侧，所述固定板设有与调节丝杆适配的第一通孔，所述调节丝杆的两端均穿过第一通孔伸出于固定板的外侧面。
作为一种优选方案，所述Z向移动组件包括固定座、伸缩杆和调节螺杆，所述固定座固定安装于调节丝杆座的上方，所述固定座沿Z轴方向开设有容置槽，所述伸缩杆置于容置槽中，所述固定座的侧壁开设有与调节螺杆适配的第二通孔，所述伸缩杆的侧壁开设有多个沿Z方向间距分布的卡孔。
作为一种优选方案，所述四工位靶装置还包括传动组件，所述传动组件包括安装座、主动齿轮、主动齿轮轴、传动齿轮和传动齿轮轴，所述安装座与伸缩杆的上端固定连接，所述主动齿轮、主动齿轮轴、传动齿轮和传动齿轮轴均装设于安装座内，所述主动齿轮固定套设于主动齿轮轴外，所述传动齿轮固定套设于传动齿轮轴外，所述主动齿轮与传动齿轮相互啮合，所述主动齿轮轴与驱动电机的输出轴固定连接，所述水冷靶座与传动齿轮轴固定连接。
作为一种优选方案，所述传动组件还包括第一轴承和第二轴承，所述第一轴承和第二轴承均设于安装座内，所述第一轴承固定套设于主动齿轮轴的两端，所述第二轴承固定套设于传动齿轮轴的两端。
作为一种优选方案，所述四工位靶装置还包括冷水套，所述冷水套装设于安装座上，且所述冷水套设于传动齿轮轴远离水冷靶座的一侧，所述水冷套设有用于供冷却水通过的水冷通道。
作为一种优选方案，所述水冷靶座内设有供冷却水通过的冷却管。
本实用新型的有益效果是：通过X向移动组件、Y向移动组件、Z向移动组件、驱动电机和水冷靶座的配合实现在镀制过程中能调整靶材与样品台在X向、Y向和Z向之间的距离和角度，以此来使镀膜的沉积效率提高，从而提高生产效率；由于水冷靶座内装设有四种不同的靶材，通过驱动电机可以实现无需停机更换靶材，而直接选择不同的靶材进行镀膜，降低操作人员的工作量，提高生产效率，该装置尤其适合多层薄膜的镀制。
附图说明
图1为本实用新型之实施例的组装结构图。
图中：1-底板，2-水冷靶座，21-冷却管，3-驱动电机，4-X向移动组件，41-固定块，42-移动块，5-Y向移动组件，51-调节丝杆，52-调节丝杆座，53-固定板，6-Z向移动组件，61-固定座，62-伸缩杆，63-调节螺杆，64-卡孔，7-传动组件，71-安装座，72-主动齿轮，73-主动齿轮轴，74-传动齿轮，75-传动齿轮轴，76-第一轴承，77-第二轴承，8-冷水套，81-水冷通道。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的结构原理和工作原理作进一步详细说明。
如图1所示，一种四工位靶装置，包括底板1、水冷靶座2和驱动水冷靶座2转动的驱动电机3，所述底板1上设置有X向移动组件4，所述X向移动组件4的上方设有Y向移动组件5，所述X向移动组件4能带动Y向移动组件5沿X方向移动，所述Y向移动组件5的上方设有Z向移动组件6，所述驱动电机3和水冷靶座2装设于Z向移动组件6上，所述Y向移动组件5能带动Z向移动组件6、驱动电机3和水冷靶座2沿Y方向移动，所述Z向移动组件6能带动驱动电机3和水冷靶座2沿Z方向移动，所述水冷靶座2上装设有四种不同种类的靶材。
作为一种优选方案，所述X向移动组件4包括固定块41和移动块42，所述固定块41固定安装于底板1上，所述固定块41的上端设有第一滑槽，所述移动块42的下端设有与第一滑槽适配的第一滑块，所述移动块42通过第一滑块与第一滑槽配合滑动安装于固定块41上，并能相对固定块41沿X方向移动。
作为一种优选方案，所述Y向移动组件5包括调节丝杆51和调节丝杆座52，所述移动块42的上端沿Y方向开设有第二滑槽，所述调节丝杆座52的下端设有与第二滑槽适配的第二滑块，所述调节丝杆座52沿Y轴方向开设有与调节丝杆51适配的螺孔。
作为一种优选方案，所述Y向移动组件5还包括两固定板53，所述固定板53固定安装于底板1的两侧，所述固定板53设有与调节丝杆适配的第一通孔，所述调节丝杆51的两端均穿过第一通孔伸出于固定板53的外侧面。
作为一种优选方案，所述Z向移动组件6包括固定座61、伸缩杆62和调节螺杆63，所述固定座61固定安装于调节丝杆座52的上方，所述固定座61沿Z轴方向开设有容置槽，所述伸缩杆62置于容置槽中，所述固定座61的侧壁开设有与调节螺杆63适配的第二通孔，所述伸缩杆62的侧壁开设有多个沿Z方向间距分布的卡孔64。
作为一种优选方案，所述四工位靶装置还包括传动组件7，所述传动组件7包括安装座71、主动齿轮72、主动齿轮轴73、传动齿轮74和传动齿轮轴75，所述安装座71与伸缩杆62的上端固定连接，所述主动齿轮72、主动齿轮轴73、传动齿轮74和传动齿轮轴75均装设于安装座71内，所述主动齿轮72固定套设于主动齿轮轴73外，所述传动齿轮74固定套设于传动齿轮轴75外，所述主动齿轮72与传动齿轮74相互啮合，所述主动齿轮轴73与驱动电机3的输出轴固定连接，所述水冷靶座2与传动齿轮轴74固定连接。
作为一种优选方案，所述传动组件7还包括第一轴承76和第二轴承77，所述第一轴承76和第二轴承77均设于安装座71内，所述第一轴承76固定套设于主动齿轮轴73的两端，所述第二轴承77固定套设于传动齿轮轴75的两端。
