CN210945858U - 一种坩埚保护装置及带保护装置的硅芯铸锭炉坩埚 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种坩埚保护装置及带保护装置的硅芯铸锭炉坩埚，包括：依次首尾相接的坩埚长护板和坩埚短护板，所述坩埚长护板和坩埚短护板拼接为长方形的框体结构，坩埚长护板，由至少三块拼结板构成，相邻拼结板的连接处设置有连接板，所述连接板与坩埚长护板固定；坩埚短护板，设于坩埚长护板之间且两端与坩埚长护板相接。本实用新型的拼接结构的设计使得在高温条件下不易变形，便于安装，节约人力适合推广应用。
Description
技术领域
本实用新型属于多晶技术领域，涉及一种坩埚保护装置及带保护装置的硅芯铸锭炉坩埚。
背景技术
硅芯铸锭炉是多晶硅转化为多晶硅芯工艺过程中的必要设备。多晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的多晶材料之一。
硅芯铸锭炉是多晶硅转化为多晶硅芯工艺过程中的必备设备，现有技术中的硅芯铸锭炉用坩埚护板保护装置的作用如下：在硅芯铸锭过程中，通过坩埚护板保护装置更好的保护长方形石英坩埚在作业过程中变形量大而损坏。但是现有技术中的保护装置具备下述缺陷：1、坩埚长护板长度太长，整体加工难度大，易损坏，安装也不方便；2、如若硅芯铸锭炉用坩埚护板保护装置都是采用一个长护板一体加工而成，容易造成坩埚护板加工成本高，安装困难；3、长方形的硅芯铸锭炉在生产过程中的高温情况下，长度和宽度方向上的变形量不同，长度方向上如果是一个长护板构成，容易易损坏，使用寿命较短。
综上所述，为解决现有的隔热笼结构上的不足，本实用新型设计了一种结构合理的拼接结构、不易变形、使用效果好的坩埚保护装置及带保护装置的硅芯铸锭炉坩埚。
发明内容
本实用新型为解决现有技术存在的问题，提供了一种结构合理的拼接结构、不易变形、使用效果好的坩埚保护装置及带保护装置的硅芯铸锭炉坩埚。
本实用新型的目的可通过以下技术方案来实现：一种坩埚保护装置，包括：依次首尾相接的坩埚长护板和坩埚短护板，所述坩埚长护板和坩埚短护板拼接为长方形的框体结构，
坩埚长护板，由至少三块拼结板构成，相邻拼结板的连接处设置有连接板，所述连接板与坩埚长护板固定；
坩埚短护板，设于坩埚长护板之间且两端与坩埚长护板相接。
作为进一步的改进，所述坩埚长护板之间设置有拉杆，所述拉杆的端部穿过坩埚长护板并通过螺母与坩埚长护板固定。
作为进一步的改进，所述拼接板与拼接板之间的拼接结构为L型。
作为进一步的改进，所述连接板为长方形。
作为进一步的改进，连接板的中线与相邻坩埚长护板拼接线重叠。
作为进一步的改进，所述连接板的材料为CC或者钼。
一种带保护装置的硅芯铸锭炉坩埚，包括长方形石英坩埚和硅芯铸锭炉坩埚保护装置，所述硅芯铸锭炉坩埚保护装置设于长方形石英坩埚的外侧壁上。
与现有技术相比，本实用新型结构设置合理，通过采用拼接式，对比现有技术采用一体式加工，由于长度太长加工难度大，不便于安装，拼接式加工容易，而且便于安装，节约人力；2、由于长方形的结构使得高温下长度方向和宽度方向上受力不均，为防止坩埚长护板的变形，通过拉杆来连接长方形石英坩埚两侧的坩埚长护板，保护长方形石英坩埚的在高温工作下，不易受热变形，从而不易损坏，适合推广应用。
附图说明
图1是本实用新型硅芯铸锭炉坩埚保护装置的结构示意图；
