CN211060661U - 一种烧结装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型实施例公开一种烧结装置,包括烧结炉体,所述烧结炉体内设置烧结腔,所述烧结腔的内腔壁表面涂有钛层,所述烧结腔的左侧内腔壁、右侧内腔壁、后侧内腔壁和前侧内腔壁上均设置加热丝,所述烧结腔的上侧内腔壁和下侧内腔壁上均设置呈阵列排布的卡块;这样,所述烧结腔内设置的所述钛层可以使得所述烧结炉内工作中无污染,环境好,加热速度快,加热均匀,而所述烧结腔的左侧内腔壁、右侧内腔壁、后侧内腔壁和前侧内腔壁上设置的加热丝用于进行加热,在使用时,由于所述烧结腔的上侧内腔壁和下侧内腔壁上均设置呈阵列排布的所述卡块,硅板可以卡接在两个所述卡块之间的缝隙,从而竖立设置在所述烧结炉体内进行烧结。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种热处理装置,尤其涉及一种烧结装置。
背景技术
使用烧结装置对硅片进行烧结时,一般是将硅片直接放入到烧结炉体内进行烧结,但这样使用时,硅片与烧结炉体内的下侧墙壁由于相互接触,所述会使得硅片两面的受热烧结效果不一致,影响硅片的质量。
实用新型内容
为解决以上技术问题,本实用新型实施例提供一种烧结装置,可以通过烧结腔的上侧内腔壁和下侧内腔壁上设置的呈阵列排布的卡块,使得硅片可以通过卡块竖直设置在烧结炉体内,从而保证硅片的两面受热均匀,保证硅片的烧结效果。
为达上述目的,本实用新型实施例的技术方案是这样实现的:
本实用新型实施例提供一种烧结装置,包括烧结炉体,所述烧结炉体内设置烧结腔,所述烧结腔的内腔壁表面涂有钛层,所述烧结腔的左侧内腔壁、右侧内腔壁、后侧内腔壁和前侧内腔壁上均设置加热丝,所述烧结腔的上侧内腔壁和下侧内腔壁上均设置呈阵列排布的卡块。
在本实用新型中,所述烧结腔的上侧内腔壁上开设第一安装槽,其中,所述第一安装槽内设置第一安装板,所述第一安装板上开设第一安装螺孔,位于所述烧结腔上侧内腔壁的卡块通过螺栓与所述第一安装螺孔的配合设置在所述第一安装板上。
在本实用新型中,在所述烧结腔的上侧内腔壁上,所述第一安装板与所述第一安装槽的连接处设置钛板,其中,所述钛板安装在所述第一安装板上。
在本实用新型中,所述烧结腔的下侧内腔壁上开设第二安装槽,其中,所述第二安装槽内设置第二安装板,所述第二安装板上开设第二安装螺孔,位于所述烧结腔下侧内腔壁的卡块通过螺栓与所述第二安装螺孔的配合设置在所述第二安装板上。
在本实用新型中,所述第二安装板与所述第二安装槽滑动连接,所述第二安装板与所述第二安装槽的槽底设置空腔,所述空腔内设置与所述第二安装板连接的把手。
本实用新型实施例提供一种烧结装置,包括烧结炉体,所述烧结炉体内设置烧结腔,所述烧结腔的内腔壁表面涂有钛层,所述烧结腔的左侧内腔壁、右侧内腔壁、后侧内腔壁和前侧内腔壁上均设置加热丝,所述烧结腔的上侧内腔壁和下侧内腔壁上均设置呈阵列排布的卡块;这样,所述烧结腔内设置的所述钛层可以使得所述烧结炉内工作中无污染,环境好,加热速度快,加热均匀,而所述烧结腔的左侧内腔壁、右侧内腔壁、后侧内腔壁和前侧内腔壁上设置的加热丝用于进行加热,在使用时,由于所述烧结腔的上侧内腔壁和下侧内腔壁上均设置呈阵列排布的所述卡块,硅板可以卡接在两个所述卡块之间的缝隙,从而竖立设置在所述烧结炉体内进行烧结。
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的一种烧结炉的结构示意图;
图2为本实用新型实施例提供的烧结腔内部的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
本实用新型实施例提供一种烧结装置,如图1和2所示,包括烧结炉体1,所述烧结炉体1内设置烧结腔2,所述烧结腔2的内腔壁表面涂有钛层,所述烧结腔2 的左侧内腔壁、右侧内腔壁、后侧内腔壁和前侧内腔壁上均设置加热丝3,所述烧结腔2的上侧内腔壁和下侧内腔壁上均设置呈阵列排布的卡块4。
这里,所述烧结炉体1为目前市面可以买到的设备,所述烧结腔2包括左侧内腔壁、右侧内腔壁、后侧内腔壁、前侧内腔壁、上侧内腔壁和下侧内腔壁,其中,所述烧结腔2的前侧内腔壁为所述烧结腔2的门体,所述烧结腔2的左侧内腔壁、右侧内腔壁、后侧内腔壁和前侧内腔壁上的所述加热丝3用于所述烧结腔2体内进行加热。
所述烧结腔2的上侧内腔壁和下侧内腔壁上设置呈阵列排布的所述卡块4,这样,硅板的一端可以设置在所述烧结腔2的上侧内腔壁上的两块所述卡块4之间,硅板的另一端可以设置在所述烧结腔2的下侧内腔壁上的两块所述卡块4之间,从而使得硅板竖直设置在所述烧结腔2内。
在本实用新型中,所述烧结腔2的上侧内腔壁上开设第一安装槽51,其中,所述第一安装槽51内设置第一安装板61,所述第一安装板61上开设第一安装螺孔,位于所述烧结腔2上侧内腔壁的卡块4通过螺栓与所述第一安装螺孔的配合设置在所述第一安装板61上。
在所述烧结腔2的上侧内腔壁上,所述第一安装板61与所述第一安装槽51的连接处设置钛板7,其中,所述钛板7安装在所述第一安装板61上。
这里,为了方便对所述卡块4进行更换,从而避免所述卡块4长时间使用导致的破损,从而使得所述卡块4通过所述第一安装板61设置在所述第一安装槽51内,这样在更换时可以从所述第一安装槽51内取出,所述第一安装槽51与所述第一安装板61之间设置的所述钛板7避免杂质从所述第一安装板61与所述第一安装槽51 连接处的进入。
当只有一块所述卡块4损坏时,可以通过将一块所述卡块4上的螺丝从所述第一安装板61上扭下,从而完成单块卡块4的更换。
在本实用新型中,所述烧结腔2的下侧内腔壁上开设第二安装槽52,其中,所述第二安装槽52内设置第二安装板62,所述第二安装板62上开设第二安装螺孔,位于所述烧结腔2下侧内腔壁的卡块4通过螺栓与所述第二安装螺孔的配合设置在所述第二安装板62上。
所述第二安装板62与所述第二安装槽52滑动连接,所述第二安装板62与所述第二安装槽52的槽底设置空腔,所述空腔内设置与所述第二安装板62连接的把手 8。
这里,为了方便对所述卡块4进行更换,从而避免所述卡块4长时间使用导致的破损,从而使得所述卡块4通过所述第二安装板62设置在所述第二安装槽52内,这样在更换时可以从所述第二安装槽52内取出,所述第二安装槽52与所述第二安装板62之间设置的所述钛板7避免杂质从所述第二安装板62与所述第二安装槽52 连接处的进入。
当只有二块所述卡块4损坏时,可以通过将二块所述卡块4上的螺丝从所述第二安装板62上扭下,从而完成单块卡块4的更换。
同时,所述把手8可以方便所述第二安装板62的取拿,从而方便工作人员进行上料和下料。
以上仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出的是,上述优选实施方式不应视为对本实用新型的限制,本实用新型的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型的精神和范围内,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种烧结装置,包括烧结炉体(1),其特征在于,所述烧结炉体(1)内设置烧结腔(2),所述烧结腔(2)的内腔壁表面涂有钛层,所述烧结腔(2)的左侧内腔壁、右侧内腔壁、后侧内腔壁和前侧内腔壁上均设置加热丝(3),所述烧结腔(2)的上侧内腔壁和下侧内腔壁上均设置呈阵列排布的卡块(4)。
2.根据权利要求1所述的一种烧结装置,其特征在于,所述烧结腔(2)的上侧内腔壁上开设第一安装槽(51),其中,所述第一安装槽(51)内设置第一安装板(61),所述第一安装板(61)上开设第一安装螺孔,位于所述烧结腔(2)上侧内腔壁的卡块(4)通过螺栓与所述第一安装螺孔的配合设置在所述第一安装板(61)上。
3.根据权利要求2所述的一种烧结装置,其特征在于,在所述烧结腔(2)的上侧内腔壁上,所述第一安装板(61)与所述第一安装槽(51)的连接处设置钛板(7),其中,所述钛板(7)安装在所述第一安装板(61)上。
4.根据权利要求1所述的一种烧结装置,其特征在于,所述烧结腔(2)的下侧内腔壁上开设第二安装槽(52),其中,所述第二安装槽(52)内设置第二安装板(62),所述第二安装板(62)上开设第二安装螺孔,位于所述烧结腔(2)下侧内腔壁的卡块(4)通过螺栓与所述第二安装螺孔的配合设置在所述第二安装板(62)上。
5.根据权利要求4所述的一种烧结装置,其特征在于,所述第二安装板(62)与所述第二安装槽(52)滑动连接,所述第二安装板(62)与所述第二安装槽(52)的槽底设置空腔,所述空腔内设置与所述第二安装板(62)连接的把手(8)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201922012163.2U CN211060661U (zh) | 2019-11-20 | 2019-11-20 | 一种烧结装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201922012163.2U CN211060661U (zh) | 2019-11-20 | 2019-11-20 | 一种烧结装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN211060661U true CN211060661U (zh) | 2020-07-21 |
Family
ID=71590932
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201922012163.2U Active CN211060661U (zh) | 2019-11-20 | 2019-11-20 | 一种烧结装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN211060661U (zh) |
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2019
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