CN210982194U - 半导体检测用光学显微镜 - Google Patents
半导体检测用光学显微镜 Download PDFInfo
- Publication number
- CN210982194U CN210982194U CN201921620114.0U CN201921620114U CN210982194U CN 210982194 U CN210982194 U CN 210982194U CN 201921620114 U CN201921620114 U CN 201921620114U CN 210982194 U CN210982194 U CN 210982194U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- optical microscope
- light source
- connecting rod
- semiconductor
- cavity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
本实用新型公开了半导体检测用光学显微镜，包括底座，在底座上固定有立柱和放置半导体的工作台，工作台位于立柱一侧.工作台上凹设有光源腔，光源腔内设置有检测光源，光源腔开口处设置有用于将检测光源的光线充分散射的折射板。光源腔四周环绕设置有若干压紧半导体的固定装置，固定装置包括手柄、固定座、连杆和压紧块，固定座可拆卸固定在工作台上，连杆可相对固定座上下翻转，连杆一端与手柄连接，另一端与压紧块固结。立柱上设置有可沿其上下滑动的定位架，定位架上固定有光学显微镜，光学显微镜的目镜螺纹连接有CCD相机，光学显微镜的物镜朝向折射板。固定装置结构简单，可对半导体进行快速定位，方便半导体检测。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体测试装置，特别涉及半导体测试用光学显微镜。
背景技术
对半导体材料内部缺陷的检测，是半导体工艺质量控制的常规手段，也是衡量和评价半导体质量的重要标准之一，其内部缺陷主要指内部的杂质、包裹体等。半导体在检测过程中必然会使用到光学显微镜，光学显微镜可快速定位半导体表面缺陷。光学显微镜使用光的反射或散射来检测半导体表面缺陷，由于缺陷会导致半导体表面不平整，进而表现出对光不同的反射、散射效应。根据对收到的来半导体表面的光信号进行处理，光学显微镜就可以定位缺陷的位置。光学显微镜具有高速成像，成本经济的特点，是目前工艺下的一种主要的缺陷检测技术。
半导体质量轻，容易发生晃动，影响检测效果。现有半导体检测用显微镜，缺少对半导体的固定装置，检测效果不佳，且光学显微镜镜头只可通过自身细调焦距。
实用新型内容
为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种半导体检测用光学显微镜。
为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：半导体检测用光学显微镜，包括底座，在底座上固定有立柱和放置半导体的工作台，工作台位于立柱一侧，其特征在于：工作台上凹设有光源腔，光源腔内设置有检测光源，光源腔开口处设置有用于将检测光源的光线充分散射的折射板，光源腔四周环绕设置有若干压紧半导体的固定装置，固定装置包括手柄、固定座、连杆和压紧块，固定座可拆卸固定在工作台上，连杆可相对固定座上下翻转，连杆一端与手柄连接，另一端与压紧块固结；立柱上设置有可沿其上下滑动的定位架，定位架上固定有光学显微镜，光学显微镜的目镜螺纹连接有CCD相机，光学显微镜的物镜朝向折射板。
本实用新型的有益效果是，半导体通过固定装置固定在检测光源上方，固定装置结构简单，可对半导体进行快速定位，方便半导体检测；且光学显微镜可随定位架上下移动，进行粗调。
优选地，压紧块包括与连杆可拆卸连接的的连接杆，连接杆底部可拆卸连接有滑座，滑座内形成空腔，空腔内设置有可沿其上下滑动的压头，空腔内设置有弹簧，弹簧一端固定在空腔底部，一端管固定在压头上。压头在弹簧作用下沿空腔滑动，利用弹簧的弹力进行弹性压附定位，避免定位部件变形。
优选地，压头与半导体接触面设置有缓冲橡胶。
优选地，定位架包括套设于立柱上的套筒和与套筒固结的支撑架，支撑架与套筒为一体式结构，光学显微镜固结在支撑架上，套筒上设置有将套筒锁紧在立柱上的锁紧螺钉，定位架可沿立柱上下滑动，进行粗调。
优选地，套筒和支撑架间设置有若干加强筋，加强筋一端固结在套筒上，另一端与支撑架固结，提高稳定性。
优选地，立柱上设置有显示定位架移动距离的刻度线。
附图说明
图1为本实施例的结构示意图；
图2为本实施例中固定装置结构示意图；
图3为本实例中压紧块剖视图。