图2是本实用新型硅芯铸锭炉坩埚保护装置的A部分的局部放大图；
图3是本实用新型带保护装置的硅芯铸锭炉坩埚的立体结构示意图；
图4是本实用新型硅芯铸锭炉坩埚保护装置的A部分的局部放大图；
图5是本实用新型硅芯铸锭炉坩埚保护装置的B部分的局部放大图。
图中，1-坩埚保护装置，2-坩埚长护板，21-拼接板一，22-拼接板二，23-拼接板三，24-拼接线，3-坩埚短护板，4-拉杆，41-螺母，5-连接板，6-带保护装置的硅芯铸锭炉坩埚，7-长方形石英坩埚。
具体实施方式
下面结合实施例及附图，对本实用新型的技术方案作进一步的阐述。
如图1～5所示，本硅芯铸锭炉坩埚保护装置包括：
一种坩埚保护装置1，包括：依次首尾相接的坩埚长护板2和坩埚短护板3，所述坩埚长护板2和坩埚短护板3拼接为长方形的框体结构，
坩埚长护板2，由至少三块拼接板构成，相邻拼接板的连接处设置有连接板5，所述连接板5与坩埚长护板2固定；其中三块拼结板分别为：拼接板一21、拼接板二22和拼接板三23，至少三块拼接板构成了长方形框体结构的长边。
坩埚短护板3，设于坩埚长护板之间且两端与坩埚长护板2卡接。
硅芯铸锭炉是多晶硅转化为多晶硅芯工艺过程中的必备设备，现有技术中的硅芯铸锭炉用坩埚护板保护装置的作用如下：在硅芯铸锭过程中，通过坩埚护板保护装置更好的保护长方形石英坩埚在作业过程中变形量大而损坏。但是现有技术中的保护装置具备下述缺陷：1、坩埚长护板长度太长，整体加工难度大，易损坏，安装也不方便；2、如若硅芯铸锭炉用坩埚护板保护装置都是采用一个长护板一体加工而成，容易造成坩埚护板加工成本高，安装困难；3、长方形的硅芯铸锭炉在生产过程中的高温情况下，长度和宽度方向上的变形量不同，长度方向上如果是一个长护板构成，容易易损坏，使用寿命较短。
如图1～3所示，为此本实用新型设计了一种硅芯铸锭炉坩埚保护装置，首先在长度方向上，采用三块拼接板构成长方形框体结构的边长，进一步的相邻的拼接板采用L型拼接结构进行拼接，且通过连接板5进行相邻拼接板的固定。
具体使用时，坩埚短护板3和坩埚长护板2通过螺丝连接固定，坩埚长护板2由多块拼接板拼接而成，安装在长方形石英坩埚的两侧；坩埚短护板3安装在长方形石英坩埚的左右两侧；连接板5通过螺钉连接坩埚长护板的拼接缝处。上述结构使得，利用坩埚长护板2中的拼接板的拼接结构作为框架结构的长边，对比现有技术的整块的长边，本实用新型的拼接结构保护了拼接型的坩埚长护板2在具体使用过程中由于不断的工作过程中，不易受到损坏，进而对硅芯铸锭炉设备实现了较佳的保护作用；而且，拼接结构投入少，装配的时候，搬运和安装简便，适合推广应用。
实施例2
实施例1与实施例2的区别仅仅在于：所述坩埚长护板2之间设置有拉杆4，所述拉杆4的端部穿过坩埚长护板2并通过螺母41与坩埚长护板2固定。
如图所示，螺母41悬在拉杆4的两端，具体为：由于拉杆4的端部穿过坩埚长护板2，螺母41设于坩埚长护板2的外侧壁上，实现坩埚长护板2与坩埚长护板2的压紧，拉杆4用于压紧相互平行设置的坩埚长护板2，使得坩埚长护板2在高温状况下，变形量减少，从而更好的保护长方形石英坩埚。
实施例3
实施例3与实施例2的区别仅仅在于：所述拼接板与拼接板之间的拼接结构为L型。
