CN211000538U - 基板烘烤设备 - Google Patents
基板烘烤设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN211000538U CN211000538U CN201921515346.XU CN201921515346U CN211000538U CN 211000538 U CN211000538 U CN 211000538U CN 201921515346 U CN201921515346 U CN 201921515346U CN 211000538 U CN211000538 U CN 211000538U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- box body
- gas
- substrate
- hollow cavity
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
本实用新型提出一种基板烘烤设备,包括:第一箱体,所述基板置于所述第一箱体内,所述第一箱体设有若干个喷气组件以用于输送气体干燥所述基板;第二箱体,所述第一箱体内置于所述第二箱体内,所述第二箱体的中空腔体通过所述喷气组件与所述第一箱体的中空腔体连通,所述第二箱体设有若干连接通道;第三箱体,所述第二箱体置于所述第三箱体内,所述第三箱体的中空腔体通过所述连接通道与所述第二箱体的中空腔体连通;以及输气装置,设于所述第三箱体外部并与所述第三箱体的中空腔体连通,以提供干燥气体。本申请提供基板烘烤设备,解决了现有技术中基板的膜层厚度不均匀及发光效果不一致的技术问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及有机发光显示器领域,尤其涉及一种基板烘烤设备。
背景技术
在印刷式OLED(有机发光显示器)及QLED(量子点发光显示器)喷墨打印工艺中,喷墨打印机将功能层墨水打印在玻璃基板上,功能层墨水经过烘烤装置处理后,在玻璃基板的表面得到膜厚均一的固化层。但是,现行烘烤装置在对刚性玻璃基板或者柔性基板进行烘烤时,基板的各个位置受热不均匀,使得整个基板难以得到膜厚均匀的膜层,最终在点亮基板时,基板各区域发光效果不一致,形成视觉效果差异。
实用新型内容
本实用新型的主要目的是提供一种基板烘烤设备,旨在解决现有技术中基板的膜层厚度不均匀及发光效果不一致的技术问题。
为实现上述目的,本申请提出一种基板烘烤设备,所述设备包括:
第一箱体,所述基板置于所述第一箱体内,所述第一箱体设有若干个喷气组件以用于输送气体干燥所述基板;
第二箱体,所述第一箱体内置于所述第二箱体内,所述第二箱体的中空腔体通过所述喷气组件与所述第一箱体的中空腔体连通,所述第二箱体设有若干连接通道;
第三箱体,所述第二箱体置于所述第三箱体内,所述第三箱体的中空腔体通过所述连接通道与所述第二箱体的中空腔体连通;以及
输气装置,设于所述第三箱体外部并与所述第三箱体的中空腔体连通,以提供干燥气体。
可选地,所述喷气组件包括:若干喷气孔,所述若干喷气孔沿所述第一箱体的侧面均匀阵列,所述若干喷气孔的喷气方向朝向所述基板。
可选地,所述连接通道包括若干通气孔,所述若干通气孔沿所述第二箱体的侧面均匀阵列。
可选地,所述输气装置包括进气管,所述进气管穿设所述第三箱体以将所述干燥气体通过所述第二箱体均匀输送至所述第一箱体的中空腔体内。
可选地,所述通气孔的直径为4-10mm,所述喷气孔的直径为4-10mm。
可选地,所述输气装置输出的气体为氮气或者压缩空气。
可选地,所述设备还包括基板支撑机构,所述基板支撑机构设置在所述第一箱体内用于支撑所述基板。
可选地,所述基板支撑机构为成组设置的支撑板,一组所述支撑板设置在所述第一箱体的相对侧面,所述支撑板的一端与所述第一箱体的侧面固定连接、另一端悬空置于所述第一箱体的中空腔体内。
可选地,所述设备还包括排气管,所述排气管依次贯穿所述第三箱体、所述第二箱体后与所述第一箱体的中空腔体连通。
可选地,所述第一箱体的每一侧面均设置有所述喷气孔,所述第二箱体的每一侧面均设置有所述通气孔。
