CN210894169U - 电镜样品杆真空保存装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种电镜样品杆真空保存装置，包括：抽真空组件，包括真空泵；及至少两个样品杆储存组件，样品杆储存组件包括样品杆存储管、电磁阀及放气阀，样品杆存储管的两端分别设有插口及通气口，电磁阀连接真空泵及样品杆存储管的通气口，电磁阀用于控制真空泵与样品杆存储管的通气口连通或断开；放气阀连接样品杆存储管的通气口，放气阀用控制样品杆存储管的通气口与外界空气连通或断开。上述电镜样品杆真空保存装置，每个样品杆储存组件的样品杆存储管由独立的电磁阀及放气阀控制，从而对某根样品杆进行存取时，只需打开或关闭该样品杆存储管所对应的电磁阀及放气阀即可，不影响其他样品杆存储管内的样品杆的真空存储状态。

Description

电镜样品杆真空保存装置

技术领域

本实用新型涉及透射电子显微镜真空配件技术领域，特别是涉及一种电镜样品杆真空保存装置。

背景技术

电镜样品杆真空保存装置是透射电子显微镜重要的配套设备。透射电子显微镜可以直接在原子尺度表征材料的结构和成分。样品在透射电镜中观察时，会受到强电子束流密度照射，样品表面的碳氢污染物及样品杆本身在高电流密度轰击下分解，从而影响样品原子尺度的观察，因此透射电镜样品杆在电镜外未使用状态下，应保存在透射电镜样品杆真空泵站系统中处于真空状态，以防止碳氢化合物污染，并加快样品更换过程。

传统透射电镜样品杆保存泵站，所有样品杆保存管道统一开启、关闭，在存取出单一样品杆时，其他未取出样品杆也同时暴露于空气中，容易造成其他未取出样品杆上的样品受到空气中碳氢化合物的污染。

实用新型内容

基于此，有必要针对目前传统技术的问题，提供一种电镜样品杆真空保存装置。

一种电镜样品杆真空保存装置，包括：

抽真空组件，包括真空泵；及

至少两个样品杆储存组件，所述样品杆储存组件包括样品杆存储管、电磁阀及放气阀，所述样品杆存储管的两端分别设有插口及通气口，所述电磁阀连接所述真空泵及所述样品杆存储管的通气口，所述电磁阀用于控制所述真空泵与所述样品杆存储管的通气口连通或断开；所述放气阀连接所述样品杆存储管的通气口，所述放气阀用控制所述样品杆存储管的通气口与外界空气连通或断开。

上述电镜样品杆真空保存装置，每个样品杆储存组件的样品杆存储管由独立的电磁阀及放气阀控制，从而对某根样品杆进行存取时，只需打开或关闭该样品杆存储管所对应的电磁阀及放气阀即可，不影响其他样品杆存储管内的样品杆的真空存储状态，有效避免在存取出单一样品杆时，其他未取出样品杆也同时暴露于空气中，有效防止其他未取出样品杆上的样品受到空气中碳氢化合物的污染。而且，当有部分样品杆存储管未插样品杆，关闭该样品杆存储管对应的电磁阀，并不会影响到其他插有样品杆的样品杆存储管的封闭性。

在其中一个实施例中，还包括控制器，所述控制器电连接真空泵、电磁阀及放气阀。

在其中一个实施例中，还包括电源，所述电源电连接所述控制器。

在其中一个实施例中，所述样品杆储存组件还包括触动开关，所述触动开关电连接控制器，所述触动开关用于判断所述样品杆存储管内是否插入有样品杆。

在其中一个实施例中，所述触动开关设于所述样品杆存储管设有插口的一端侧。

在其中一个实施例中，所述抽真空组件还包括预抽泵及隔断阀，所述隔断阀连接所述真空泵的出气端及所述预抽泵的进气端，所述隔断阀用于控制所述真空泵与所述预抽泵连通或断开。

在其中一个实施例中，所述抽真空组件还包括真空计，所述真空计连接在所述真空泵与各所述样品杆储存组件的所述电磁阀相连的管路上。

在其中一个实施例中，所述抽真空组件还包括多通管，所述多通管设有第一接口、第二接口及至少两个第三接口，所述第一接口连接所述真空泵，所述第二接口连接所述真空计，所述第三接口分别连接所述电磁阀。

在其中一个实施例中，所述样品杆储存组件的数量为三个，三个所述样品杆储存组件并列间隔设置，所述多通管为五通管，所述第三接口的数量为三个，三个所述第三接口间隔设于所述多通管的一侧，所述第一接口与所述第二接口间隔设于所述多通管远离所述第三接口的一侧。

在其中一个实施例中，所述样品杆储存组件还包括空气过滤器，所述空气过滤器连接所述放气阀及用于连通外界空气。

附图说明

图1为本实用新型的一实施方式的电镜样品杆真空保存装置的示意图，其中，虚线为电路。

附图中各标号的含义为：

样品杆100，样品200，

抽真空组件10，真空泵11，预抽泵12，隔断阀13，真空计14，多通管15，第一接口16，第二接口17，第三接口18，样品杆储存组件20，样品杆存储管21，电磁阀22，放气阀23，插口24，通气口25，触动开关26，空气过滤器27，控制器30，电源40。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将对本实用新型进行更全面的描述。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。相反，当元件被称作“直接在”另一元件“上”时，不存在中间元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

请参考图1，为本实用新型一实施方式的电镜样品杆真空保存装置，用于保存样品杆100，样品杆100的一端具有样品200；包括抽真空组件10及至少两个样品杆储存组件20；抽真空组件10包括真空泵11；样品杆储存组件20包括样品杆存储管21、电磁阀22及放气阀23，样品杆存储管21用于存储样品杆100，样品杆存储管21的两端分别设有插口24及通气口25，插口24供样品杆100进出样品杆存储管21。电磁阀22用于控制真空泵11与样品杆存储管21的通气口25连通或断开；放气阀23连接样品杆存储管21的通气口25，放气阀23用控制样品杆存储管21的通气口25与外界空气连通或断开。

电镜样品杆真空保存装置，使用时，将样品杆100具有样品200的一端从插口24插入至样品杆存储管21内，打开电磁阀22，关闭放气阀23，真空泵11对品杆存储管21进行抽真空，以使样品杆100上的样品处于真空状态，对样品杆100上的样品进行真空存储；需要取出样品杆100时，关闭电磁阀22，打开放气阀23，以使样品杆存储管21内的气压与外界空气的气压平衡，将样品杆存储管21内的样品杆100从插口24取出。

上述电镜样品杆真空保存装置，每个样品杆储存组件20的样品杆存储管21由独立的电磁阀22及放气阀23控制，从而对某根样品杆100进行存取时，只需打开或关闭该样品杆存储管21所对应的电磁阀22及放气阀23即可，不影响其他样品杆存储管21内的样品杆100的真空存储状态，有效避免在存取出单一样品杆时，其他未取出样品杆也同时暴露于空气中，有效防止其他未取出样品杆上的样品受到空气中碳氢化合物的污染。而且，当有部分样品杆存储管21未插样品杆100，关闭该样品杆存储管21对应的电磁阀22，并不会影响到其他插有样品杆100的样品杆存储管21的封闭性；换言之，当有样品杆存储管21未插样品杆100时，也无需用堵塞杆代替样品杆100插入至空的样品杆存储管21中，以保证电镜样品杆真空保存装置的封闭性。

在一些是实施例中，可以通过手动启停真空泵11和开闭电磁阀22、放气阀23，也可以通过电动启停真空泵11和开闭电磁阀22、放气阀23。具体到本实施例中，电镜样品杆真空保存装置还包括控制器30，控制器30电连接真空泵11、电磁阀22及放气阀23，控制器30用于控制真空泵11的启停和电磁阀22及放气阀23的开闭，实现自动化，有效提高效率和减少劳动强度。