通过L型的拼接结构，实现了相连拼接板之间的初步拼接，对比直接面与面的接触，L型的拼接结构使得拼接板与拼接板直接的接触面更大，而且初步拼接后，在拼接板纵向受力，两者不会分开，再通过连接板5实现两者最终的固定。高温状况下，拼接结构的坩埚长护板2能够承受的力增加，而且变形量变小，进而更好的保护长方形石英坩埚。
优选的，所述连接板为长方形。
实施例4
实施例4与实施例3的区别仅仅在于：连接板5的中线与相邻坩埚长护板拼接线24重叠。上述结构的设置，使得相连拼接板的拼接结构稳固，在高温条件下能够更好的保护长方形石英坩埚。
优选的，所述连接板的材料为CC或者钼。CC或者钼材料耐高温且高温下稳定性好。
实施例5
一种带保护装置的硅芯铸锭炉坩埚6，包括长方形石英坩埚7和硅芯铸锭炉坩埚保护装置1，所述硅芯铸锭炉坩埚保护装置1设于长方形石英坩埚7的外侧壁上。长方形石英坩埚放置在坩埚底板上；坩埚底板为石墨制品，由多块拼接而成。
拉杆5用于连接放置于长方形石英坩埚7两侧的坩埚长护板2，将长方形石英坩埚7夹在中间；41螺母设置在拉杆4的两端。
一种带保护装置的硅芯铸锭炉坩埚在装配和高温使用过程中，具备下述优点：1、坩埚长护板采用拼接式，对比现有技术采用一体式加工，由于长度太长加工难度大，不便于安装，拼接式加工容易，而且便于安装，节约人力；2、由于长方形的结构使得高温下长度方向和宽度方向上受力不均，为防止坩埚长护板2的变形，通过拉杆4来连接长方形石英坩埚7两侧的坩埚长护板2，保护长方形石英坩埚7的在高温工作下，不易受热变形，从而不易损坏；3、在硅芯铸锭过程中，降低劳动强度和成本，彻底解决了原技术作业产生的坩埚护板体积大、搬运困难的现象，减少人工安装的时间和劳动强度，提高作业的效率性。
本文中所描述的仅为本实用新型的优选实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此。本实用新型所属领域的技术人员对所描述的具体实施例进行的修改或补充或采用类似的方式替换，均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种坩埚保护装置，其特征在于，包括：依次首尾相接的坩埚长护板(2)和坩埚短护板(3)，所述坩埚长护板(2)和坩埚短护板(3)拼接为长方形的框体结构，
坩埚长护板(2)，由至少三块拼接板构成，相邻拼接板的连接处设置有连接板(5)，所述连接板(5)与坩埚长护板(2)固定；
坩埚短护板(3)，设于坩埚长护板(2)之间且两端与坩埚长护板(2)相接。
2.根据权利要求1所述的一种坩埚保护装置，其特征在于，所述坩埚长护板(2)之间设置有拉杆(4)，所述拉杆(4)的端部穿过坩埚长护板并通过螺母(41)与坩埚长护板(2)固定。
3.根据权利要求1所述的一种坩埚保护装置，其特征在于，所述拼接板与拼接板之间的拼接结构为L型。
4.根据权利要求1所述的一种坩埚保护装置，其特征在于，所述连接板(5)为长方形。
5.根据权利要求1所述的一种坩埚保护装置，其特征在于，连接板(5)的中线与相邻坩埚长护板拼接线(24)重叠。
6.根据权利要求1所述的一种坩埚保护装置，其特征在于，所述连接板(5)的材料为CC或者钼。
7.一种带保护装置的硅芯铸锭炉坩埚，其特征在于，包括长方形石英坩埚和权利要求1～6任意一项所述的坩埚保护装置，所述坩埚保护装置设于长方形石英坩埚(7)的外侧壁上。
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