图中：
1-底座，2-立柱，21-刻度线，3-工作台，4-光源腔，5-检测光源，6-折射板，7-固定装置，71-手柄，72-固定座，73-连杆，74-压紧块，74a-连接杆，74b-滑座，74c-空腔，74d-压头，74e-弹簧，81-套筒，82-支撑架，83-加强筋，9-光学显微镜，91-目镜，92-物镜，10-CCD相机。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
参见附图1所示，本实施例中的半导体检测用光学显微镜9，包括底座1，在底座1上固定有立柱2和放置半导体的工作台3，工作台3位于立柱2一侧。立柱2上设置有可沿其上下滑动的定位架，定位架上固定有光学显微镜9，光学显微镜9可在定位架带动下进行粗调。光学显微镜9的目镜91螺纹连接有CCD相机10，CCD相机10通信连接有检测电脑。光学显微镜9的物镜92朝向工作台3，光学显微镜9还包括一个方便操作者观察的第二目镜和调距旋钮，操作者可调节调距旋钮对焦距进行细微的焦距调整。
定位架包括套设于立柱2上的套筒81和与套筒81固结的支撑架82，支撑架82与套筒81为一体式结构，光学显微镜9固结在支撑架82上。套筒81上设置有将套筒81锁紧在立柱2上的锁紧螺钉，定位架可沿立柱2上下滑动，进行粗调。立柱2上设置有显示定位架移动距离的刻度线21，套筒81和支撑架82间设置有若干加强筋83，加强筋83一端固结在套筒81上，另一端与支撑架82固结，提高稳定性。
工作台3上凹设有光源腔4，光源腔4内设置有检测光源5，检测光源5可为普通光源检测透明半导体，也可为红外线光源，检测不透明的半导体。光源腔4开口朝上，光源腔4开口处设置有用于将检测光源5的光线充分散射的折射板6，折射板6大于光源腔4开口，抵靠在工作台3上。光学显微镜9的物镜92中心线和光源腔4的中心线重合。光源腔4四周环绕设置有若干压紧半导体的固定装置7，固定装置7包括手柄71、固定座72、连杆73和压紧块74，固定座72可拆卸固定在工作台3上，固定座72通过螺栓固定在工作台3上。连杆73与固定座72铰接，可相对固定座72上下翻转，连杆73一端与手柄71连接，手柄71与固定座72铰接，连杆73另一端与压紧块74固结。固定装置7利用杠杆原理，下压手柄71，连杆73向下翻转，进而带动压紧块74向下压紧半导体；抬起手柄71，连杆73向上翻转，按压快即可脱离半导体，实现对半导体的快速定位。
压紧块74包括与连杆73可拆卸连接的连接杆74a，连接杆74a通过螺栓固定在连杆73上，连接杆74a与连杆73垂直设置。连接杆74a底部可拆卸连接有滑座74b，滑座74b与连接杆74a螺纹连接。滑座74b内形成空腔74c，空腔74c内设置有可沿其上下滑动的压头74d，空腔74c内设置有弹簧74e，弹簧74e一端固定在空腔74c底部，一端管固定在压头74d上。压头74d在弹簧74e作用下沿空腔74c滑动，利用弹簧74e的弹力进行弹性压附定位，避免定位部件变形。压头74d与半导体接触面设置有缓冲橡胶。
以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
Claims (6)
1.半导体检测用光学显微镜，包括底座(1)，在所述底座(1)上固定有立柱(2)和放置半导体的工作台(3)，所述工作台(3)位于立柱(2)一侧，其特征在于：所述工作台(3)上凹设有光源腔(4)，所述光源腔(4)内设置有检测光源(5)，所述光源腔(4)开口处设置有用于将检测光源(5)的光线充分散射的折射板(6)，所述光源腔(4)四周环绕设置有若干压紧半导体的固定装置(7)，所述固定装置(7)包括手柄(71)、固定座(72)、连杆(73)和压紧块(74)，所述固定座(72)可拆卸固定在工作台(3)上，所述连杆(73)可相对固定座(72)上下翻转，所述连杆(73)一端与手柄(71)连接，另一端与压紧块(74)固结；所述立柱(2)上设置有可沿其上下滑动的定位架，所述定位架上固定有光学显微镜(9)，所述光学显微镜(9)的目镜(91)螺纹连接有CCD相机(10)，所述光学显微镜(9)的物镜(92)朝向折射板(6)。
2.根据权利要求1所述的半导体检测用光学显微镜，其特征在于：所述压紧块(74)包括与连杆(73)可拆卸连接的连接杆(74a)，所述连接杆(74a)底部可拆卸连接有滑座(74b)，所述滑座(74b)内形成空腔(74c)，所述空腔(74c)内设置有可沿其上下滑动的压头(74d)，所述空腔(74c)内设置有弹簧(74e)，所述弹簧(74e)一端固定在空腔(74c)底部，一端管固定在压头(74d)上。
3.根据权利要求2所述的半导体检测用光学显微镜，其特征在于：所述压头(74d)与半导体接触面设置有缓冲橡胶。
