CN210816637U - 一种硅片清洗机换料装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅片清洗机换料装置，包括底箱，所述底箱的顶部外壁设置有上筒，且上筒的内部设置有倒片机构，所述底箱的一侧外壁开有进料槽，且进料槽的一侧外壁设置有进料机构，底箱的另一侧外壁开有出料槽，出料槽的一侧外壁设置有出料机构，底箱的内部设置有换片机构，所述倒片机构包括设置于上筒一侧外壁的电机，且电机的输出轴固定连接有插接于上筒侧面内壁的转壳，转壳的侧面内壁滑动连接有清洗篮，转壳位于清洗篮上方的侧面内壁滑动连接有与清洗篮相对应的卸料块，所述换片机构包括设置于底箱底部内壁的气杆。本实用新型方便快捷，节省时间，能使上料块和卸料块与移动块之间能精准定位，提高了清洗篮的稳定性。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片清洗技术领域，尤其涉及一种硅片清洗机换料装置。
背景技术
硅片在完成化学机械抛光后，硅片表面会形成一层活跃的单晶硅原子，活跃的硅原子将有一个未配对的电子，会吸附正、负电荷等外来杂质，故要对硅片进行清洗，现有的硅片清洗是将硅片有序排列在清洗篮中，在放入清洗池中进行清洗。
在清洗后通常需要对清洗篮中的硅片进行换料以进行下次清洗，现有的换料方式通常是工作人员将清洗篮中的硅片依次取出，再将未清洗的硅片放入清洗篮中，效率极为低下。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片清洗机换料装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种硅片清洗机换料装置，包括底箱，所述底箱的顶部外壁设置有上筒，且上筒的内部设置有倒片机构，所述底箱的一侧外壁开有进料槽，且进料槽的一侧外壁设置有进料机构，底箱的另一侧外壁开有出料槽，出料槽的一侧外壁设置有出料机构，底箱的内部设置有换片机构。
进一步的，所述倒片机构包括设置于上筒一侧外壁的电机，且电机的输出轴固定连接有插接于上筒侧面内壁的转壳，转壳的侧面内壁滑动连接有清洗篮，转壳位于清洗篮上方的侧面内壁滑动连接有与清洗篮相对应的卸料块。
进一步的，所述换片机构包括设置于底箱底部内壁的气杆，且气杆的顶部外壁设置有移动块，移动块的顶部外壁开有与卸料块相适配的弧形槽。
进一步的，所述进料机构包括设置于底箱一侧外壁的进料架，且进料架的底部外壁设置有前支撑腿，进料架的顶部外壁放置有上料块，上料块与卸料块结构相同，上料块和卸料块的侧面外壁均设置有限位板。
进一步的，所述出料机构包括设置于底箱一侧外壁的出料架，且出料架的底部外壁设置有后支撑腿。
进一步的，所述移动块的顶部外壁开有定位块槽，且定位块槽的底部内壁设置有弹簧，弹簧的顶部外壁设置有定位块，卸料块和上料块的底部外壁均开有与定位块相适配的定位块槽。
进一步的，所述转壳的一侧外壁开有插销槽，且插销槽的侧面内壁滑动连接有插销。
本实用新型的有益效果为：
1、通过设置上料块和卸料块，当需要进行换料时，将装有清洗后硅片的清洗篮放入转壳中，转动转壳即可使清洗后的硅片倒入卸料块中，再将装有未清洗硅片的上料块推入，将卸料块顶出，转壳转动即可使未清洗的硅片倒入清洗篮中，继而完成换料，方便快捷，节省时间。
2、通过设置定位块和定位槽，在移动块上设置定位块，在卸料块和上料块上设置定位槽，继而能使上料块和卸料块与移动块之间能精准定位。
3、通过设置插销和插销槽，在转壳的一侧设置插销和插销槽，当清洗篮推入转壳中后，将插销插在清洗篮的一侧，继而即可防止清洗篮转动时晃动，提高了清洗篮的稳定性。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种硅片清洗机换料装置的整体结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种硅片清洗机换料装置的侧面结构剖视图；
图3为本实用新型提出的一种硅片清洗机换料装置的定位块结构示意图。
图中：1-底箱、2-后支撑腿、3-出料架、4-插销槽、5-电机、6-上筒、7-卸料块、8-转壳、9-清洗篮、10-插销、11-进料槽、12-限位板、13-上料块、14-进料架、15-前支撑腿、16-气杆、17-出料槽、18-移动块、19-定位块、20-弹簧。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
实施例1：
参照图1-3，一种硅片清洗机换料装置，包括底箱1，底箱1的顶部外壁焊接有上筒6，且上筒6的内部设置有倒片机构，底箱1的一侧外壁开有进料槽11，且进料槽11的一侧外壁设置有进料机构，底箱1的另一侧外壁开有出料槽17，出料槽17的一侧外壁设置有出料机构，底箱1的内部设置有换片机构。
