CN210880355U - 用于硅片加工的倒角机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了用于硅片加工的倒角机，包括基座、倒角装置和废屑处理装置，基座底部设置胶粘有四块减震胶垫，基座一侧焊接有电机安装板，电机安装板的上表面设置有倒角装置，倒角装置包括倒角电机、倒角刀具和电机肋板，倒角电机安装在电机安装板上，倒角电机前后焊接有四个电机肋板，倒角刀具安装在倒角电机的输出端，倒角装置的一侧设置有废屑处理装置，废屑处理装置的另一侧设置有移动装置，移动装置包括纵向固定板、纵向丝杠、限位杆、限位块、纵向电机、横梁、横向丝杠、横向电机和移动块，有益效果在于：对于硅片的倒角加工精确度高，能够对硅片多边进行加工，方便处理倒角加工中的废屑。

Description

用于硅片加工的倒角机

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体为用于硅片加工的倒角机。

背景技术

硅是一种常用的半导体材料，目前在各种领域都运用广泛，是非常重要的生产材料，在硅片的加工中为了减少磨片过程由于崩边造成的损伤，需要在磨片之前进行倒角处理。目前的用于硅片加工的倒角机倒角加工精确度不足，且对于硅片倒角处理时需要人工换边才能加工到其余的边，倒角产生的废屑也需要人工处理，费时费力，影响工作效率。

实用新型内容

本实用新型提供一种技术方案，可以有效解决上述背景技术中提出用于硅片加工的倒角机倒角加工精确度不足，且对于硅片倒角处理时需要人工换边才能加工到其余的边，倒角产生的废屑也需要人工处理，费时费力，影响工作效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

用于硅片加工的倒角机，包括基座、倒角装置和废屑处理装置，所述基座底部设置胶粘有四块减震胶垫，所述基座上方焊接有电机安装板，所述电机安装板的上表面设置有所述倒角装置，倒角装置包括倒角电机、倒角刀具和电机肋板，所述倒角电机安装在所述电机安装板上，所述倒角电机前后焊接有四个所述电机肋板，所述倒角刀具安装在所述倒角电机的输出端，所述倒角装置的一侧设置有所述废屑处理装置，所述废屑处理装置的另一侧设置有移动装置。

所述移动装置包括纵向固定板、纵向丝杠、限位杆、限位块、纵向电机、横梁、横向丝杠、横向电机和移动块，所述固定板采用螺栓连接在所述基座上面，所述固定板上连接有所述纵向丝杠，所述纵向丝杠顶端设置有所述限位块，所述纵向丝杠前后安装有两根所述限位杆，所述限位块上端安装有所述纵向电机，所述纵向电机的输出端穿过所述限位块与所述纵向丝杠连接，所述横梁安装在所述纵向丝杠上，所述横梁内安装有所述横向丝杠，所述横向丝杠内侧连接有所述横向电机的输出端，所述横向电机固定在所述横梁上，所述横梁一侧安装有所述移动块，所述移动块上设置有夹具。

所述夹具包括连接杆、旋转电机、连接卡、夹板、橡胶垫和夹紧电机，所述移动块上下各安装有一个所述连接卡，所述连接卡末端分别设置有所述旋转电机，所述旋转电机的输出端连接有所述连接杆，所述连接杆的末端焊接有所述夹板，所述夹板上设置有所述橡胶垫，所述夹紧电机安装在所述移动块的前侧。

优选的，所述纵向丝杠分别和所述固定板与所述限位块采用转动连接，所述固定板与所述限位块分别与所述限位杆之间采用螺纹连接。

优选的，所述废屑处理装置包括废屑收集槽、滴水头和水管，所述滴水头设置在所述废屑收集槽的槽内，所述滴水头通过所述水管连接有外来水源。

优选的，所述横梁上设置有螺纹槽与所述纵向丝杠相互啮合，所述横梁与所述限位杆之间采用滑动连接。

优选的，所述移动块上设置有螺纹槽与所述横向丝杠相互啮合。

优选的，所述固定板螺栓连接在所述基座上，所述电机肋板焊接在所述电机安装板上方。

优选的，所述连接卡上设置有齿轮槽与所述夹紧电机的输出轴配合，所述旋转电机与所述连接卡之间采用螺纹连接，所述连接杆和所述夹板一体成型。

优选的，所述橡胶垫采用橡胶材质，所述橡胶垫胶粘在所述夹板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：本实用新型结构科学合理，使用安全方便：