相对于现有技术,本实用新型提出的技术方案中,为了使得基板在烘烤时受热均匀,从而可以得到膜厚均匀的膜层、并保证基板各区域发光效果的一致性,设置了互相连通的第一箱体、第二箱体以及第三箱体,使得输气装置输送的干燥气体经过第三腔体以及第二腔体后能够均匀的进入到第一箱体的中空腔体内,能够从基板的各个不同侧面同时对基板进行烘烤或者是降温,使得基板各位置的干燥固化程度相对均匀,从而在基板上得到膜厚均匀的膜层,最终在点亮基板时,基板各区域的发光效果一致,不会造成视觉效果的差异。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
图1为本实用新型基板烘烤设备实施例的结构示意图一;
图2为图1中AA剖面图;
图3为本实用新型基板烘烤设备实施例的结构分解示意图;
图4为本实用新型基板烘烤设备实施例的结构示意图二;
图5为本实用新型基板烘烤设备实施例中部分透视图。
附图标号说明:
标号 | 名称 | 标号 | 名称 |
1 | 第一箱体 | 2 | 喷气组件 |
3 | 输气装置 | 4 | 第三箱体 |
5 | 第二箱体 | 6 | 基板支撑机构 |
7 | 排气管 | 8 | 连接通道 |
本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本申请的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
需要说明,本申请实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等,如果该特定姿态发生改变时,则该方向性指示也相应地随之改变。
另外,在本申请中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个,三个等,除非另有明确具体的限定。
在本申请中,除非另有明确的规定和限定,术语“连接”、“固定”等应做广义理解,例如,“固定”可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
另外,本申请各个实施例之间的技术方案可以相互结合,但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础,当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在,也不在本申请要求的保护范围之内。
如图1-图5所示,本实用新型实施例提出的一种基板烘烤设备,包括:
第一箱体1,基板置于第一箱体1内,第一箱体1设有若干个喷气组件2以用于输送气体干燥基板;
第二箱体5,第一箱体1置于第二箱体5内,第二箱体5的中空腔体通过喷气组件2与第一箱体1的中空腔体连通,第二箱体5设有若干连接通道8;
第三箱体4,第二箱体5置于第三箱体4内,第三箱体4的中空腔体通过连接通道8与第二箱体5的中空腔体连通;以及
输气装置3,设于第三箱体4外部并与第三箱体4的中空腔体连通,以提供干燥气体。
在本实施例采用的技术方案中,为了使得基板在烘烤时受热相对均匀、可以得到膜厚均匀的膜层、并保证基板各区域发光效果的一致性,设置了互相连通的第一箱体1、第二箱体5以及第三箱体4,使得输气装置3输送的干燥气体经过第三腔体4以及第二腔体5后能够均匀的进入到第一箱体1的中空腔体内,喷气组件2能够从基板的各个不同侧面同时对基板进行烘烤或者是降温,基板各位置的干燥固化程度相对均匀,从而在基板上得到膜厚均匀的膜层,最终在点亮基板时,基板各区域的发光效果一致,不会造成视觉效果的差异。具体的,为了方便基板放入第一箱体1,或者是从第一箱体1中取出,在第一箱体1设置可以拆卸的小门,既可以方便基板的取放,也不影响第一箱体1的密封性,需要说明的是,为了保证喷气组件2能够对基板的各个侧面同时进行均匀的烘烤或者是降温,在小门也设有喷气组件2。在本实施例中,第一箱体1主要是为基板的烘烤提供一个相对密封的环境,防止热量或冷量外漏;喷气组件2主要是对基板的各个侧面进行吹气,对基板进行烘烤或者是降温,根据实际情况,喷气组件2排出的气体可以为热气或冷气;输气装置3主要是为喷气组件2提供气源,输气装置3可以采用现有技术实现,只要是能满足向喷气组件2提供足够的气源即可;为了保证第一箱体1能够悬空固定在第二箱体5内、第二箱体5能够悬空固定在第三箱体4内,设置了若干个承载件(图中未标识),部分承载件的一端与第一箱体1固定连接、另一端与第二箱体5固定连接,另一部分承载件的一端与第二箱体5固定连接、另一端与第三箱体4固定连接,从而可以将第一箱体1或第二箱体5悬空,优选的,承载件为金属链或连接带,同时为了保证稳定性,在第一箱体1或第二箱体5顶面的每一个端点处均设有一个金属链或者是连接带。