本实用新型中，倒片机构包括通过螺钉连接于上筒6一侧外壁的电机5，且电机5的输出轴固定连接有插接于上筒6侧面内壁的转壳8，转壳8的侧面内壁滑动连接有清洗篮9，转壳8位于清洗篮9上方的侧面内壁滑动连接有与清洗篮9相对应的卸料块7。
其中，换片机构包括通过螺钉连接于底箱1底部内壁的气杆16，且气杆16的顶部外壁通过螺钉连接有移动块18，移动块18的顶部外壁开有与卸料块7相适配的弧形槽。
其中，进料机构包括焊接于底箱1一侧外壁的进料架14，且进料架14的底部外壁焊接有前支撑腿15，进料架14的顶部外壁放置有上料块13，上料块13与卸料块7结构相同，上料块13和卸料块7的侧面外壁均设置有限位板12。
其中，出料机构包括焊接于底箱1一侧外壁的出料架3，且出料架3的底部外壁焊接有后支撑腿2。
其中，移动块18的顶部外壁开有定位块槽，且定位块槽的底部内壁焊接有弹簧20，弹簧20的顶部外壁焊接有定位块19，卸料块7和上料块13的底部外壁均开有与定位块19相适配的定位块槽。
工作原理：使用时，将装有清洗后硅片的清洗篮9放入转壳8中，电机5带动转壳8转动半圈，使得卸料块7位于上筒6下方，此时清洗后的硅片则由重力作用倒入卸料块7中，而后气杆16收缩带动移动块18和卸料块7向下移动，并使得移动块18与进料架14和出料架3平齐，工作人员在硅片清洗时将待清洗的硅片插入上料块13中，工作人员将装有未清洗硅片的上料块13推入移动块18上，并将卸料块7推到出料架3上，而后气杆16拉伸带动上料块13和待清洗的硅片移动到转壳8内，电机5带动转壳8转动半圈使得上料块13转动至上筒6上方，待清洗的硅片则由重力作用倒入清洗篮9中，工作人员将清洗篮9取出即完成了换料。
实施例2：
参照图1，一种硅片清洗机换料装置，与实施例1相比，为提高清洗篮9转动时的稳定性，转壳8的一侧外壁开有插销槽4，且插销槽4的侧面内壁滑动连接有插销10。
工作原理：与实施例1相比，当清洗篮9插入转壳8中后，将插销10插在清洗篮9的一侧即可防止清洗篮9在转动时滑出，提高了清洗篮9转动时的稳定性。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种硅片清洗机换料装置，包括底箱(1)，其特征在于，所述底箱(1)的顶部外壁设置有上筒(6)，且上筒(6)的内部设置有倒片机构，所述底箱(1)的一侧外壁开有进料槽(11)，且进料槽(11)的一侧外壁设置有进料机构，底箱(1)的另一侧外壁开有出料槽(17)，出料槽(17)的一侧外壁设置有出料机构，底箱(1)的内部设置有换片机构。
2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机换料装置，其特征在于，所述倒片机构包括设置于上筒(6)一侧外壁的电机(5)，且电机(5)的输出轴固定连接有插接于上筒(6)侧面内壁的转壳(8)，转壳(8)的侧面内壁滑动连接有清洗篮(9)，转壳(8)位于清洗篮(9)上方的侧面内壁滑动连接有与清洗篮(9)相对应的卸料块(7)。
3.根据权利要求2所述的一种硅片清洗机换料装置，其特征在于，所述换片机构包括设置于底箱(1)底部内壁的气杆(16)，且气杆(16)的顶部外壁设置有移动块(18)，移动块(18)的顶部外壁开有与卸料块(7)相适配的弧形槽。
4.根据权利要求3所述的一种硅片清洗机换料装置，其特征在于，所述进料机构包括设置于底箱(1)一侧外壁的进料架(14)，且进料架(14)的底部外壁设置有前支撑腿(15)，进料架(14)的顶部外壁放置有上料块(13)，上料块(13)与卸料块(7)结构相同，上料块(13)和卸料块(7)的侧面外壁均设置有限位板(12)。
5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机换料装置，其特征在于，所述出料机构包括设置于底箱(1)一侧外壁的出料架(3)，且出料架(3)的底部外壁设置有后支撑腿(2)。
6.根据权利要求4所述的一种硅片清洗机换料装置，其特征在于，所述移动块(18)的顶部外壁开有定位块槽，且定位块槽的底部内壁设置有弹簧(20)，弹簧(20)的顶部外壁设置有定位块(19)，卸料块(7)和上料块(13)的底部外壁均开有与定位块(19)相适配的定位块槽。
7.根据权利要求2所述的一种硅片清洗机换料装置，其特征在于，所述转壳(8)的一侧外壁开有插销槽(4)，且插销槽(4)的侧面内壁滑动连接有插销(10)。
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