4.根据权利要求1所述的半导体检测用光学显微镜，其特征在于：所述定位架包括套设于立柱(2)上的套筒(81)和与套筒(81)固结的支撑架(82)，所述支撑架(82)与套筒(81)为一体式结构，所述光学显微镜(9)固结在支撑架(82)上，所述套筒(81)上设置有将套筒(81)锁紧在立柱(2)上的锁紧螺钉。
5.根据权利要求4所述的半导体检测用光学显微镜，其特征在于：所述套筒(81)和支撑架(82)间设置有若干加强筋(83)，所述加强筋(83)一端固结在套筒(81)上，另一端与支撑架(82)固结。
6.根据权利要求1所述的半导体检测用光学显微镜，其特征在于：所述立柱(2)上设置有显示定位架(8)移动距离的刻度线(21)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921620114.0U CN210982194U (zh) | 2019-09-26 | 2019-09-26 | 半导体检测用光学显微镜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921620114.0U CN210982194U (zh) | 2019-09-26 | 2019-09-26 | 半导体检测用光学显微镜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN210982194U true CN210982194U (zh) | 2020-07-10 |
Family
ID=71418999
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201921620114.0U Active CN210982194U (zh) | 2019-09-26 | 2019-09-26 | 半导体检测用光学显微镜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN210982194U (zh) |
-
2019
- 2019-09-26 CN CN201921620114.0U patent/CN210982194U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN114777716B (zh) | 一种镜片厚度检测仪 | |
| CN114440782A (zh) | 一种轴承游隙检测装置及检测方法 | |
| CN210982194U (zh) | 半导体检测用光学显微镜 | |
| CN112414681B (zh) | 一种智能无线通信设备安装检测方法 | |
| CN220120529U (zh) | 一种陶瓷表面耐划痕试验设备 | |
| CN210487909U (zh) | 一种电路板检测工装 | |
| CN205426672U (zh) | 一种铸造型砂强度的测试装置 | |
| CN218003494U (zh) | 一种与芯片测试机台基座配套的夹具 | |
| CN216247721U (zh) | 一种背光外观自动检测设备 | |
| CN214842924U (zh) | 一种光学镜片厚度检测装置 | |
| CN213517245U (zh) | 一种pcb电路板检测用治具 | |
| CN113739743B (zh) | 一种连杆自动测量机 | |
| CN212363938U (zh) | 一种便于调节测试强度的高精度手机显示屏抗压测试装置 | |
| CN213090840U (zh) | 一种手机中板螺母焊接虚焊检测机 | |
| CN220650004U (zh) | 一种检笔机 | |
| CN213120418U (zh) | 一种工件检测用二次元投影仪 | |
| CN216955694U (zh) | 一种可以快速复位的相机支架 | |
| CN213037736U (zh) | 一种食品菌落检测台 | |
| CN220542646U (zh) | 一种压力测试工作台 | |
| CN220490350U (zh) | 一种用于检测线扫镜头性能的自动检测台 | |
| CN214893128U (zh) | 一种新型的三维检测设备 | |
| CN214334219U (zh) | 切割机刀头关键零部件检测装置 | |
| CN212372007U (zh) | 一种探针卡用螺丝紧固装置 | |
| CN221326168U (zh) | 一种尼龙粒子制品用强度测试装置 | |
| CN220819619U (zh) | 一种胶管压力检测设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |