CN210916244U - 真空镀膜夹具 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种真空镀膜夹具，包括：底盘；驱动机构，与所述底盘连接以驱动所述底盘旋转；支架，设置在所述底盘上用以夹持目标物且至少设置有两个；每个所述支架可相对于所述底盘径向移动以调节至少两个所述支架之间的距离。本申请的支架可相对于底盘径向移动以调节支架之间的距离，从而用以夹持不同大小的目标物，快捷方便。

Description

真空镀膜夹具

技术领域

本实用新型涉及一种真空镀膜夹具，属于夹具技术领域。

背景技术

真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面(通常是非金属材料)，属于物理气相沉积工艺，真空镀膜技术广泛应用到电子、航空、包装、光伏等技术领域。

当利用真空腔体在圆锯片基底上进行真空镀膜，尤其针对不同直径的圆锯片镀膜时，往往需要适配不同的工装夹具，操作人员需要花费大量的时间去更换夹具，费时费力、作业效率较低、设备投入较大。同时为了保证镀膜工艺，往往又要求镀膜夹具需要实现不同速度的旋转运动，这对于镀膜夹具提出了更高的要求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜夹具，其结构简单、工作效率高。

为达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜夹具，包括：

底盘；

驱动机构，与所述底盘连接以驱动所述底盘旋转；

支架，设置在所述底盘上用以夹持目标物且至少设置有两个；

每个所述支架可相对于所述底盘径向移动以调节至少两个所述支架之间的距离。

进一步地，所述底盘上设置有至少两个导轨，每个所述支架设置有与每个所述导轨滑动配合的滑块。

进一步地，每个所述导轨自所述底盘表面向内凹陷形成。

进一步地，所述滑块上还设置有用以与所述底盘抵持以将所述支架固定的固定组件。

进一步地，所述固定组件包括开设在所述滑块上的通孔、及穿过所述通孔与所述底盘抵持的紧固件。

进一步地，所述底盘上设置有刻度圈。

进一步地，每个所述支架上设置有用以放置所述目标物的支撑件、及用以防止所述目标物与所述支撑件脱落的夹持件。

进一步地，所述真空镀膜夹具还包括用以连接所述驱动机构及所述底盘的传动机构。

进一步地，所述传动机构包括与所述驱动机构连接的第一带轮、与所述底盘连接的轴承座、与所述轴承座连接的传动轴、与所述传动轴连接的第二带轮、及用以连接所述第一带轮与第二带轮的传动带。

进一步地，所述真空镀膜夹具还包括用以辅助放置所述目标物的辅助工装机构。

本实用新型的有益效果在于：支架可相对于底盘径向移动以调节支架之间的距离，从而用以夹持不同大小的目标物，快捷方便；

底盘上设置有刻度圈，可根据刻度圈快速调节距离，无需测量，方便快捷。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1为真空镀膜夹具的结构示意图；

图2为真空镀膜夹具的主视图；

图3为真空镀膜夹具的截面视图；

图4为真空镀膜夹具的底部视图；

图5为辅助工装机构装卡平面圆锯片的结构示意图；

图6为辅助工装机构装卡平面圆锯片的主视图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

请参见图1至图6，本实用新型的一较佳实施例中的真空镀膜夹具，其包括底盘1、与所述底盘1连接以驱动所述底盘1旋转的驱动机构14、及设置在所述底盘1上用以夹持目标物17且至少设置有两个的支架4，在本实施例中，所述目标物17为平面圆锯片，诚然，在其他实施例中，所述目标物17也可为其他，根据实际情况而定，在此不做具体限定。为了将所述平面圆锯片17更好的固定在底盘1上，在本实施例中，所述支架4设置有三个，三个支架4均匀分布在所述底盘1上，以形成三点固定，其具有紧固牢靠的特点，且使得真空镀膜夹具整体结构简便紧凑。诚然，在其他实施例中，所述支架4的个数也可为其他，根据实际情况而定，在此不做具体限定，根据实际情况而定。

所述真空镀膜夹具还包括用以连接所述驱动机构14及所述底盘1的传动机构，所述传动机构包括与所述驱动机构14连接的第一带轮13、与所述底盘1连接的轴承座11、与所述轴承座11连接的传动轴9、与所述传动轴9连接的第二带轮10、及用以连接所述第一带轮13与第二带轮10的传动带12，启动所述驱动机构14，驱动机构14旋转以带动所述第一带轮13旋转，进而通过传动带12带动所述第二带轮10旋转，以驱动所述传动轴9及轴承座11带动所述底盘1旋转。于所述真空镀膜夹具的高度方向上，轴承座11通过紧固螺栓7及垫片8固定在所述底盘1的底部。在本实施例中，所述驱动机构14为步进电机。通过步进电机及传动机构的相互配合，可以实现无级传动，适配不同镀膜工艺的转速需求，且可实现结果过载保护，快捷方便。诚然，在其他实施例中，所述驱动机构14也可为其他，在此不做具体限定，根据实际情况而定。

每个所述支架4可相对于所述底盘1径向移动以调节至少两个所述支架4之间的距离，所述底盘1上设置有至少两个导轨3，每个所述支架4设置有与每个所述导轨3滑动配合的滑块。呈上述，所述支架4设置有3个，所述导轨3也设置有3个。在本实施例中，每个所述导轨3自所述底盘1表面向内凹陷形成，所述滑块上还设置有用以与所述底盘1抵持以将所述支架4固定的固定组件。当支架4通过滑块在导轨3内滑动以调节好位置后，通过固定组件将支架4固定。所述固定组件包括开设在所述滑块上的通孔、及穿过所述通孔与所述底盘1抵持的紧固件15，该紧固件15为螺栓等常规结构，在此不做赘述。诚然，在其他实施例中，所述导轨3也可直接安装在所述底盘1上，但是会增加夹具整体的高度，且不能使得支架4与的底盘1之间充分接触，调节不便。所述底盘1上设置有刻度圈2，用以使得支架4根据刻度圈2快速调节。

每个所述支架4上设置有用以放置所述目标物17的支撑件5、及用以防止所述目标物17与所述支撑件5脱落的夹持件6，所述支撑件5及夹持件6设置有若干个，可使得夹具一次性夹持多个平面圆锯片17，提高工作效率。在本实施例中，所述支撑件5为支撑平台，所述夹持件6为压紧弹簧片，诚然，在其他实施例中，所述支撑件5和夹持件6也可为其他，在此不做具体限定，根据实际情况而定。

所述真空镀膜夹具还包括用以辅助放置所述目标物17的辅助工装机构16，辅助工装机构16设置有用以握持的手柄，快捷方便。本实用新型的实施过程为：根据平面圆锯片17的直径大小，先将其中两个支架4按照刻度圈2固定好位置，然后将所述辅助工装机构16放置在第三个支架4的位置附近，然后将平面圆锯片17逐层装卡到支架4上，每安装一层，将压紧弹簧片放下以固定所述平面圆锯片17。装卡结束后，将第三根支架4安装到导轨3中并将平面圆锯片17夹持固定，再调节紧固件15将第三根支架4固定。然后根据镀膜工艺要求，设置驱动机构14的转速，等待镀膜作业。

综上所述：支架4可相对于底盘1径向移动以调节支架4之间的距离，从而用以夹持不同大小的目标物17，快捷方便；

底盘1上设置有刻度圈2，可根据刻度圈2快速调节距离，无需测量，方便快捷。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种真空镀膜夹具，其特征在于，包括：

底盘；

驱动机构，与所述底盘连接以驱动所述底盘旋转；

支架，设置在所述底盘上用以夹持目标物且至少设置有两个；

每个所述支架可相对于所述底盘径向移动以调节至少两个所述支架之间的距离。

2.如权利要求1所述的真空镀膜夹具，其特征在于，所述底盘上设置有至少两个导轨，每个所述支架设置有与每个所述导轨滑动配合的滑块。

3.如权利要求2所述的真空镀膜夹具，其特征在于，每个所述导轨自所述底盘表面向内凹陷形成。

4.如权利要求2所述的真空镀膜夹具，其特征在于，所述滑块上还设置有用以与所述底盘抵持以将所述支架固定的固定组件。

5.如权利要求4所述的真空镀膜夹具，其特征在于，所述固定组件包括开设在所述滑块上的通孔、及穿过所述通孔与所述底盘抵持的紧固件。

6.如权利要求1所述的真空镀膜夹具，其特征在于，所述底盘上设置有刻度圈。

7.如权利要求1所述的真空镀膜夹具，其特征在于，每个所述支架上设置有用以放置所述目标物的支撑件、及用以防止所述目标物与所述支撑件脱落的夹持件。

8.如权利要求1所述的真空镀膜夹具，其特征在于，所述真空镀膜夹具还包括用以连接所述驱动机构及所述底盘的传动机构。

9.如权利要求8所述的真空镀膜夹具，其特征在于，所述传动机构包括与所述驱动机构连接的第一带轮、与所述底盘连接的轴承座、与所述轴承座连接的传动轴、与所述传动轴连接的第二带轮、及用以连接所述第一带轮与第二带轮的传动带。

10.如权利要求1所述的真空镀膜夹具，其特征在于，所述真空镀膜夹具还包括用以辅助放置所述目标物的辅助工装机构。

Images