CN211086401U - 可拆式高频测试装置及其垂直式探针头 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种可拆式高频测试装置及其垂直式探针头。所述可拆式高频测试装置包括一垂直式探针头、安装于所述垂直式探针头的一信号传输件及连接所述垂直式探针头的一间距转换板。所述垂直式探针头包含一固持座，其包含一第一导板单元与一第二导板单元、设置于所述第一导板单元的一内表面的一线路板、穿设定位于所述固持座的多个导电探针及可分离地顶抵于所述线路板的一高频弹簧针。所述信号传输件连接于所述线路板，以使所述信号传输件与所述高频弹簧针通过所述线路板而彼此电性耦接。所述可拆式高频测试装置及其垂直式探针头通过结构改良，以减少高频信号于传输过程中所产生的信号损失且提供维护、量产及调整的便利性。

Description

可拆式高频测试装置及其垂直式探针头

技术领域

本实用新型涉及一种高频测试装置及其探针头，尤其涉及一种可拆式高频测试装置及其垂直式探针头。

背景技术

在使用现有的高频测试装置时，由于其高频信号的传输过程过长且高频信号容易衰减，故容易造成高频信号于传输过程中产生较大的信号损失。再者，由于现有的测试装置是无法被拆卸，所以现有的测试装置在其探针断裂后不易或无法进行维护，进而导致维护成本过高。故，如何通过结构设计的改良，来减少高频信号于传输过程中所产生的信号损失并且能被快速拆卸，已成为该项事业所欲解决的重要课题之一。

于是，本发明人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本实用新型。

实用新型内容

本实用新型实施例在于提供一种可拆式高频测试装置及其垂直式探针头，其能有效地改善现有的高频测试装置及现有的探针头所可能产生的缺陷。

本实用新型实施例在于提供一种可拆式高频测试装置，包括一垂直式探针头、一信号传输件及间距转换板。垂直式探针头包含一固持座、一线路板、多个导电探针及一高频弹簧针，固持座包含彼此间隔地设置的一第一导板单元与一第二导板单元；其中，所述第一导板单元包含有至少一个第一子板及设置于至少一个所述第一子板的一盖板，并且至少一个所述第一子板形成有一容置孔；一线路板设置于面向所述第二导板单元的所述第一导板单元的一内表面、并遮蔽所述容置孔的一侧；其中，所述线路板包含有一高频传输线路与一接地线路；多个导电探针，穿设定位于所述固持座，并且每个所述导电探针包含有分别位于所述固持座相反两外侧的一针测端部及一连接端部；一高频弹簧针穿设定位于所述第一导板单元；其中，所述高频弹簧针包含有位于所述容置孔内的一穿设段以及自所述穿设段一端延伸穿出所述第一导板单元的一外表面的一高频检测段；所述穿设段可分离地顶抵于所述高频传输线路，所述盖板位于远离所述第二导板单元的一侧并固持所述穿设段，以使所述高频弹簧针仅能以所述高频检测段相对于所述第一导板单元移动；一信号传输件安装于所述线路板，并且所述信号传输件包含一信号传输部件及一接地部件。信号传输部件连接于所述高频传输线路，以使所述信号传输部件与所述高频弹簧针通过所述高频传输线路而彼此电性耦接；一接地部件包围部分所述信号传输部件，并且所述接地部件连接于所述接地线路；一间距转换板连接于每个所述导电探针的所述连接端部、但未接触于所述高频弹簧针。

优选地，所述信号传输件的一部分位于所述第一导板单元与所述第二导板单元之间，并且所述信号传输件的另一部分则位于所述固持座之外。

优选地，所述第二导板单元形成有一安置孔，并且所述安置孔的位置对应于所述高频传输线路与所述接地线路；所述信号传输件的一部分位于所述第一导板单元与所述第二导板单元之间，而所述信号传输件的另一部分穿设于所述安置孔。

