CN210964147U - 一种蓝宝石抛光液过滤循环装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种蓝宝石抛光液过滤循环装置，包括抛光盘和过滤装置，其特征在于：所述过滤装置包括集液桶、固定机构以及过滤机构，所述过滤机构包括过滤支架环和与支架环相连的过滤网袋，所述过滤机构通过固定机构固定在集液桶上，所述过滤装置通过进液管道与抛光盘相连，所述集液桶侧面设有一排液口，所述排液口上设有出液管道，所述出液管道上设有抽液泵，所述出液管道与抛光盘相连。本实用新型通过固定装置和过滤网袋能够轻易更换，且成本较低，通过过滤网袋过滤时的摆动，结晶不容易堵塞网孔，能够在蓝宝石生产过程中大大降低生产成本，且固定装置易安装拆卸，更换方便。
Description
技术领域
本实用新型涉及蓝宝石生产领域，具体涉及一种蓝宝石抛光液过滤循环装置。
背景技术
蓝宝石化学机械抛光的主要作用是去除上段(单面研磨)的晶片表面轻微划痕。在超细抛光磨料的作用下，受到一定压力的晶片与抛光垫相互高速旋转运动，借助磨料的机械作用和化学腐蚀作用来进行磨削。循环使用后的抛光液含有大量结晶物、蓝宝石碎片等硬质物，在机械抛光过程中，可能造成晶片的划伤、爆盘等问题。所以抛光浆料的过滤系统就必不可少。专利CN 208287615 U将过滤分为粗滤和细滤两个阶段，有很好的过滤效果。该方案的问题在于，为避免滤网堵塞，该专利采用震动的方式破碎滤网中的大颗粒，但滤出的结晶物杂质也容易因震动破碎而重新回流滤液，因此这种方式实际过滤效果并不理想。相比较于振动过滤，利用颗粒本身的重力完成过滤是一种常见的方法。专利CN 206010831 U中巧妙的利用颗粒物较重易沉淀的特点，经济高效的完成了抛光液中颗粒杂质的过滤，但是在该专利中，沉积于池底的杂质不便及时清理。同样是利用重力过滤，在专利CN207562435 U中，抛光液从过滤装置上部流入，经过装置内部的水平滤网，最后从底部流出。该过滤装置过滤高效，且过滤网可更换。但该装置成本较高，且更换过滤网的开孔在筒体一侧，更换较费力，另外该专利并没有考虑到如何实时观察滤网的堵塞状况这一问题。为了解决上述专利存在的问题，我们发明了一种简易、低成本、高效率的过滤装置。
实用新型内容
发明目的：针对现有技术中存在的问题，本实用新型提供了蓝宝石抛光液过滤循环装置。
技术方案：实现本实用新型目的的技术解决方案为，一种蓝宝石抛光液过滤循环装置，包括抛光盘和过滤装置，所述过滤装置包括集液桶、固定机构以及过滤机构，所述过滤机构包括过滤支架环和与支架环相连的过滤网袋，所述过滤机构通过固定机构固定在集液桶上，所述过滤装置通过进液管道与抛光盘相连，所述集液桶侧面设有一排液口，所述排液口上设有出液管道，所述出液管道上设有抽液泵，所述出液管道与抛光盘相连。
进一步地，所述固定机构包括防滑凸起圆周以及锥形固定支架，所述锥形固定支架分别与进液管道和过滤支架环相连，所述过滤支架环设在防滑凸起圆周内。所述集液桶上设有桶盖，所述固定机构设在桶盖上。所述锥形固定支架上设有一开孔。
与上述固定机构并列的优选方案为：所述固定机构包括固定支架环和与固定支架环相连的固定手柄，所述固定手柄呈“F”型，通过固定手柄卡合在集液桶的桶身上，所述固定支架环的圆周直径小于过滤支架环圆周直径，过滤支架环套接在固定支架环上。所述固定支架环的圆环直径小于过滤支架圆形环的直径5～10mm。
进一步地，所述过滤网袋采用尼龙制成的过滤网袋，过滤支架环为尼龙支架环；所述过滤支架环与过滤网袋采用热熔连接。所述过滤网袋中的过滤网孔径为70～100目，长*宽为120*80mm～200*120mm；所述过滤支架环圆环直径80～120mm；所述过滤网袋为双层或者多层过滤网。
有益效果：通过本实用新型所构思的上述技术方案，与现有技术相比，具有如下有益的效果：
本实用新型在保证过滤质量的前提下解决了因滤芯易堵塞的问题，进而降低了潜在的因滤芯堵塞而起的，诸晶片划伤，干抛，异常停机甚至爆盘等问题。
本实用新型通过固定装置和过滤网袋能够轻易更换，且成本较低，通过过滤网袋过滤时的摆动，结晶不容易堵塞网孔，能够在蓝宝石生产过程中大大降低生产成本，且固定装置易安装拆卸，更换方便。
本实用新型能够将过滤后的抛光液进行即时循环利用，能够使得抛光液连续循环利用，大大提高使用效率。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为过滤装置的结构示意图。
图3为实施例一的固定机构的结构示意图。
图4为过滤机构的结构示意图。
图5为实施例二中的固定机构的结构示意图。
图6是实施例二固定机构结构放大示意图。
其中，集液桶盖1，过滤支架环2，过滤网袋3，集液桶4，排液口5，进液管道6，锥形固定支架7，开孔8，防滑凸起圆周9，抽液泵10，出液管道11，抛光盘12，固定手柄13，固定支架环14。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的详细描述。
如图1所示，蓝宝石抛光液过滤循环装置，包括抛光盘和过滤装置，所述过滤装置包括集液桶4、固定机构以及过滤机构，所述过滤机构包括过滤支架环2和与过滤支架环2相连的过滤网袋3，所述过滤机构通过固定机构固定在集液桶4上，所述过滤装置通过进液管道6与抛光盘12相连，所述集液桶4侧面设有一排液口5，所述排液口5上设有出液管道11，所述出液管道11上设有抽液泵10，所述出液管道11与抛光盘12相连。
