CN210939303U - 用于机械手的驱动装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供用于机械手的驱动装置。所述驱动装置包括转动转轴、平动转轴、与所述转动转轴机械连接的减速机和转动伺服电机、以及与所述平动转轴机械耦合的平动伺服电机，所述减速机和转动转轴分别包括与平动转轴形状相匹配的减速机孔和转轴孔，所述平动转轴能以在其中自由转动的方式穿过且伸出所述减速机孔和转轴孔，并连接和驱动转动‑平动转换装置。本实用新型可提高机械手转动启停的灵活性和稳定性，还可通过选择合适的减速比，使得额定转动力矩得到提高，并可驱动更大更重的机械手，且总体费用大大低于直驱电机。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制造设备，特别涉及用于机械手的驱动装置。
背景技术
在半导体制造或太阳能电池制造领域，用于传动晶圆或硅片的机械手除了进行沿直线的平动运动之外，还会随着机械手平台进行转动。
现有技术中由直驱电机控制机械手的转动运动，由普通转动伺服电机控制机械手的直线平动运动。但当遇到“重载、大惯量”的机械手时，直驱电机与负载的惯量难以达到合适的匹配，使得转动运动启动停止时易出现不稳定的现象。
因此，如何提供一种用于机械手的驱动装置以提高机械手转动启停的灵活性和稳定性已成为业界亟待解决的技术问题。
实用新型内容
针对现有技术的上述问题，本实用新型提出了一种用于机械手的驱动装置，所述驱动装置包括转动转轴、平动转轴、与所述转动转轴机械连接的减速机和转动伺服电机、以及与所述平动转轴机械耦合的平动伺服电机，所述减速机和转动转轴分别包括与平动转轴形状相匹配的减速机孔和转轴孔，所述平动转轴能以在其中自由转动的方式穿过且伸出所述减速机孔和转轴孔，并连接和驱动转动-平动转换装置。
在一实施例中，所述减速机包括谐波减速机。
在一实施例中，所述减速机包括摆线针轮谐波减速机。
在一实施例中，所述谐波减速机包括沿减速机孔偏心设置的输入轴和驱动齿轮组，所述转动伺服电机与所述输入轴连接，所述驱动齿轮组包括与所述输入轴同轴连接的第一齿轮以及与第一齿轮相互啮合且将驱动力传送到谐波减速机主体的第二齿轮。
在一实施例中，所述谐波减速机主体包括能与所述转动转轴固定连接的内齿刚轮，所述第二齿轮具有与所述减速机孔形状相同的齿轮孔。
在一实施例中，所述转动转轴和平动转轴均设置在各自对应的轴承中转动。
在一实施例中，所述转动转轴的一端与所述减速机连接，另一端通过连接盘与机械手转台相连接，所述转动转轴驱动连接盘和机械手转台及连接在机械手转台上的机械手转动。
在一实施例中，所述转动-平动转换装置设置在所述机械手转台上。
在一实施例中，所述转动-平动转换装置包括主动带轮、从动带轮以及连接在两者之间的平动带。
在一实施例中，所述平动转轴延伸出所述减速机孔和转轴孔的一端与所述主动带轮连接，所述机械手设置在所述平动带上。
与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：本实用新型以减速机加转动伺服电机代替直驱电机，减速机可以降低转化到电机轴的负载惯量，更易达到合适的匹配，提高机械手转动启停的灵活性和稳定性，还可通过选择合适的减速比，使得额定转动力矩得到提高，并可驱动更大更重的机械手，且总体费用大大低于直驱电机。
附图说明
在结合以下附图阅读本公开的实施例的详细描述之后，能够更好地理解本实用新型的上述特征和优点。在附图中，各组件不一定是按比例绘制，并且具有类似的相关特性或特征的组件可能具有相同或相近的附图标记。
图1为本发明用于机械手的驱动装置的实施例的组成结构示意图；以及
图2为本发明用于机械手的驱动装置的实施例的更详细的组成结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作详细描述，以便更清楚理解本实用新型的目的、特点和优点。应理解的是，以下结合附图和具体实施例描述的诸方面仅是示例性的，而不应被理解为对本实用新型的保护范围进行任何限制。除非上下文明确地另外指明，否则单数形式“一”和“所述”包括复数指代物。
参见图1，其显示了本实用新型的用于机械手的驱动装置1的实施例的组成结构示意图。用于机械手的驱动装置1包括转动转轴10、平动转轴11、减速机12、转动伺服电机13、以及平动伺服电机14。以下将对各构件进行进一步的详细描述。
减速机12以可拆卸的方式与转动转轴10机械固定连接，转动伺服电机13与减速机12机械连接，平动伺服电机14与平动转轴11机械耦合。所述转动转轴10的一端(例如下端)与所述减速机12连接，另一端(例如上端)通过连接盘16与机械手转台17相连接，所述转动转轴10驱动连接盘16和机械手转台17及连接在机械手转台17上的机械手(未图示)转动。
在一实施例中，所述减速机12可为谐波减速机12，所述谐波减速机12包括供平动转轴11穿过且无摩擦在其中转动的减速机孔120。在其他实施例中，所述减速机12可包括摆线针轮谐波减速机或中部具有减速机孔120的其他减速机。
所述转动转轴10包括与平动转轴11形状相匹配的转轴孔100，所述平动转轴11能以在其中自由转动的方式穿过且伸出所述转轴孔100 和减速机孔120并连接和驱动转动-平动转换装置15。平动伺服电机 14与平动转轴11之间可通过中心无孔的普通类型的减速机140进行连接，减速机140用于将平动伺服电机14的输出转速降低到平动转轴11 所需的转速。
参见图2，图2显示了图1的更详细的具体结构。如图2所示，所述谐波减速机12包括沿减速机孔120偏心设置的输入轴122和驱动齿轮组，所述转动伺服电机13的输出转轴130与所述输入轴122连接。所述驱动齿轮组包括与所述输入轴122同轴连接的第一齿轮124以及与第一齿轮124相互啮合且将驱动力传送到谐波减速机主体的第二齿轮126。第二齿轮126也包括与转轴孔120基本相同且供穿过的齿轮孔，平动转轴11也穿过所述齿轮孔。