优选地，所述高频传输线路包含有两条线路段及跨接于两条所述线路段的一调谐元件，并且两条所述线路段分别连接于所述高频弹簧针的所述穿设段及所述信号传输部件。

优选地，所述第一导板单元形成有一贯穿孔，而所述调谐元件位于所述贯穿孔内。

优选地，所述调谐元件未连接于所述接地线路。

优选地，所述高频弹簧针未穿出所述第一导板单元的所述内表面，所述信号传输件为一电连接器或一同轴线缆。

本实用新型实施例在于提供一种可拆式高频测试装置的垂直式探针头，包括一固持座、一线路板、多个导电探针及一高频弹簧针。固持座包含彼此间隔地设置的一第一导板单元与一第二导板单元；其中，所述第一导板单元包含有至少一个第一子板及设置于至少一个所述第一子板的一盖板，并且至少一个所述第一子板形成有一容置孔；一线路板，设置于面向所述第二导板单元的所述第一导板单元的一内表面、并遮蔽所述容置孔的一侧；其中，所述线路板包含有一高频传输线路与一接地线路；多个导电探针，穿设定位于所述固持座，并且每个所述导电探针包含有分别位于所述固持座相反两外侧的一针测端部及一连接端部；以及一高频弹簧针，穿设定位于所述第一导板单元；其中，所述高频弹簧针包含有位于所述容置孔内的一穿设段以及自所述穿设段一端延伸穿出所述第一导板单元的一外表面的一高频检测段；所述穿设段可分离地顶抵于所述高频传输线路，所述盖板位于远离所述第二导板单元的一侧并固持所述穿设段，以使所述高频弹簧针仅能以所述高频检测段相对于所述第一导板单元移动。

优选地，所述高频传输线路包含有两条线路段及跨接于两条所述线路段的一调谐元件，并且两条所述线路段的其中一条所述线路连接于所述高频弹簧针的所述穿设段，所述调谐元件未连接于所述接地线路。

优选地，所述第一导板单元形成有一贯穿孔，而所述调谐元件位于所述贯穿孔内，所述高频弹簧针未穿出所述第一导板单元的所述内表面。

综上所述，本实用新型实施例所公开的可拆式高频测试装置及其垂直式探针头，通过特殊的结构设计及搭配，据以改善现有的高频测试装置及现有的探针头的缺陷。(如：在垂直式探针头内设有高频传输线路及抵接于上述高频传输线路的高频弹簧针，据以用来搭配连接于高频传输线路的信号传输件共同进行高频信号传输；再者，通过可拆式高频测试装置及其垂直式探针头的可拆式设计，据以使其维护更加便利)

为能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本实用新型，而非对本实用新型的保护范围作任何的限制。

附图说明

图1为本实用新型的第一实施例的局部剖面示意图。

图2为图1省略所述第一子板、所述盖板、一环形间隔板及所述高频弹簧针的局部上视示意图。

图3为本实用新型的第一实施例以一同轴线缆作为所述信号传输件的示意图。

图4为图3省略所述第一子板、所述盖板、所述环形间隔板及所述高频弹簧针的局部上视示意图。

图5为本实用新型的第二实施例的局部剖面示意图。

图6为图5省略所述第一子板、所述盖板、所述环形间隔板及所述高频弹簧针的局部上视示意图。

图7为本实用新型的第三实施例的局部剖面示意图。

具体实施方式

请参阅图1至图7所示，其为本实用新型的实施例，需先说明的是，本实施例对应附图所提及的相关数量与外形，仅用来具体地说明本实用新型的实施方式，以便于了解本实用新型的内容，而非用来局限本实用新型的保护范围。

[第一实施例]

请参阅图1至图4所示，本实施例为一种可拆式高频测试装置100，其能用来测试一待测物(图未示，如：半导体晶片)。所述可拆式高频测试装置100包括一垂直式探针头1、安装于所述垂直式探针头1的一信号传输件2及连接所述垂直式探针头1的一间距转换板3。需要说明的是，本实用新型虽是以所述垂直式探针头1搭配所述信号传输件2与所述间距转换板3来说明，但本实用新型不受限于此。也就是说，所述垂直式探针头1可以是被单独地被运用(如：贩卖)或搭配其他构件使用。以下将分别介绍所述可拆式高频测试装置100的各个组件构造，并适时说明所述可拆式高频测试装置100的各个组件彼此之间的连接关系。