真空泵11为分子泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵及扩散泵中的一种。

进一步地，样品杆储存组件20还包括触动开关26，触动开关26电连接控制器30，触动开关26用于判断样品杆存储管21内是否插入有样品杆100；可以理解地，当触动开关26检测到样品杆存储管21内插入有样品杆100时，控制器30控制该样品杆存储管21对应的电磁阀22打开和对应的放气阀23关闭，通过设置触动开关26有利于进一步地提高自动化程度。

更进一步地，触动开关26设于样品杆存储管21设有插口211的一端侧，通过触动开关26的启动、关闭以判断出样品杆存储管21内是否插有样品杆100；可以理解地，在样品杆100插入至样品杆存储管21过程中，当样品杆100远离样品200的一端压触到触动开关26以使触动开关26启动时，表示样品杆100已插入到位，控制器30根据触动开关26的启动信号控制该样品杆存储管21对应的电磁阀22打开和对应的放气阀23关闭。

需要说明的是，电镜样品杆真空保存装置还包括控制面板，控制面板电连接控制器30，控制面板上设有对应真空泵11的控制键、对应各个样品杆储存组件20的控制键，操作员通过操作控制键启停真空泵11和开关电磁阀22、放气阀23。

在一些实施例中，样品杆储存组件20还包括电源40，电源40电连接控制器40。

抽真空组件10还包括预抽泵12及隔断阀13，隔断阀13连接真空泵11的出气端及预抽泵12的进气端，隔断阀13用于控制真空泵11与预抽泵12连通或断开，预抽泵12用于对真空泵11的出气端进行预抽真空，预抽泵12及隔断阀13电连接控制器30，从而通过控制器30控制预抽泵12的启停及隔断阀13的开闭，预抽泵12还电连接电源40。

在一些实施例中，抽真空组件10还包括真空计14，真空计14连接在真空泵11与各样品杆储存组件20的电磁阀22相连的管路上，真空计14还电连接控制器30及电源40，真空计14用于测量真空泵11与各样品杆储存组件20的电磁阀22相连的管路中的真空压，即真空计14用于测量插有样品杆100的样品杆存储管21内的真空压。

具体地，抽真空组件10还包括多通管15，多通管15设有第一接口16、第二接口17及至少两个第三接口18，第一接口16连接真空泵11，第二接口17连接真空计14，第三接口18分别连接电磁阀22，从而真空计14通过测量多通管15内的真空压以得到样品杆存储管21内的真空压。

进一步地，在其中一个实施例中，样品杆储存组件20的数量为三个，三个样品杆储存组件20并列间隔设置，多通管15为五通管，第三接口18的数量为三个，三个第三接口18间隔设于多通管15的一侧，第一接口16与第二接口17间隔设于多通管15远离第三接口18的一侧。

在一些实施例中，样品杆储存组件20还包括空气过滤器27，空气过滤器27连接放气阀23及用于连通外界空气，空气过滤器27用于过滤进入至样品杆存储管21的空气，有效防止外界空气中的灰尘、杂质进入至样品杆存储管21内而污染品杆存储管21内的样品杆100上的样品200。

具体地，电镜样品杆真空保存装置使用时，包括以下步骤：

1、电镜样品杆真空保存装置启动时，各样品杆储存组件20的电磁阀22及放气阀23均自动处于关闭状态，隔断阀13也处于关闭状态。

2、控制器30控制预抽泵12对真空泵11的出气端进行预抽真空，经过预设时间或真空泵11的出气端达到预设真空压时，控制器30控制预抽泵12停止工作，并控制器30控制隔断阀13打开。

3、真空泵11进行抽真空，即真空泵11对多通管15进行抽装真空，当真空计14达到第一预设真空压值时，控制器30控制真空泵11停止，同时控制器30通过触动开关26检测样品杆存储管21内是否有样品杆100插入，若探测到样品杆存储管21内有样品杆100插入，控制器30控制该样品杆存储管21对应的电磁阀22、放气阀23打开；控制器30控制真空泵11启动，真空泵11对多通管15及插有样品杆100的样品杆存储管21进行抽真空，以使多通管15及插有样品杆100的样品杆存储管21保持在第二预设真空压值范围内，从而将样品杆100上的样品200处于真空状态。

