CN210982670U - 一种霍尔晶圆测试装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于晶圆检测装置，为了解决现有技术中测试霍尔晶圆的手动探针台无法同时测试获得磁场系数的技术问题，提供一种霍尔晶圆测试装置，包括基座、显微镜、磁场发生器、高斯计、移动平台、支座和安装于基座上的支架；显微镜安装于支架上，移动平台固定于基座1上，移动平台上设有放置待测晶圆的置物台；磁场发生器安装于支座上；磁场发生器包括无磁性金属框架，无磁性金属框架的中心处开设通孔，通孔的外围设有中空的圆柱形凸台；圆柱形凸台内盘绕有铜线，铜线的两端连接有通电装置；显微镜的镜头位于通孔的正上方，通孔和放置待测晶圆的置物台相对，待测晶圆位于圆柱形凸台的正下方；高斯计的探头放置于待测晶圆上。
Description
技术领域
本实用新型属于晶圆检测装置，具体涉及一种霍尔晶圆测试装置。
背景技术
近年来，集成电路行业快速发展，对相应的测试装置要求越来越高，一种装置往往需要测试多个参数。目前主要是采用手动探针台进行测试，但现有常用的手动探针台，在测量霍尔晶圆时，无法同时测试磁场系数，往往需要购买专业的设备，或是到封测厂测试，会导致成本增加。现有手动探针台工作原理是，将晶圆放置在移动平台上，通过显微镜观察到芯片测试位置，然后通过调整探针来连接芯片的测试位置，探针的另一端与测试仪器相连接，调整仪器参数，进而达到测试芯片的参数。
因此，亟需一种能够在测试霍尔晶圆的同时也对磁场系数进行测试的装置。
实用新型内容
本实用新型为了解决现有技术中测试霍尔晶圆的手动探针台无法同时测试获得磁场系数的技术问题，提供霍尔晶圆测试装置。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种霍尔晶圆测试装置，其特殊之处在于，包括基座、显微镜、磁场发生器、高斯计、移动平台、支座和安装于基座上的支架；所述显微镜安装于支架上，移动平台固定于基座上，移动平台上设有放置待测晶圆的置物台；磁场发生器安装于支座上；所述磁场发生器包括无磁性金属框架，无磁性金属框架的中心处开设通孔，通孔的外围设有中空的圆柱形凸台；所述圆柱形凸台内盘绕有铜线，所述铜线的两端连接有通电装置；所述显微镜的镜头位于通孔的正上方，通孔和放置待测晶圆的置物台相对，待测晶圆位于圆柱形凸台的正下方；高斯计的探头放置于待测晶圆上。
进一步地，还包括安装于基座的真空吸附装置，所述置物台中心处设有至少一个连通孔，真空吸附装置的吸附端穿过所述连通孔至待测晶圆下方，保证放置在置物台上的待测晶圆稳定固定，保证测量精度。
进一步地，所述无磁性金属框架为无磁性金属圆盘。
进一步地，所述所述无磁性金属框架为铝制圆盘，无磁性金属框架固定于铝板上，所述铝板搭放于支座上，铝制材质更轻且能有效控制成本。
进一步地，所述移动平台为丝杠驱动的三向移动平台。
进一步地，所述显微镜夹持安装于支架上。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1.本实用新型的霍尔晶圆测试装置，通过通电装置为盘绕在无磁性金属框架上的铜线通电，产生磁场，通过显微镜穿过通孔可以观察位于置物台上的待测晶圆，使用高斯计测试磁场大小，移动平台便于调整待测晶圆的位置，使观察更加方便准确，本实用新型的装置结构简单巧妙，制作简单且精度高。
2.本实用新型通过真空吸附装置，能够在不影响磁场的情况下保证待测晶圆的牢靠固定，进一步保证测试结果而定准确性。
3.本实用新型的无磁性金属框架采用铝制圆盘，节约成本的同时降低磁场发生器的重量。
4.本实用新型的移动平台通过丝杠驱动，更加便于操作；三向移动平台使移动更加灵活，操作更加方便。
5.本实用新型的显微镜夹持安装于支架上，便于调整显微镜的高低位置，使用更加灵活方便。
附图说明
图1为本实用新型霍尔晶圆测试装置一种实施例的结构示意图；
图2为图1中磁场发生器的结构示意图；
图3为图1中磁场发生器的安装结构示意图
其中，1-基座、2-显微镜、3-磁场发生器、301-无磁性金属框架、302-通孔、303-圆柱形凸台、304-铝板、4-移动平台、5-支座、6-支架、7-高斯计、8-真空吸附装置。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例并非对本实用新型的限制。
本实用新型的霍尔晶圆测试装置利用磁场发生器3产生磁场，通过显微镜2透过通孔302观察位于移动平台4上的待测晶圆，同时通过高斯计7得到磁场大小的数值。该测试装置制作简单且结果准确，同时又能够得到磁场相关的数值结果。
实施例一
如图1、图2和图3，一种霍尔晶圆测试装置，包括基座1、显微镜2、磁场发生器3、高斯计7、移动平台4、支座5和安装于基座1上的支架6；显微镜2安装于支架6上，移动平台4固定于基座1上，移动平台4上设有放置待测晶圆的置物台；磁场发生器3安装于支座5上；磁场发生器3包括无磁性金属框架301，无磁性金属框架301的中心处开设通孔302，通孔302的外围设有中空的圆柱形凸台303；圆柱形凸台303内盘绕有铜线，铜线的两端连接有通电装置；显微镜2的镜头位于通孔302的正上方，通孔302和放置待测晶圆的置物台相对；高斯计7的探头放置于待测晶圆上。
实施例二
如图1、图2和图3，一种霍尔晶圆测试装置，包括基座1、显微镜2、磁场发生器3、高斯计7、移动平台4、支座5，以及安装于基座1上的支架6和真空吸附装置8；显微镜2安装于支架6上，移动平台4固定于基座1上，移动平台4上设有放置待测晶圆的置物台；磁场发生器3安装于支座5上；其中，磁场发生器3包括无磁性金属框架301，无磁性金属框架301的中心处开设通孔302，通孔302的外围设有中空的圆柱形凸台303；圆柱形凸台303内盘绕有铜线，铜线的两端连接有通电装置；显微镜2的镜头位于通孔302的正上方，通孔302和放置待测晶圆的置物台相对，真空吸附装置8的吸附端与所述置物台相连；高斯计7的探头放置于待测晶圆上。