请参阅图1所示，所述垂直式探针头包含一固持座11、设置于所述固持座一线路板12、穿设定位于所述固持座11的多个导电探针13及穿设定位于所述固持座11的一高频弹簧针14。所述垂直式探针头1为可拆解地组接所述间距转换板3上；也就是说，所述垂直式探针头1是可以直接拆离所述间距转换板3上，据以进行维护或更换其他新的垂直式探针头1。

所述固持座11包含彼此间隔地设置的一第一导板单元111与一第二导板单元112，并且所述第一导板单元111与所述第二导板单元112于图1中是分别位于所述固持座11的上侧部位与下侧部位。换句话说，所述固持座11的所述第一导板单元111与所述第二导板单元112是沿一纵向方向L间隔地设置。于本实施例中，所述第一导板单元111与所述第二导板单元112皆大致与一横向方向W平行，且所述横向方向W垂直于所述纵向方向L。此外，于本实施例中的所述固持座11还可以包含有一环形间隔板113，据以使所述第一导板单元111与所述第二导板单元112可以通过夹持所述环形间隔板113而彼此间隔设置。

于本实施例中，所述第一导板单元111包含有一第一子板1111以及设置于所述第一子板1111的一盖板1112。其中，所述第一导板单元111的表面包含有位于其相反两侧的一内表面111b及一外表面111c，并且所述第一导板单元111形成有一贯穿孔111a。

于本实施例中，所述第一子板1111大致平行于所述横向方向W。所述盖板1112位于远离所述第二导板单元112的第一子板1111一侧，详细来说，所述盖板1112是位于所述第一子板1111于图1中的上方。所述内表面111b及所述外表面111c分别是面向及远离所述第二导板单元112。所述贯穿孔111a大致呈圆形并且贯穿所述第一导板单元111(也就是，所述贯穿孔111a贯穿上述内表面111b与外表面111c)。

所述第一子板1111形成有一容置孔1111a，并且所述贯穿孔111a贯穿所述第一子板1111。需要说明的是，于本实施例中的所述容置孔1111a的尺寸是略大于所述贯穿孔111a的尺寸，但所述容置孔1111a及所述贯穿孔111a的尺寸、形成位置、外形及其他相关性质等皆可依据需求变化，本实施例于此不加以限制。

需要额外说明的是，于本实用新型未示出的其他实施例中，所述第一导板单元111可以包含有两个所述第一子板1111，并且两个所述第一子板1111是沿所述横向方向W互相错位的，据以较佳地固持所述导电探针13。也就是说，所述第一导板单元111所包含的所述第一子板1111的数量为至少一个。

于本实施例中，所述第二导板单元112包含有两个第二子板1121且形成有多个孔位112a。两个所述第二子板1121皆大致平行于所述横向方向W。两个所述第二子板1121是沿所述横向方向W互相错位的，并且通过相互错位设置的两个所述第二子板1121及所述导电探针13的卡合，多个所述导电探针13能较佳地定位于所述固持座11，且多个所述导电探针13较不容易沿所述横向方向W移动。需要说明的是，所述第二导板单元112不限制包含有相互错位设置的两个所述第二子板1121，并且两个所述第二子板1121互相错位的方向及程度皆可依据需求变化，不以本实施例为限。

于本实施例中，所述第二导板单元112可以包含有相互错位设置的两个第二子板1121，并且两个所述第二子板1121是沿所述横向方向W错位。通过所述导电探针13及相互错位设置的两个所述第二子板1121的卡合，多个所述导电探针13能较佳地定位于所述固持座11，且多个所述导电探针13较不容易沿所述横向方向W移动。需要说明的是，所述第二导板单元112不限制包含有相互错位设置的两个所述第二子板1121，并且两个所述第二子板1121互相错位的方向及程度皆可依据需求变化，不以本实施例为限。

于本实施例中，多个所述孔位112a皆大致呈矩形且彼此间隔地形成于所述第二导板单元112。需要说明的是，多个所述孔位112a的数量、外形、位置皆可依据需求变化，不以本实施例为限。举例来说，于本实用新型未示出的其他实施例中，多个所述孔位112a可以皆大致呈圆形。

所述线路板12设置于面向所述第二导板单元112的所述第一导板单元111的所述内表面111b，并且所述线路板12遮蔽所述第一导板单元111的所述容置孔1111a的一侧。详细来说，所述线路板12是邻近所述第一导板单元111于图1中的下方，并且所述线路板12是自所述容置孔1111a于图1中的下方遮蔽所述容置孔1111a。