4、需要取出某根样品杆100时，操作员通过按动控制面板上对应该样品杆储存组件20的控制键，以使该样品杆储存组件20的电磁阀22自动关闭、放气阀23自动打开，待该样品杆存储管21内的恢复大气压力时，可将样品杆100取出；同时抽真空组件10继续工作，其他样品杆存储管21内的样品杆100处于真空状态。

本实用新型的电镜样品杆真空保存装置，每个样品杆储存组件20的样品杆存储管21由独立的电磁阀22及放气阀23控制，从而对某根样品杆100进行存取时，只需打开或关闭该样品杆存储管21所对应的电磁阀22及放气阀23即可，不影响其他样品杆存储管21内的样品杆100真空存储状态，有效避免在存取出单一样品杆时，其他未取出样品杆也同时暴露于空气中，有效防止其他未取出样品杆上的样品受到空气中碳氢化合物的污染。而且，当有部分样品杆存储管21未插样品杆100，也不影响其他插有样品杆100的样品杆存储管21的封闭性；换言之，当有样品杆存储管21未插样品杆100时，也无需用堵塞杆代替样品杆100插入至空的样品杆存储管21中，以保证电镜样品杆真空保存装置的封闭性。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种电镜样品杆真空保存装置，其特征在于，包括：

抽真空组件，包括真空泵；及

至少两个样品杆储存组件，所述样品杆储存组件包括样品杆存储管、电磁阀及放气阀，所述样品杆存储管的两端分别设有插口及通气口，所述电磁阀连接所述真空泵及所述样品杆存储管的通气口，所述电磁阀用于控制所述真空泵与所述样品杆存储管的通气口连通或断开；所述放气阀连接所述样品杆存储管的通气口，所述放气阀用控制所述样品杆存储管的通气口与外界空气连通或断开。

2.根据权利要求1所述的电镜样品杆真空保存装置，其特征在于，还包括控制器，所述控制器电连接真空泵、电磁阀及放气阀。

3.根据权利要求2所述的电镜样品杆真空保存装置，其特征在于，还包括电源，所述电源电连接所述控制器。

4.根据权利要求2所述的电镜样品杆真空保存装置，其特征在于，所述样品杆储存组件还包括触动开关，所述触动开关电连接控制器，所述触动开关用于判断所述样品杆存储管内是否插入有样品杆。

5.根据权利要求4所述的电镜样品杆真空保存装置，其特征在于，所述触动开关设于所述样品杆存储管设有插口的一端侧。

6.根据权利要求1所述的电镜样品杆真空保存装置，其特征在于，所述抽真空组件还包括预抽泵及隔断阀，所述隔断阀连接所述真空泵的出气端及所述预抽泵的进气端，所述隔断阀用于控制所述真空泵与所述预抽泵连通或断开。

7.根据权利要求1所述的电镜样品杆真空保存装置，其特征在于，所述抽真空组件还包括真空计，所述真空计连接在所述真空泵与各所述样品杆储存组件的所述电磁阀相连的管路上。

8.根据权利要求7所述的电镜样品杆真空保存装置，其特征在于，所述抽真空组件还包括多通管，所述多通管设有第一接口、第二接口及至少两个第三接口，所述第一接口连接所述真空泵，所述第二接口连接所述真空计，所述第三接口分别连接所述电磁阀。

9.根据权利要求8所述的电镜样品杆真空保存装置，其特征在于，所述样品杆储存组件的数量为三个，三个所述样品杆储存组件并列间隔设置，所述多通管为五通管，所述第三接口的数量为三个，三个所述第三接口间隔设于所述多通管的一侧，所述第一接口与所述第二接口间隔设于所述多通管远离所述第三接口的一侧。

10.根据权利要求1所述的电镜样品杆真空保存装置，其特征在于，所述样品杆储存组件还包括空气过滤器，所述空气过滤器连接所述放气阀及用于连通外界空气。

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