1.采用电机和丝杠传动来移动装置，提高硅片加工时的精度。

2.设置夹具有旋转电机，通过夹具的旋转，调整硅片加工的边，完成多边的倒角加工。

3.设置有废屑处理装置，减少废屑的堆积，无需人工处理，省时省力。

附图说明

图1是本实用新型的立体结构示意图；

图2是本实用新型的主视图；

图3是本实用新型的移动装置立体结构示意图；

图4是本实用新型的移动装置的右视图；

图5是本实用新型的夹具和移动块的立体结构示意图；

图6是本实用新型的夹具和移动块的右视图。

图中标号：1、基座；2、电机安装板；3、移动装置；301、固定板；302、纵向丝杠；303、限位杆；304、限位块；305、纵向电机；306、横梁；307、横向丝杠；308、横向电机；309、移动块；4、夹具；401、连接杆；402、旋转电机；403、连接卡；404、夹板；405、橡胶垫；406、夹紧电机；5、废屑处理装置；501、废屑收集槽；502、滴水头；503、水管；6、倒角装置；601、倒角电机；602、倒角刀具；603、电机肋板；7、减震脚垫。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：如图1-6所示，本实用新型提供一种技术方案，用于硅片加工的倒角机，包括基座1、倒角装置6和废屑处理装置5，基座1底部设置胶粘有四块减震胶垫7，基座1上方焊接有电机安装板2，电机安装板2用于固定倒角电机401，电机安装板2的上表面设置有倒角装置6，倒角装置6包括倒角电机601、倒角刀具602和电机肋板603，倒角电机601安装在电机安装板2上，为了加固倒角电机601，在倒角电机601前后焊接有四个电机肋板603，倒角刀具602安装在倒角电机601的输出端，倒角装置6的一侧设置有废屑处理装置5，废屑处理装置5的另一侧设置有移动装置3。

移动装置3包括纵向固定板301、纵向丝杠302、限位杆303、限位块304、纵向电机305、横梁306、横向丝杠307、横向电机308和移动块309，固定板301采用螺栓连接在基座1上面，固定板301上连接有纵向丝杠302，纵向丝杠302顶端设置有限位块304，纵向丝杠302前后安装有两根限位杆303，限位杆303和限位块304有效的保证横梁306不会出现偏离，限位块304上端安装有纵向电机305，纵向电机305的输出端穿过限位块304与纵向丝杠302连接，横梁306安装在纵向丝杠302上，横梁306内安装有横向丝杠307，横向丝杠307内侧连接有横向电机308的输出端，横向电机308固定在横梁306上，横梁306一侧安装有移动块309，移动块309上设置有夹具4。

夹具4包括连接杆401、旋转电机402、连接卡403、夹板404、橡胶垫405和夹紧电机406，移动块309上下各安装有一个连接卡403，连接卡403用于安装旋转电机402，旋转电机402的输出端连接有连接杆401，旋转电机402用于旋转夹具4，可以改变硅片的边，连接杆401的末端焊接有夹板404，夹板404上设置有橡胶垫405，橡胶垫405不仅能够加固硅片的稳定性，还能有效的保护硅片，夹紧电机406安装在移动块309的前侧。

优选的，纵向丝杠302分别和固定板301与限位块304采用转动连接，固定板301与限位块304分别与限位杆303之间采用螺纹连接，废屑处理装置5包括废屑收集槽501、滴水头502和水管503，滴水头502设置在废屑收集槽501的槽内，滴水头502滴水冲洗废屑，滴水头502通过水管503连接有外来水源，横梁306上设置有螺纹槽与纵向丝杠302相互啮合，横梁306与限位杆303之间采用滑动连接，移动块309上设置有螺纹槽与横向丝杠307相互啮合，固定板301螺栓连接在基座1上，电机肋板603焊接在电机安装板2上方，连接卡403上设置有齿轮槽与夹紧电机406的输出轴配合，旋转电机402与连接卡403之间采用螺纹连接，连接杆401和夹板404一体成型，橡胶垫405采用橡胶材质，橡胶垫405胶粘在夹板404。