实施例三
一种霍尔晶圆测试装置，包括基座1、显微镜2、磁场发生器3、高斯计7、移动平台4、支座5，以及安装于基座1上的支架6和真空吸附装置8；显微镜2安装于支架6上，移动平台4固定于基座1上，移动平台4上设有放置待测晶圆的置物台；磁场发生器3安装于支座5上；其中，磁场发生器3包括铝制圆盘，铝制圆盘的中心处开设通孔302，通孔302的外围设有中空的圆柱形凸台303，铝制圆盘固定于铝板304上，所述铝板304搭放于支座5上；圆柱形凸台303内盘绕有铜线，铜线的两端连接有通电装置；显微镜2的镜头位于通孔302的正上方，通孔302和放置待测晶圆的置物台相对，真空吸附装置8的吸附端与所述置物台相连；高斯计7的探头放置于待测晶圆上。
实施例四
一种霍尔晶圆测试装置，包括基座1、显微镜2、磁场发生器3、高斯计7、三向移动平台、支座5，以及安装于基座1上的支架6和真空吸附装置8；显微镜2夹持安装于支架6上，三向移动平台固定于基座1上，三向移动平台上设有放置待测晶圆的置物台，其中，三向移动平台的各向均可通过丝杠驱动传动，其他的移动形式也可使用，只要能使置于所述置物台上的待测晶圆实现三向移动即可；磁场发生器3安装于支座5上；其中，磁场发生器3包括铝制圆盘，铝制圆盘的中心处开设通孔302，通孔302的外围设有中空的圆柱形凸台303，铝制圆盘固定于铝板304上，所述铝板304搭放于支座5上；圆柱形凸台303内盘绕有铜线，铜线的两端连接有通电装置；显微镜2的镜头位于通孔302的正上方，通孔302和放置待测晶圆的置物台相对，真空吸附装置8的吸附端与所述置物台相连；高斯计7的探头放置于待测晶圆上。所以需在在此基础上改进装置产生磁场，达到测试霍尔晶圆的目的。
上述盘绕的铜线大小需要可预先仿真和计算。铜线线圈的高度，直径都是根据待测霍尔晶圆的磁场需求来制作，铜线盘绕后可胶封。另外，铝板也可以用铜板替代，只要为无磁性金属既可。
以上所述仅为本实用新型的实施例，并非对本实用新型保护范围的限制，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (6)
1.一种霍尔晶圆测试装置，其特征在于：包括基座(1)、显微镜(2)、磁场发生器(3)、高斯计(7)、移动平台(4)、支座(5)和安装于基座(1)上的支架(6)；
所述显微镜(2)安装于支架(6)上，移动平台(4)固定于基座(1)上，移动平台(4)上设有放置待测晶圆的置物台；磁场发生器(3)安装于支座(5)上；
所述磁场发生器(3)包括无磁性金属框架(301)，无磁性金属框架(301)的中心处开设通孔(302)，通孔(302)的外围设有中空的圆柱形凸台(303)；所述圆柱形凸台(303)内盘绕有铜线，所述铜线的两端连接有通电装置；
所述显微镜(2)的镜头位于通孔(302)的正上方，通孔(302)和放置待测晶圆的置物台相对，待测晶圆位于圆柱形凸台(303)的正下方；高斯计(7)的探头放置于待测晶圆上。
2.如权利要求1所述一种霍尔晶圆测试装置，其特征在于：还包括安装于基座(1)的真空吸附装置(8)，所述置物台中心处设有至少一个连通孔，真空吸附装置(8)的吸附端穿过所述连通孔至待测晶圆下方。
3.如权利要求2所述一种霍尔晶圆测试装置，其特征在于：所述无磁性金属框架(301)为无磁性金属圆盘。
4.如权利要求3所述一种霍尔晶圆测试装置，其特征在于：所述无磁性金属框架(301)为铝制圆盘，无磁性金属框架(301)固定于铝板(304)上，所述铝板(304)搭放于支座(5)上。
5.如权利要求3或4所述一种霍尔晶圆测试装置，其特征在于：所述移动平台(4)为丝杠驱动的三向移动平台。
6.如权利要求5所述一种霍尔晶圆测试装置，其特征在于：所述显微镜(2)夹持安装于支架(6)上。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201921628480.0U CN210982670U (zh) | 2019-09-27 | 2019-09-27 | 一种霍尔晶圆测试装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN210982670U true CN210982670U (zh) | 2020-07-10 |
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ID=71415471
Family Applications (1)
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| CN201921628480.0U Active CN210982670U (zh) | 2019-09-27 | 2019-09-27 | 一种霍尔晶圆测试装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
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2019
- 2019-09-27 CN CN201921628480.0U patent/CN210982670U/zh active Active
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