本具体实施方式中，固定机构有两种结构，具体如下：
如图2～4所示，实施例1中的固定机构的结构如下：包括防滑凸起圆周9以及锥形固定支架7，所述锥形固定支架7分别与进液管道6和过滤支架环2相连，所述集液桶4上设有桶盖，所述固定机构设在桶盖上，所述集液桶盖1中心有圆形开孔，孔直径略小于过滤支架环2直径，过滤支架环2固定套接在集液桶盖1中心有圆形开孔上。所述过滤支架环2设在防滑凸起圆周9内。防滑圆周半径略大于进液装置底部直径，能够限制过滤支架环2的滑动，但可以与集液桶盖1上下分离拆卸；所述锥形固定支架7上设有一开孔8，有利空气对流。
如图5和6所示，实施例2的固定机构结构如下：包括固定支架环14和与固定支架环14相连的固定手柄13，所述固定手柄13呈“F”型，通过固定手柄13卡合在集液桶4的桶身上，所述固定支架环14的圆周直径小于过滤支架环2圆周直径，过滤支架环2套接在固定支架环14上。所述固定支架环14的圆环直径小于过滤支架环2圆形环的直径5～10mm。固定支架环14直径100mm。最后将带有卡扣功能的固定手柄安装在集液桶4壁，使用时只需将过滤网袋放入固定支架环14即可固定，集液桶4可以安装桶盖，也可不安装桶盖。
集液桶4、集液桶盖1和进液管道6均为透明材质，优选玻璃和PVC，通过透明材质，能够随时观察过滤网袋3的堵塞状况可及时更换滤网。过滤网袋3采用尼龙制成的过滤网袋3，过滤支架环2为尼龙支架环；所述过滤支架环2与过滤网袋3采用热熔连接。所述过滤网袋3中的过滤网孔径为70～100目，优选的，过滤网孔径75目，长*宽为120*80mm～200*120mm；所述过滤支架环圆环直径80～120mm；所述过滤网袋为双层或者多层过滤网。
本实施方式中，进液管道6与抛光盘直接相连，受重力作用，抛光液经过滤网袋3流入集液桶4，该过程完成了过滤液的过滤。在过滤装置正常工作中，实时观察过滤网袋3堵塞情况。当颗粒较多堆积在滤网时，暂停过滤，取下进液装置，清洁滤网或更换过滤网袋，最后再将过滤网袋放回原位，再次组装完毕后继续过滤。排液口5与机械抛光盘12进液口相连，待过滤抛光液在该装置中完成过滤后经排液口5被抽液泵抽10回抛光盘12。实现循环高效的利用，避免了以往滤芯的堵塞。
采用本实用新型专利后，以每年年产240万片蓝宝石衬底为例，全年消耗的滤袋数量仅为100个，总成本800元，抛光站返工率10.87％；而使用传统的熔喷式滤芯过滤时，滤芯每年消耗3.3万个，总成本49.5万元，返工率14.33％。由此可见，该装置极大地降低了过滤成本，提高了滤液品质，有着很高的使用价值。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出：对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (10)
1.一种蓝宝石抛光液过滤循环装置，包括抛光盘和过滤装置，其特征在于：所述过滤装置包括集液桶、固定机构以及过滤机构，所述过滤机构包括过滤支架环和与过滤支架环相连的过滤网袋，所述过滤机构通过固定机构固定在集液桶上，所述过滤装置通过进液管道与抛光盘相连，所述集液桶侧面设有一排液口，所述排液口上设有出液管道，所述出液管道上设有抽液泵，所述出液管道与抛光盘相连。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石抛光液过滤循环装置，其特征在于：所述固定机构包括防滑凸起圆周以及锥形固定支架，所述锥形固定支架分别与进液管道和过滤支架环相连，所述过滤支架环设在防滑凸起圆周内。
3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石抛光液过滤循环装置，其特征在于：所述固定机构包括固定支架环和与固定支架环相连的固定手柄，所述固定手柄呈“F”型，通过固定手柄卡合在集液桶的桶身上，所述固定支架环的圆周直径小于过滤支架环圆周直径，过滤支架环套接在固定支架环上。
4.根据权利要求2所述的一种蓝宝石抛光液过滤循环装置，其特征在于：所述集液桶上设有桶盖，所述固定机构设在桶盖上。
5.根据权利要求4所述的一种蓝宝石抛光液过滤循环装置，其特征在于：所述锥形固定支架上设有一开孔。
6.根据权利要求3所述的一种蓝宝石抛光液过滤循环装置，其特征在于：所述固定支架环的圆环直径小于过滤支架环圆形环的直径5～10mm。
7.根据权利要求1所述的一种蓝宝石抛光液过滤循环装置，其特征在于：所述过滤网袋采用尼龙制成的过滤网袋，过滤支架环为尼龙支架环。
8.根据权利要求7所述的一种蓝宝石抛光液过滤循环装置，其特征在于：所述过滤支架环与过滤网袋采用热熔连接。
9.根据权利要求1所述的一种蓝宝石抛光液过滤循环装置，其特征在于：所述过滤网袋中的过滤网孔径为70～100目，长*宽为120*80mm～200*120mm；所述过滤支架环圆环直径80～120mm。
10.根据权利要求1所述的一种蓝宝石抛光液过滤循环装置，其特征在于：所述过滤网袋为双层或者双层以上的过滤网。
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