所述线路板12包含有一高频传输线路121、一接地线路122及一板体123，并且所述板体123能承载所述高频传输线路121及所述接地线路122。也就是说，所述板体123是大致位于所述高频传输线路121及所述接地线路122于图1中的下方。并且，所述高频传输线路121及所述接地线路122的位置是对应于所述安置孔112b的位置。于本实施例中，所述高频传输线路121是位于所述接地线路122所包围形成的一区域中。需要说明的是，本实施例于此不对所述高频传输线路121、所述接地线路122及所述板体123的外形、材质、尺寸及其他相关性质加以限制。

请参阅图1及图2所示，于本实施例中，于所述线路板12定义有多个针位12a。所述多个针位12a皆大致呈矩形且沿所述纵向方向L彼此互相间隔。本实施例中的所述针位12a的数量为三个，其中一个所述针位12a的位置对应于所述高频传输线路121的位置，并且另外两个所述针位12a的位置对应于所述接地线路122的位置。需要说明的是，所述针位12a所被定义的外形、数量及其他相关性质等皆可依据需求变化，不以本实施例为限。

值得一提的是，于本实用新型未示出的其他实施例中，所述线路板12可以形成有一凹槽，并且所述凹槽是朝向图1中的上方。所述凹槽大致位于所述高频弹簧探针14的下方，并且所述凹槽的尺寸略大于所述高频弹簧针14邻近于所述线路板12的一端的尺寸。如此一来，部分的所述高频弹簧针14能位于所述凹槽内(或嵌合于)，据以较佳地固持所述高频弹簧针14，并且使所述高频弹簧针14较不容易于所述横向方向W上移动。

所述高频传输线路121包含两条线路段1211及跨接于两条所述线路段1211的一调谐元件1212(如：电感器及/或电容器)。于本实施例中，两条所述线路段1211大致与所述横向方向W平行。请参阅图1所示，于所述两条线路段1211中，相对位于左侧的所述线路段1211连接于所述高频弹簧针14，且相对位于右侧的所述线路段1211连接于所述信号传输件2的一信号传输部件21(于后续记载中详述)。于本实用新型未示出的其他实施例中，所述调谐元件122的数量可以是两个。也就是说，所述调谐元件122的数量为至少一个，并且所述调谐元件122的数量、外形及其他相关性质皆可依据需求变化。

详细来说，相对位于左侧的所述线路段1211是连接于所述高频弹簧针14的一穿设段141(于后续记载中详述)。所述调谐元件1212未连接所述接地线路122。所述调谐元件位于所述贯穿孔111a内，据以使所述调谐元件1212可以方便地通过所述贯穿孔111a而被维修、调整、或是进行相关设定。

多个所述导电探针13穿设定位于所述固持座11，并且每个所述导电探针13包含有分别位于所述固持座11相反两外侧的一针测端部131及一连接端部132。详细来说，多个所述导电探针13是穿设定位于所述第一导板单元111及所述第二导板单元112的所述孔位112a。

于本实施例中，所述导电探针13呈长形，并且所述导电探针13的数量于附图仅以两个来说明，但所述导电探针13的数量、外形、位置及其他相关性质等皆可依据需求变化，不以本实施例为限。需要说明的是，所述导电探针13可依据设计需求定义其功能，例如，所述导电探针13可以用来接地、传输(低频)信号、或传输电源，但本实施例于此不加以限制。

所述针测端部131位于邻近图1的上方，并且各个所述导电探针13的所述针测端部131皆可用来抵接所述待测物，据以对所述待测物进行相关测试。所述连接端部132位于邻近图1的下方，并且每个所述导电探针13的所述连接端部132可分离地连接于所述间距转换板3。

请参阅图1及图2所示，所述高频弹簧针14呈长形且穿设定位于所述第一导板单元111，并且所述高频弹簧针14未穿出所述第一导板单元111的所述内表面111b。详细来说，所述高频弹簧针14的长度远小于任一个所述导电探针13的长度(如：所述高频弹簧针14的长度小于任一个所述导电探针13的长度的50％)，并且所述高频弹簧针14是大致位于所述针位12a于图2中的上方。所述高频弹簧针14包含有所述穿设段141以及一高频检测段142。所述穿设段141位于所述容置孔1111a内，并且所述高频检测段142自所述穿设段141的一端延伸穿出所述第一导板单元111的所述外表面111c。

所述高频弹簧针14的所述高频检测段142是邻近于图1的上方。换句话说，于本实施例中的所述高频检测段142是朝图1的上方延伸穿出所述第一导板单元111的所述外表面111c。于实际应用时，所述高频检测段142能用以抵接所述待测物，据以对所述待测物进行相关检测。

请参阅图1及图2所示，所述高频弹簧针14的所述穿设段141未穿出所述第一导板单元111的所述内表面111b。所述穿设段141邻近于所述高频传输线路121的一端可分离地顶抵于所述高频传输线路121，据以使所述高频弹簧针14能与所述高频传输线路121电性耦接。详细来说，所述穿设段141是可分离地顶抵于所述高频传输线路121的所述线路段1211于所述针位12a上的部位。此外，所述穿设段141被所述第一导板单元111的所述盖板1112所固持，据以使所述高频弹簧针14仅能以所述高频检测段142相对于所述第一导板单元111移动，并且能较佳地固持所述高频弹簧针14。

此外，于本实用新型未示出的其他实施例中，所述垂直式探针头1还可以包含有两个接地针(图未示)，其可以采用弹簧针且具有等同于所述高频弹簧针14的长度。所述两个接地针大致平行于所述高频弹簧针14，并且穿设定位于所述第一导板单元111。详细来说，两个所述接地针可以是分别位于图2中相对位于所述高频弹簧探针14的相反两侧，并且所述各个所述接地针的一部分位于所述容置孔1111a内。所述接地针的一端可以连接所述待测物，并且所述接地针的另一端可分离地顶抵于位于所述针位12a上的部分所述接地线路122，据以于所述高频传输线路121进行检测时提供接地。

需要说明的是，所述接地针的外形于本实施例中是以长形为例，但所述接地针的外形、数量、尺寸、材质及其他相关性质等皆可依据需求变化，不以本实施例为限。依据实际需求，所述接地针可以被选择性地安装或拆卸于所述垂直式探针头1，并且所述垂直式探针头1不限制包含有所述接地针。

所述信号传输件2安装于所述线路板12，并且所述信号传输件2包含所述信号传输部件21及一接地部件22。于本实施例中，所述信号传输件2的一部分位于所述第一导板单元111与所述第二导板单元112之间，并且所述信号传输件2的另一部分位于所述固持座11之外。

值得一提的是，所述信号传输件2可以是一电连接器或一同轴线缆，且本实施例的信号传输件2于此不加以限制。于本实施例的图1及图2中，所述信号传输件2是以所述电连接器为例，并且所述信号传输件2的所述信号传输部件21对应为所述电连接器的一导电端子；所述信号传输件2的所述接地部件22对应为所述电连接器的一金属外壳及其至少一个接地脚。举例来说，于本实施例的图3及图4中，所述信号传输件2是以所述同轴线缆为例，并且，所述信号传输件2的所述信号传输部件21对应为所述同轴线缆的一芯线；所述信号传输件2的所述接地部件22对应为所述同轴线缆的一接地编织网。

所述信号传输部件21连接于所述高频传输线路121，据以使所述信号传输部件21与所述高频弹簧针14通过所述高频传输线路121而彼此电性耦接。详细来说，所述信号传输部件21连接于所述高频传输线路121的两条所述线路段1211中相对位于右侧的所述线路段1211，进一步通过所述调谐元件1212连接两条所述线路段1211，且所述高频弹簧针14连接两条所述线路段1211中相对位于左侧的所述线路段1211，据以使所述信号传输部件21能与所述高频弹簧针14彼此电性耦接。

所述接地部件22包围部分所述信号传输部件21，并且所述接地部件22连接于所述接地线路122，据以提供接地。如上所述，所述接地部件22可以依据需求对应为所述金属外壳及所述接地脚、所述接地编织网、或其相关构件。然而，本实施例并不对所述接地部件22的外形与数量加以限制。

所述间距转换板3是位于图1中的下方。所述间距转换板3(可分离地)连接于每个所述导电探针13的所述连接端部132、但未接触于所述高频弹簧针14。需要说明的是，所述间距转换板3可以是印刷电路板结构，且所述间距转换板3的材质、形成位置及其他相关性质等皆可以依据需求变化，不以本实施例为限。

[第二实施例]

请参阅图5至图6所示，其为本实用新型的第二实施例，本实施例类似于上述第一实施例，所以两个实施例的相同处则不再加以赘述，而两个实施例的差异处大致说明如下：

所述第二导板单元112还形成有一安置孔112b，并且所述安置孔112b贯穿所述第二导板单元112。于本实施例中，所述第二导板单元112的所述安置孔112b的尺寸略大于所述第一导板单元111的所述贯穿孔111a的尺寸。然而，所述安置孔112b的外形、尺寸及其他相关性质皆可依据需求变化，不以本实施例为限。

所述信号传输件2的一部分位于所述第一导板单元111与所述第二导板单元112之间，并且所述信号传输件2的另一部分穿设于所述第二导板单元112的所述安置孔112b。与所述第一实施例相似地，所述信号传输件2可以是所述电连接器或所述同轴线缆，并且，于本实施例的图5及图6中，所述信号传输件2是以所述电连接器为例。此外，请参阅图6所示，所述信号传输件2的所述信号传输部件21相接于高频传输线路12的位置是落在所述接地部件22相接于接地线路122的多个位置的内侧。

[第三实施例]

请参阅图7所示，其为本实用新型的第三实施例，本实施例类似于上述第一实施例，所以两个实施例的相同处则不再加以赘述，而两个实施例的差异处大致说明如下：

所述第一导板单元111与所述第二导板单元112可以是沿所述横向方向W相互错位的，据以使多个所述导电探针13大致呈弯状。据此，所述垂直式探针头1在运作时(例如，所述垂直式探针头1的所述针测端部131连接于所述待测物或所述垂直式探针头1的所述连接端部132连接于所述间距转换板3时)，多个所述导电探针13的弯状设计可以提供缓冲且避免多个所述导电探针13损伤。需要说明的是，所述导电探针13不限制为弯状，且皆可依据需求变化；此外，所述导电探针13呈弯状的程度及位置皆可依据需求变化，本实施例于此不加以限制。

[本实用新型实施例的技术效果]

综上所述，本实用新型实施例所公开的可拆式高频测试装置及其垂直式探针头，通过特殊的结构设计及搭配，据以改善现有的高频测试装置及现有的探针头的缺陷。(如：在垂直式探针头内设有高频传输线路及抵接于上述高频传输线路的高频弹簧针，据以用来搭配连接于高频传输线路的信号传输件共同进行高频信号传输；再者，通过可拆式高频测试装置及其垂直式探针头的可拆式设计，据以使其维护更加便利)

再者，所述可拆式高频测试装置及其所述垂直式探针头通过结构改良(如：在垂直式探针头内设有高频传输线路及抵接于上述高频传输线路的高频弹簧探针，据以用来搭配连接于高频传输线路的信号传输件共同进行高频信号传输、所述垂直式探针头是可拆离于所述可拆式高频测试装置的、所述第一导板单元形成有一贯穿孔，并且所述调谐元件位于所述贯穿孔内及所述第二导板单元形成有一安置孔，并且所述安置孔的位置对应于所述高频传输线路与所述接地线路)，据以减少高频信号于传输过程中所产生的信号损失且能被快速拆卸，还提供维护、量产及调整上的便利性。

以上所公开的内容仅为本实用新型的优选可行实施例，并非因此局限本实用新型的专利范围，所以凡是运用本实用新型说明书及附图内容所做的等效技术变化，均包含于本实用新型的专利范围内。

Claims (10)

1.一种可拆式高频测试装置，其特征在于，所述可拆式高频测试装置包含：

一垂直式探针头，包含：

一固持座，包含彼此间隔地设置的一第一导板单元与一第二导板单元；其中，所述第一导板单元包含有至少一个第一子板及设置于至少一个所述第一子板的一盖板，并且至少一个所述第一子板形成有一容置孔；