本实用新型的工作原理及使用流程：在使用本装置时，夹紧电机406转动带动夹具4闭合，硅片固定在两块夹板404之间，再调节纵向电机305带动纵向丝杠302转动，横梁306随之向下运动硅片接触倒角刀具602，调节横向电机308转动带动移动块309均匀移动，夹具4上的硅片均匀移动，倒角刀具602均匀对硅片进行倒角处理，完成一边之后，调节旋转电机402带动夹具4旋转完成硅片换边，在进行上述倒角操作，在横向和纵向移动的配合下使硅片完成倒角处理。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.用于硅片加工的倒角机，包括基座(1)、倒角装置(6)和废屑处理装置(5)，其特征在于：所述基座(1)底部设置胶粘有四块减震胶垫(7)，所述基座(1)上方焊接有电机安装板(2)，所述电机安装板(2)的上表面设置有所述倒角装置(6)，倒角装置(6)包括倒角电机(601)、倒角刀具(602)和电机肋板(603)，所述倒角电机(601)安装在所述电机安装板(2)上，所述倒角电机(601)前后焊接有四个所述电机肋板(603)，所述倒角刀具(602)安装在所述倒角电机(601)的输出端，所述倒角装置(6)的一侧设置有所述废屑处理装置(5)，所述废屑处理装置(5)的另一侧设置有移动装置(3)；

所述移动装置(3)包括纵向固定板(301)、纵向丝杠(302)、限位杆(303)、限位块(304)、纵向电机(305)、横梁(306)、横向丝杠(307)、横向电机(308)和移动块(309)，所述固定板(301)采用螺栓连接在所述基座(1)上面，所述固定板(301)上连接有所述纵向丝杠(302)，所述纵向丝杠(302)顶端设置有所述限位块(304)，所述纵向丝杠(302)前后安装有两根所述限位杆(303)，所述限位块(304)上端安装有所述纵向电机(305)，所述纵向电机(305)的输出端穿过所述限位块(304)与所述纵向丝杠(302)连接，所述横梁(306)安装在所述纵向丝杠(302)上，所述横梁(306)内安装有所述横向丝杠(307)，所述横向丝杠(307)内侧连接有所述横向电机(308)的输出端，所述横向电机(308)固定在所述横梁(306)上，所述横梁(306)一侧安装有所述移动块(309)，所述移动块(309)上设置有夹具(4)；

所述夹具(4)包括连接杆(401)、旋转电机(402)、连接卡(403)、夹板(404)、橡胶垫(405)和夹紧电机(406)，所述移动块(309)上下各安装有一个所述连接卡(403)，所述连接卡(403)末端分别设置有所述旋转电机(402)，所述旋转电机(402)的输出端连接有所述连接杆(401)，所述连接杆(401) 的末端焊接有所述夹板(404)，所述夹板(404)上设置有所述橡胶垫(405)，所述夹紧电机(406)安装在所述移动块(309)的前侧。

2.根据权利要求1所述的用于硅片加工的倒角机，其特征在于：所述纵向丝杠(302)分别和所述固定板(301)与所述限位块(304)采用转动连接，所述固定板(301)与所述限位块(304)分别与所述限位杆(303)之间采用螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的用于硅片加工的倒角机，其特征在于：所述废屑处理装置(5)包括废屑收集槽(501)、滴水头(502)和水管(503)，所述滴水头(502)设置在所述废屑收集槽(501)的槽内，所述滴水头(502)通过所述水管(503)连接有外来水源。

4.根据权利要求1所述的用于硅片加工的倒角机，其特征在于：所述横梁(306)上设置有螺纹槽与所述纵向丝杠(302)相互啮合，所述横梁(306)与所述限位杆(303)之间采用滑动连接。

5.根据权利要求1所述的用于硅片加工的倒角机，其特征在于：所述移动块(309)上设置有螺纹槽与所述横向丝杠(307)相互啮合。

6.根据权利要求1所述的用于硅片加工的倒角机，其特征在于：所述固定板(301)螺栓连接在所述基座(1)上，所述电机肋板(603)焊接在所述电机安装板(2)上方。

7.根据权利要求1所述的用于硅片加工的倒角机，其特征在于：所述连接卡(403)上设置有齿轮槽与所述夹紧电机(406)的输出轴配合，所述旋转电机(402)与所述连接卡(403)之间采用螺纹连接，所述连接杆(401)和所述夹板(404)一体成型。

8.根据权利要求1所述的用于硅片加工的倒角机，其特征在于：所述橡胶垫(405)采用橡胶材质，所述橡胶垫(405)胶粘在所述夹板(404)。

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