作为一种优选方案，所述四工位靶装置还包括冷水套8，所述冷水套8装设于安装座71上，且所述冷水套8设于传动齿轮轴75远离水冷靶座2的一侧，所述水冷套8设有用于供冷却水通过的水冷通道81，如此便能对传动齿轮轴进行水冷降温，提高四工位靶装置的工作稳定性。
作为一种优选方案，所述水冷靶座2内设有供冷却水通过的冷却管21。
本实用新型的有益效果是：通过X向移动组件4、Y向移动组件5、Z向移动组件6、驱动电机3和水冷靶座2的配合实现在镀制过程中能调整靶材与样品台在X向、Y向和Z向之间的距离和角度，以此来使镀膜的沉积效率提高，从而提高生产效率；由于水冷靶座2内装设有四种不同的靶材，通过驱动电机3可以实现无需停机更换靶材，而直接选择不同的靶材进行镀膜，降低操作人员的工作量，提高生产效率，该装置尤其适合多层薄膜的镀制。
以上所述，仅是本实用新型较佳实施方式，凡是依据本实用新型的技术方案对以上的实施方式所作的任何细微修改、等同变化与修饰，均属于本实用新型技术方案的范围内。
Claims (9)
1.一种四工位靶装置，其特征在于：包括底板、水冷靶座和驱动水冷靶座转动的驱动电机，所述底板上设置有X向移动组件，所述X向移动组件的上方设有Y向移动组件，所述X向移动组件能带动Y向移动组件沿X方向移动，所述Y向移动组件的上方设有Z向移动组件，所述驱动电机和水冷靶座装设于Z向移动组件上，所述Y向移动组件能带动Z向移动组件、驱动电机和水冷靶座沿Y方向移动，所述Z向移动组件能带动驱动电机和水冷靶座沿Z方向移动，所述水冷靶座上装设有四种不同种类的靶材。
2.根据权利要求1所述的一种四工位靶装置，其特征在于：所述X向移动组件包括固定块和移动块，所述固定块固定安装于底板上，所述固定块的上端设有第一滑槽，所述移动块的下端设有与第一滑槽适配的第一滑块，所述移动块通过第一滑块与第一滑槽配合滑动安装于固定块上，并能相对固定块沿X方向移动。
3.根据权利要求2所述的一种四工位靶装置，其特征在于：所述Y向移动组件包括调节丝杆和调节丝杆座，所述移动块的上端沿Y方向开设有第二滑槽，所述调节丝杆座的下端设有与第二滑槽适配的第二滑块，所述调节丝杆座沿Y轴方向开设有与调节丝杆适配的螺孔。
4.根据权利要求3所述的一种四工位靶装置，其特征在于：所述Y向移动组件还包括两固定板，所述固定板固定安装于底板的两侧，所述固定板设有与调节丝杆适配的第一通孔，所述调节丝杆的两端均穿过第一通孔伸出于固定板的外侧面。
5.根据权利要求4所述的一种四工位靶装置，其特征在于：所述Z向移动组件包括固定座、伸缩杆和调节螺杆，所述固定座固定安装于调节丝杆座的上方，所述固定座沿Z轴方向开设有容置槽，所述伸缩杆置于容置槽中，所述固定座的侧壁开设有与调节螺杆适配的第二通孔，所述伸缩杆的侧壁开设有多个沿Z方向间距分布的卡孔。
6.根据权利要求5所述的一种四工位靶装置，其特征在于：还包括传动组件，所述传动组件包括安装座、主动齿轮、主动齿轮轴、传动齿轮和传动齿轮轴，所述安装座与伸缩杆的上端固定连接，所述主动齿轮、主动齿轮轴、传动齿轮和传动齿轮轴均装设于安装座内，所述主动齿轮固定套设于主动齿轮轴外，所述传动齿轮固定套设于传动齿轮轴外，所述主动齿轮与传动齿轮相互啮合，所述主动齿轮轴与驱动电机的输出轴固定连接，所述水冷靶座与传动齿轮轴固定连接。
7.根据权利要求6所述的一种四工位靶装置，其特征在于：所述传动组件还包括第一轴承和第二轴承，所述第一轴承和第二轴承均设于安装座内，所述第一轴承固定套设于主动齿轮轴的两端，所述第二轴承固定套设于传动齿轮轴的两端。
8.根据权利要求7所述的一种四工位靶装置，其特征在于：还包括冷水套，所述冷水套装设于安装座上，且所述冷水套设于传动齿轮轴远离水冷靶座的一侧，所述水冷套设有用于供冷却水通过的水冷通道。
9.根据权利要求1所述的一种四工位靶装置，其特征在于：所述水冷靶座内设有供冷却水通过的冷却管。
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| CN201821272913.9U CN208803136U (zh) | 2018-08-08 | 2018-08-08 | 一种四工位靶装置 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113073301A (zh) * | 2021-03-25 | 2021-07-06 | 斡兹真空科技(嘉兴)有限公司 | 一种可调非平衡矩形平面磁控溅射阴极 |
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2018
- 2018-08-08 CN CN201821272913.9U patent/CN208803136U/zh active Active
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