一线路板，设置于面向所述第二导板单元的所述第一导板单元的一内表面、并遮蔽所述容置孔的一侧；其中，所述线路板包含有一高频传输线路与一接地线路；

多个导电探针，穿设定位于所述固持座，并且每个所述导电探针包含有分别位于所述固持座相反两外侧的一针测端部及一连接端部；及

一高频弹簧针，穿设定位于所述第一导板单元；其中，所述高频弹簧针包含有位于所述容置孔内的一穿设段以及自所述穿设段一端延伸穿出所述第一导板单元的一外表面的一高频检测段；所述穿设段可分离地顶抵于所述高频传输线路，所述盖板位于远离所述第二导板单元的一侧并固持所述穿设段，以使所述高频弹簧针仅能以所述高频检测段相对于所述第一导板单元移动；一信号传输件，安装于所述线路板，并且所述信号传输件包含：

一信号传输部件，连接于所述高频传输线路，以使所述信号传输部件与所述高频弹簧针通过所述高频传输线路而彼此电性耦接；及

一接地部件，包围部分所述信号传输部件，并且所述接地部件连接于所述接地线路；以及

一间距转换板，连接于每个所述导电探针的所述连接端部、但未接触于所述高频弹簧针。

2.依据权利要求1所述的可拆式高频测试装置，其特征在于，所述信号传输件的一部分位于所述第一导板单元与所述第二导板单元之间，并且所述信号传输件的另一部分则位于所述固持座之外。

3.依据权利要求1所述的可拆式高频测试装置，其特征在于，所述第二导板单元形成有一安置孔，并且所述安置孔的位置对应于所述高频传输线路与所述接地线路；所述信号传输件的一部分位于所述第一导板单元与所述第二导板单元之间，而所述信号传输件的另一部分穿设于所述安置孔。

4.依据权利要求1所述的可拆式高频测试装置，其特征在于，所述高频传输线路包含有两条线路段及跨接于两条所述线路段的一调谐元件，并且两条所述线路段分别连接于所述高频弹簧针的所述穿设段及所述信号传输部件。

5.依据权利要求4所述的可拆式高频测试装置，其特征在于，所述第一导板单元形成有一贯穿孔，而所述调谐元件位于所述贯穿孔内。

6.依据权利要求4所述的可拆式高频测试装置，其特征在于，所述调谐元件未连接于所述接地线路。

7.依据权利要求1所述的可拆式高频测试装置，其特征在于，所述高频弹簧针未穿出所述第一导板单元的所述内表面，所述信号传输件为一电连接器或一同轴线缆。

8.一种可拆式高频测试装置的垂直式探针头，其特征在于，所述垂直式探针头包含：

一固持座，包含彼此间隔地设置的一第一导板单元与一第二导板单元；其中，所述第一导板单元包含有至少一个第一子板及设置于至少一个所述第一子板的一盖板，并且至少一个所述第一子板形成有一容置孔；

一线路板，设置于面向所述第二导板单元的所述第一导板单元的一内表面、并遮蔽所述容置孔的一侧；其中，所述线路板包含有一高频传输线路与一接地线路；

多个导电探针，穿设定位于所述固持座，并且每个所述导电探针包含有分别位于所述固持座相反两外侧的一针测端部及一连接端部；以及

一高频弹簧针，穿设定位于所述第一导板单元；其中，所述高频弹簧针包含有位于所述容置孔内的一穿设段以及自所述穿设段一端延伸穿出所述第一导板单元的一外表面的一高频检测段；所述穿设段可分离地顶抵于所述高频传输线路，所述盖板位于远离所述第二导板单元的一侧并固持所述穿设段，以使所述高频弹簧针仅能以所述高频检测段相对于所述第一导板单元移动。

9.依据权利要求8所述的可拆式高频测试装置的垂直式探针头，其特征在于，所述高频传输线路包含有两条线路段及跨接于两条所述线路段的一调谐元件，并且两条所述线路段的其中一条所述线路连接于所述高频弹簧针的所述穿设段，所述调谐元件未连接于所述接地线路。

10.依据权利要求9所述的可拆式高频测试装置的垂直式探针头，其特征在于，所述第一导板单元形成有一贯穿孔，而所述调谐元件位于所述贯穿孔内，所述高频弹簧针未穿出所述第一导板单元的所述内表面。

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