需要特别说明的是,本烘烤装置在使用时,首先输气装置3将干燥的气体输送至第三箱体4内,第三箱体4内的气体通过设置在第二箱体5上的连接通道8进入第二箱体5内,使得第二箱体5内的气体相对均匀、稳定,进而经由喷气组件2均匀的到达第一箱体1内,对基板的各个侧面同时进行烘烤干燥,也就是说,通过第二箱体5以及第三箱体4这两个均压室的分配,可以保证气压和温度更加平衡稳定,从而使得喷气组件2能均匀的喷出热气,从而对第一箱体1内部的喷有功能层墨水的基板进行恒温恒压均匀烘烤,可以保证墨水层干燥后膜厚的均一性,使得基板的发光效果更佳,持续时间更长。
进一步的,参照图2、图3、图5,喷气组件2包括若干喷气孔,若干喷气孔沿第一箱体1的侧面均匀阵列,若干喷气孔的喷气方向朝向基板。
在该实施例采用的技术方案中,为了更好的对基板进行烘烤及降温,在第一箱体1的每一个侧面设置了若干个喷气孔,可以从基板的不同侧面对基板进行烘烤或者是降温,可以保证基板的各个侧面烘烤或者是降温的均匀性,以在基板获得膜厚均一的膜层,使得基板各区域的发光效果一致。具体的,第一箱体1的每一个侧面均设有喷气孔,喷气孔在第一箱体1的每一个侧面均设有若干排以及若干列,也就是说,喷气孔在第一箱体1的侧面是呈阵列均匀设置的,另外,喷气孔的设置方式比较简单,容易实现。
进一步的,参照图3、图5,连接通道8包括若干通气孔,若干通气孔沿第二箱体5的侧面均匀阵列。
在该实施例采用的技术方案中,进入第三箱体4的气体可以经由通气孔直接进入第二箱体5内,最后经喷气组件2进入第一箱体1。
在本实施方式中,所述第二箱体5的每一个侧面上均设置有通气孔,使得进入第三箱体4的气体可以更为均匀的进入第二箱体5内。
进一步的,参照图1-图5,输气装置3包括进气管,进气管穿设第三箱体4以将干燥气体通过第二箱体5均匀输送至第一箱体1的中空腔体内。
在该实施例采用的技术方案中,进气管穿设第三箱体4,用于向第三箱体4内输送干燥的气体,然后通过第二箱体5将干燥的气体均匀输送至第一箱体1的中空腔体内。在该实施方式中,为了保证第一箱体1内的干燥气体的温度足够,进气管连续不断的对第一箱体1进行输送气体。
当然,在其他实施方式中,为了便于对进气量进行控制,可以在进气管上设置阀门,当需要往第三箱体4输送干燥气体的时候,打开阀门,不需要输送气体的时候,关闭即可,这样便于进气管的气体进行控制,方便操作。同时,为了保证第一箱体1内的温度足够,可以在第一箱体1的内部设置加热组件,当第一箱体1内的干燥气体的温度不够时,可以利用加热组件对干燥气体进行加热,以达到烘烤所需要的温度,优选的,加热组件可以为加热管。
进一步的,参照图3、图5,通气孔的直径为4-10mm,喷气孔的直径为4-10mm。
在该实施例采用的技术方案中,通气孔或喷气孔的孔径大小是根据实际情况而定,其目的是防止干燥气体进入第一箱体1或第二箱体5时气流过大,优选的孔径尺寸为4-10mm。
进一步的,输气装置3输出的气体为纯净的氮气或者纯净干燥的压缩空气。
在该实施例采用的技术方案中,输气装置3可根据需求进行气体温度调节,以提供所需的温度气体,优选温度在0℃~300℃,根据实际需求可选择的气体为纯净的氮气N2或者纯净干燥的压缩空气。
进一步的,参照图2,设备还包括基板支撑机构6,基板支撑机构6设置在第一箱体1内用于支撑基板。
在该实施例采用的技术方案中,为了使得产品受热均匀的效果更好,设置了基板支撑机构6,其主要目的是将基板悬空置于第一箱体1内,以使得干燥气体能够与基板全面接触,从而使得待干燥产品能够受热均匀,基板支撑机构6的数量可以根据第一箱体1内部空间的大小或者是产线的需要来设置。
进一步的,参照图2,基板支撑机构6为成组设置的支撑板,一组支撑板设置在第一箱体1的相对侧面,支撑板的一端与第一箱体1的侧面固定连接、另一端悬空置于第一箱体1的中空腔体内,用以支撑基板。
在该实施例采用的技术方案中,为了进一步保证基板受热的均匀性,设置了多组支撑板用于支撑基板,优选的,支撑板设置在相邻的两排喷气孔之间,基板的两端置于支撑板6、其余部分悬空在第一箱体1的内部,基板的侧面正对喷气孔,也就是说,设置在第一箱体1不同侧面的喷气孔喷出的气体正好喷在对应的基板的各个侧面,不仅降低了气体沿程压力的损失,还有利于气体对基板快速烘烤,减少烘烤时间,优选的,支撑板6凸出第一箱体1侧面长度不易太长,保证能与基板部分接触即可,这样在对基板提供支撑的同时,还不会影响产品底部的受热情况。