所述谐波减速机主体包括能与所述转动转轴固定连接的内齿刚轮 128。所述谐波减速机主体还包括波发生器、柔性齿轮、柔性轴承基本构件组成，第二齿轮126驱动波发生器转动，波发生器装配上柔性轴承使柔性齿轮产生可控弹性变形，并与内齿刚轮128相啮合来传递输出动力。
所述转动-平动转换装置15设置在所述机械手转台17上。所述转动-平动转换装置15包括主动带轮、从动带轮以及连接在两者之间的平动带。所述平动转轴11延伸出所述减速机孔120和转轴孔100的一端与所述主动带轮15连接，所述机械手设置在所述平动带上。
所述转动转轴10和平动转轴11均设置在各自对应的轴承中转动。所述转动-平动转换装置15设置在所述机械手转台17上。所述转动- 平动转换装置15包括主动带轮、从动带轮以及连接在两者之间的平动带。在图1和图2中仅示出了平动转换装置15的主动带轮。所述平动转轴11延伸出所述减速机孔120和转轴孔100的一端与所述主动带轮连接，所述机械手设置在所述平动带上。
本实用新型的用于机械手的驱动装置在进行驱动时，由转动伺服电机13的输出转轴130驱动所述输入轴122，从而带动第一齿轮124 转动，由第一齿轮124驱动第二齿轮126，从而将转矩输入到所述谐波减速机主体，由所述谐波减速机主体降低转速并在其内齿刚轮128处输出预设的输出转速，以驱动所述转动转轴10转动，通过以减速机12 加转动伺服电机13的组合代替直驱电机，减速机12可以降低转化到伺服电机13轴的负载惯量，更易达到合适的匹配，提高机械手旋转运动启停的灵活性和稳定性。
本实用新型以减速机加转动伺服电机代替直驱电机，减速机可以降低转化到电机轴的负载惯量，更易达到合适的匹配，提高机械手转动启停的灵活性和稳定性，还可通过选择合适的减速比，使得额定转动力矩得到提高，并可驱动更大更重的机械手，且总体费用大大低于直驱电机。
上述实施例是提供给熟悉本领域内的人员来实现或使用本实用新型的，熟悉本领域的人员可在不脱离本实用新型的实用新型思想的情况下，对上述实施例做出种种修改或变化，因而本实用新型的保护范围并不被上述实施例所限，而应该是符合权利要求书提到的创新性特征的最大范围。
Claims (10)
1.一种用于机械手的驱动装置，其特征在于，所述驱动装置包括转动转轴、平动转轴、与所述转动转轴机械连接的减速机和转动伺服电机、以及与所述平动转轴机械耦合的平动伺服电机，所述减速机和转动转轴分别包括与平动转轴形状相匹配的减速机孔和转轴孔，所述平动转轴能以在其中自由转动的方式穿过且伸出所述减速机孔和转轴孔，并连接和驱动转动-平动转换装置。
2.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述减速机包括谐波减速机。
3.根据权利要求1或2所述的驱动装置，其特征在于，所述减速机包括摆线针轮谐波减速机。
4.根据权利要求2所述的驱动装置，其特征在于，所述谐波减速机包括沿减速机孔偏心设置的输入轴和驱动齿轮组，所述转动伺服电机与所述输入轴连接，所述驱动齿轮组包括与所述输入轴同轴连接的第一齿轮以及与第一齿轮相互啮合且将驱动力传送到谐波减速机主体的第二齿轮。
5.根据权利要求4所述的驱动装置，其特征在于，所述谐波减速机主体包括能与所述转动转轴固定连接的内齿刚轮，所述第二齿轮具有与所述减速机孔形状相同的齿轮孔。
6.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述转动转轴和平动转轴均设置在各自对应的轴承中转动。
7.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述转动转轴的一端与所述减速机连接，另一端通过连接盘与机械手转台相连接，所述转动转轴驱动连接盘和机械手转台及连接在机械手转台上的机械手转动。
8.根据权利要求7所述的驱动装置，其特征在于，所述转动-平动转换装置设置在所述机械手转台上。
9.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述转动-平动转换装置包括主动带轮、从动带轮以及连接在两者之间的平动带。
10.根据权利要求9所述的驱动装置，其特征在于，所述平动转轴延伸出所述减速机孔和转轴孔的一端与所述主动带轮连接，所述机械手设置在所述平动带上。
Priority Applications (1)
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| CN201921886947.1U CN210939303U (zh) | 2019-11-05 | 2019-11-05 | 用于机械手的驱动装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN210939303U true CN210939303U (zh) | 2020-07-07 |
Family
ID=71383435
Family Applications (1)
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| CN201921886947.1U Active CN210939303U (zh) | 2019-11-05 | 2019-11-05 | 用于机械手的驱动装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN210939303U (zh) |
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2019
- 2019-11-05 CN CN201921886947.1U patent/CN210939303U/zh active Active
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