进一步的,参照图1-图4,设备还包括排气管7,排气管7依次贯穿第三箱体4、第二箱体5后与第一箱体1的中空腔体连通。
在该实施例采用的技术方案中,排气管7用来排出第一箱体1内的气体以确保第一箱体1内的干燥气体可以一直保持相对稳定的温度,便于对基板进行有效的烘烤。可以理解的是,在本实施方式中,排气管7是一直连续不断的排出第一箱体1的气体,而进气管是连续不断的向第一箱体1内输送温度足够的干燥气体,两者相互配合,对第一箱体1内的干燥气体进行交换,以使得第一箱体1内的干燥气体始终保持足够的温度。
当然在其他实施方式中,可以在排气管7上设置一电磁阀,相对应的,进气管上也设有阀门,当进气管阀门打开用于对第一箱体1输送干燥气体的时候,电磁阀是关闭的,而当进气管阀门关闭,对第一箱体1内的干燥气体进行换气时,电磁阀打开排出第一箱体1内的气体,当第一箱体1内的气体完全排出时,关闭电磁阀,打开进气管阀门,重新为第一箱体1输送温度足够的干燥气体。
以上所述仅为本申请的优选实施例,并非因此限制本申请的专利范围,凡是在本申请的发明构思下,利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构变换,或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本申请的专利保护范围内。
Claims (10)
1.一种基板烘烤设备,其特征在于,所述设备包括:
第一箱体,所述基板置于所述第一箱体内,所述第一箱体设有若干个喷气组件以用于输送气体干燥所述基板;
第二箱体,所述第一箱体置于所述第二箱体内,所述第二箱体的中空腔体通过所述喷气组件与所述第一箱体的中空腔体连通,所述第二箱体设有若干连接通道;
第三箱体,所述第二箱体置于所述第三箱体内,所述第三箱体的中空腔体通过所述连接通道与所述第二箱体的中空腔体连通;以及
输气装置,设于所述第三箱体外部并与所述第三箱体的中空腔体连通,以提供干燥气体。
2.如权利要求1所述的基板烘烤设备,其特征在于,所述喷气组件包括:若干喷气孔,所述若干喷气孔沿所述第一箱体的侧面均匀阵列,所述若干喷气孔的喷气方向朝向所述基板。
3.如权利要求2所述的基板烘烤设备,其特征在于,所述连接通道包括若干通气孔,所述若干通气孔沿所述第二箱体的侧面均匀阵列。
4.如权利要求1所述的基板烘烤设备,其特征在于,所述输气装置包括进气管,所述进气管穿设所述第三箱体以将所述干燥气体通过所述第二箱体均匀输送至所述第一箱体的中空腔体内。
5.如权利要求3所述的基板烘烤设备,其特征在于,所述通气孔的直径为4-10mm,所述喷气孔的直径为4-10mm。
6.如权利要求1-5任一项所述的基板烘烤设备,其特征在于,所述输气装置输出的气体为氮气或者压缩空气。
7.如权利要求6所述的基板烘烤设备,其特征在于,所述设备还包括基板支撑机构,所述基板支撑机构设置在所述第一箱体内用于支撑所述基板。
8.如权利要求7所述的基板烘烤设备,其特征在于,所述基板支撑机构为成组设置的支撑板,一组所述支撑板设置在所述第一箱体的相对侧面,所述支撑板的一端与所述第一箱体的侧面固定连接、另一端悬空置于所述第一箱体的中空腔体内。
9.如权利要求8所述的基板烘烤设备,其特征在于,所述设备还包括排气管,所述排气管依次贯穿所述第三箱体、所述第二箱体后与所述第一箱体的中空腔体连通。
10.如权利要求3所述的基板烘烤设备,其特征在于,所述第一箱体的每一侧面均设置有所述喷气孔,所述第二箱体的每一侧面均设置有所述通气孔。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201921515346.XU CN211000538U (zh) | 2019-09-11 | 2019-09-11 | 基板烘烤设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201921515346.XU CN211000538U (zh) | 2019-09-11 | 2019-09-11 | 基板烘烤设备 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN211000538U true CN211000538U (zh) | 2020-07-14 |
Family
ID=71499249
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201921515346.XU Active CN211000538U (zh) | 2019-09-11 | 2019-09-11 | 基板烘烤设备 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN211000538U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115366546A (zh) * | 2021-05-21 | 2022-11-22 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 | 干燥装置 |
-
2019
- 2019-09-11 CN CN201921515346.XU patent/CN211000538U/zh active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115366546A (zh) * | 2021-05-21 | 2022-11-22 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 | 干燥装置 |
CN115366546B (zh) * | 2021-05-21 | 2024-03-29 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 | 干燥装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN211000538U (zh) | 基板烘烤设备 | |
CN103168209B (zh) | 干燥装置及热处理系统 | |
CN101862728B (zh) | 一种印刷或涂布用的烘干箱 | |
TW200411806A (en) | Device for compensating heat deviation inmodular IC test handler | |
CN206913943U (zh) | 一种用于平板打印机的加热系统 | |
KR100875907B1 (ko) | 중앙열풍공급수단이 구비된 에이징 장치 | |
CN115341197A (zh) | 喷淋冷却一体板及用于金属有机化学气相沉积的喷淋系统 | |
CN113501661A (zh) | 喷嘴及具有该喷嘴的玻璃钢化炉 | |
CN209456565U (zh) | 一种真空箱体抽气口加热装置 | |
US3551130A (en) | Apparatus for applying gas against the opposite surfaces of a sheet of glass | |
CN211142093U (zh) | 一种电热丝加工用退火炉 | |
KR100941266B1 (ko) | 흡기 및 배기 구조가 개선된 배터리 유닛 | |
CN204177151U (zh) | 一种易检测红外线热循环烘箱 | |
CN111312628B (zh) | 在显示面板制程中应用的烘烤设备 | |
CN208008877U (zh) | 电热膜镀膜设备 | |
KR102671335B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
CN112212590B (zh) | 一种制冷设备的化霜装置 | |
CN207062141U (zh) | 玻璃加热炉下对流加热系统 | |
CN103882397A (zh) | 反应腔室和磁控溅射设备 | |
CN218866035U (zh) | 防结霜传动结构及半导体测试设备 | |
US20120067861A1 (en) | Nozzle housing assembly | |
CN217884909U (zh) | 一种月饼烘烤设备 | |
CN220129745U (zh) | 丝网印刷烘干机及循环加热系统 | |
CN220044738U (zh) | 一种温度自适应调节的汉堡胚醒发箱 | |
CN215960557U (zh) | 一种具有保温功能的内瘘保护罩 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |