CN220796672U - 一种晶圆清洗机台自动化装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆清洗机技术领域，公开了一种晶圆清洗机台自动化装置，包括储水箱，所述储水箱的左右两侧均固定连接有运输组件，其中一个所述运输组件的顶部固定连接有上料组件，其中一个所述运输组件的右侧固定连接有清理组件，所述运输组件的顶部固定连接有支撑板，所述支撑板的中部设置有移动组件，所述移动组件的中部滑动连接有升降组件，所述升降组件的底部固定连接有运料组件。本实用新型中，在存料盒的作用下可对晶圆进行储存，通过驱动电动推杆以及驱动多级液压缸可将存料盒内部储存的晶圆推入运输组件的顶部，同时可对存料盒进行更换，以及通过驱动电机一和电机二可使毛刷在旋转的过程中对晶圆进行清理。

Description

一种晶圆清洗机台自动化装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆清洗机技术领域，尤其涉及一种晶圆清洗机台自动化装置。

背景技术

晶圆是在半导体制造过程中使用的一种基础材料，通常由单晶硅材料制成的圆片状物体，晶圆在集成电路的制造中具有重要的作用，而晶圆在生产后需要对晶圆的表面进行清理，以去除在制造过程中产生的杂质、残留物和污染物，常使用清洗机对其进行清洗。

传统的清洗机是由容纳晶圆的盒子，以及电动伸缩杆、毛刷、水泵、水管和喷头等部分组成，工作时，员工将晶圆放置在盒子上，并驱动电动伸缩杆带动毛刷对晶圆进行清理，同时驱动水泵使清理液进入水管并通过喷头喷出，可以对晶圆的表面进行清洁和冲洗，当清理完成后将晶圆取下，并替换上另一个需要清洗的晶圆，虽然可以完成对晶圆的清理，但是这种方式需要员工持续上料，同时员工精力有限，持续的工作会导致员工的劳动强度提高并会降低晶圆的清理效率，为此提出一种晶圆清洗机台自动化装置来解决上述问题。

实用新型内容

为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种晶圆清洗机台自动化装置，旨在改善现有技术中需要员工持续上料的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种晶圆清洗机台自动化装置，包括储水箱，所述储水箱的左右两侧均固定连接有运输组件，其中一个所述运输组件的顶部固定连接有上料组件，其中一个所述运输组件的右侧固定连接有清理组件，所述运输组件的顶部固定连接有支撑板，所述支撑板的中部设置有移动组件，所述移动组件的中部滑动连接有升降组件，所述升降组件的底部固定连接有运料组件，所述储水箱的中部固定连接有过滤网，所述过滤网的顶部固定连接有放料盘，所述储水箱的内部固定连接有水泵，所述水泵的输出端固定连接有出水管，所述出水管朝向放料盘；

所述上料组件包括壳体，所述壳体固定连接在其中一个运输组件的顶部，所述壳体的内部固定连接有多级液压缸，所述多级液压缸的输出端固定连接有齿条，所述壳体的内部转动连接有齿轮，所述齿条和齿轮相互啮合，所述齿轮的顶部固定连接有转盘，所述转盘的外侧固定连接有两个连接板，所述连接板的顶部固定连接有存料盒，所述转盘的顶部固定连接有两个电动推杆，所述电动推杆的输出端固定连接有推板，所述推板滑动连接在存料盒的中部。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述清理组件包括电机一，所述电机一固定连接在其中一个运输组件的右侧，所述电机一的输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外周螺纹连接有螺母座，所述螺母座滑动连接在储水箱的前侧，所述螺母座的顶部固定连接有电机二，所述电机二的输出端固定连接有毛刷，所述毛刷和放料盘相接触。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述存料盒的顶部开设有放料口。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述存料盒的左右两侧均开设有下料口，所述推板具体滑动连接在下料口的中部。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述存料盒的右侧设置有斜槽。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述螺纹杆的顶部固定连接有罩体，所述电机二具体固定连接在罩体的中部。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述转盘的顶部固定连接有防尘罩，所述电动推杆具体固定连接在防尘罩的内部。

本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型中，通过多级液压缸、齿条、齿轮、转盘、连接板、存料盒、电动推杆、推板等结构的相互配合下，通过驱动电动推杆可将放置在存料盒的晶圆推入运输组件的顶部进行运输，通过驱动多级液压缸可使对存料盒进行更换，可对晶圆进行存储并进行依次下料工作，进而降低了员工的劳动强度，同时提高了晶圆清理的效率。

2、本实用新型中，通过电机一、螺纹杆、螺母座、电机二、毛刷等结构的相互配合下，通过驱动电机一可带动毛刷对晶圆进行清理，同时通过驱动电机二可带动毛刷进行转动，可使毛刷在旋转的过程中对晶圆进行清理，进而提高了清理晶圆的效率。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种晶圆清洗机台自动化装置的立体示意图；

图2为本实用新型提出的一种晶圆清洗机台自动化装置的上料组件的结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种晶圆清洗机台自动化装置的电机一的结构示意图；

图4为本实用新型提出的一种晶圆清洗机台自动化装置的运料组件的结构示意图；

图5为本实用新型提出的一种晶圆清洗机台自动化装置的清理组件的结构示意图。

图例说明：

1、储水箱；2、上料组件；201、壳体；202、多级液压缸；203、齿条；204、齿轮；205、转盘；206、连接板；207、存料盒；208、电动推杆；209、推板；3、清理组件；301、电机一；302、螺纹杆；303、螺母座；304、电机二；305、毛刷；4、运输组件；5、支撑板；6、升降组件；7、运料组件；8、水泵；9、出水管；10、过滤网；11、放料盘；12、移动组件。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参照图1-5，本实用新型提供的一种实施例：一种晶圆清洗机台自动化装置，包括储水箱1，储水箱1的左右两侧均固定连接有运输组件4，其中一个运输组件4的顶部固定连接有上料组件2，在上料组件2的作用下可将晶圆进行储存，同时可依次对晶圆进行下料，并且通过更换批次的方式可提高存储晶圆的量，其中一个运输组件4的右侧固定连接有清理组件3，在清理组件3的作用下可提高清理晶圆的效率，运输组件4的顶部固定连接有支撑板5，支撑板5的中部设置有移动组件12，移动组件12由电动伸缩杆、滑块、滑槽等结构组成，移动组件12为现有结构文中不再过多赘述，移动组件12的中部滑动连接有升降组件6，升降组件6由电动伸缩杆，外壳组成，外壳用于防止升降组件6直接和移动组件12接触，升降组件6为现有结构文中不再过多赘述，升降组件6的底部固定连接有运料组件7，运料组件7由外壳、气泵、气管、吸盘等结构组成，运料组件7为现有结构文中不再过多赘述，储水箱1的中部固定连接有过滤网10，在过滤网10的作用下可对清理液进行过滤，过滤网10的顶部固定连接有放料盘11，储水箱1的内部固定连接有水泵8，水泵8的输出端固定连接有出水管9，出水管9朝向放料盘11，在水泵8、出水管9和过滤网10的作用下可对放料盘11顶部清理的晶圆进行清洗，可使清理后的杂质脱离晶圆；

上料组件2包括壳体201，壳体201固定连接在其中一个运输组件4的顶部，壳体201的内部固定连接有多级液压缸202，多级液压缸202的输出端固定连接有齿条203，壳体201的内部转动连接有齿轮204，齿条203和齿轮204相互啮合，通过驱动多级液压缸202同时在齿条203和齿轮204的作用下，可使直线运动转为旋转运动，齿轮204的顶部固定连接有转盘205，转盘205的外侧固定连接有两个连接板206，连接板206的顶部固定连接有存料盒207，在转盘205的作用下可带动连接板206进行转动，进而带动存料盒207进行转动，可对存放晶圆的工具进行更换，转盘205的顶部固定连接有两个电动推杆208，电动推杆208的输出端固定连接有推板209，推板209滑动连接在存料盒207的中部，在转盘205转动的同时电动推杆208的输出端同时进行改变，并始终和推板209贴合，可带动推板209对存料盒207内部的晶圆进行小料工作，避免了需要员工持续上料的问题。

清理组件3包括电机一301，电机一301固定连接在其中一个运输组件4的右侧，电机一301的输出端固定连接有螺纹杆302，螺纹杆302的外周螺纹连接有螺母座303，螺母座303滑动连接在储水箱1的前侧，螺母座303的顶部固定连接有电机二304，电机二304的输出端固定连接有毛刷305，毛刷305和放料盘11相接触，通过驱动电机一301可带动螺母座303进行左右移动，可带动毛刷305对晶圆进行清理，同时通过驱动电机二304可带动毛刷305进行旋转，进而可使毛刷305在旋转状态下对晶圆进行清理。

存料盒207的顶部开设有放料口，可将晶圆放入存料盒207的中部。

存料盒207的左右两侧均开设有下料口，推板209具体滑动连接在下料口的中部，可使推板209将放置在存料盒207中部的晶圆推入其中一个运输组件4的顶部，可完成下料工作。

存料盒207的右侧设置有斜槽，在斜槽的作用下可防止晶圆和运输组件4直接发生碰撞，进而可减少晶圆受到的损伤。

转盘205的顶部固定连接有防尘罩，电动推杆208具体固定连接在防尘罩的内部，在防尘罩的作用下可对电动推杆208进行保护，防止空中的灰尘吸附并堆积在电动推杆208的外周，提高了电动推杆208的工作效率，进而提高了电动推杆208的使用寿命。

螺纹杆302的顶部固定连接有罩体，电机二304具体固定连接在罩体的中部，通过罩体对电机二304进行支撑，同时可提高电机二304的工作效率。

工作原理：使用时，首先将晶圆放置在存料盒207的中部，通过驱动多级液压缸202可带动齿条203进行移动，进而带动齿轮204进行转动，可使转盘205带动连接板206进行旋转运动，进而可将装有晶圆的存料盒207朝向其中一个运输组件4，并通过驱动电动推杆208可带动推板209对存料盒207内部的晶圆推到其中一个的运输组件4顶部进行运输，进而可对晶圆进行存储并进行依次下料工作，同时通过更换批次的方式可提高存储晶圆的量，无需员工持续对晶圆进行更换，进而降低了员工的劳动强度，并且当一个存料盒207进行维修时，也可使用另一个存料盒207进行工作，进而提高了晶圆清理的效率，当晶圆移动至其中一个运料组件7的底部时，通过驱动升降组件6可使运料组件7与晶圆接触，并通过驱动运料组件7可将晶圆吸附，同时再次驱动升降组件6使运料组件7带着吸附的晶圆升起，再通过驱动移动组件12可带动升降组件6和运料组件7进行移动，可将晶圆运输至放料盘11的中部，同时放料盘11中部清理完成的晶圆会被运料组件7放置在另一个运输组件4的顶部，可对清理好的晶圆进行下料处理，通过驱动水泵8可将清理液送入出水管9的中部，并在出水管9的作用下可将清理液喷向放置的晶圆，同时通过驱动电机一301和电机二304可使螺纹杆302和毛刷305同时转动，同时带动螺母座303进行移动，进而带动电机二304进行移动，可使毛刷305在旋转的过程中对晶圆进行清理，进而提高了清理晶圆的效率，同时在放料盘11的作用下可对清理液进行过滤，使其可以重复进行使用，以减少清理液的浪费。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种晶圆清洗机台自动化装置，包括储水箱(1)，其特征在于：所述储水箱(1)的左右两侧均固定连接有运输组件(4)，其中一个所述运输组件(4)的顶部固定连接有上料组件(2)，其中一个所述运输组件(4)的右侧固定连接有清理组件(3)，所述运输组件(4)的顶部固定连接有支撑板(5)，所述支撑板(5)的中部设置有移动组件(12)，所述移动组件(12)的中部滑动连接有升降组件(6)，所述升降组件(6)的底部固定连接有运料组件(7)，所述储水箱(1)的中部固定连接有过滤网(10)，所述过滤网(10)的顶部固定连接有放料盘(11)，所述储水箱(1)的内部固定连接有水泵(8)，所述水泵(8)的输出端固定连接有出水管(9)，所述出水管(9)朝向放料盘(11)；

所述上料组件(2)包括壳体(201)，所述壳体(201)固定连接在其中一个运输组件(4)的顶部，所述壳体(201)的内部固定连接有多级液压缸(202)，所述多级液压缸(202)的输出端固定连接有齿条(203)，所述壳体(201)的内部转动连接有齿轮(204)，所述齿条(203)和齿轮(204)相互啮合，所述齿轮(204)的顶部固定连接有转盘(205)，所述转盘(205)的外侧固定连接有两个连接板(206)，所述连接板(206)的顶部固定连接有存料盒(207)，所述转盘(205)的顶部固定连接有两个电动推杆(208)，所述电动推杆(208)的输出端固定连接有推板(209)，所述推板(209)滑动连接在存料盒(207)的中部。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗机台自动化装置，其特征在于：所述清理组件(3)包括电机一(301)，所述电机一(301)固定连接在其中一个运输组件(4)的右侧，所述电机一(301)的输出端固定连接有螺纹杆(302)，所述螺纹杆(302)的外周螺纹连接有螺母座(303)，所述螺母座(303)滑动连接在储水箱(1)的前侧，所述螺母座(303)的顶部固定连接有电机二(304)，所述电机二(304)的输出端固定连接有毛刷(305)，所述毛刷(305)和放料盘(11)相接触。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗机台自动化装置，其特征在于：所述存料盒(207)的顶部开设有放料口。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗机台自动化装置，其特征在于：所述存料盒(207)的左右两侧均开设有下料口，所述推板(209)具体滑动连接在下料口的中部。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆清洗机台自动化装置，其特征在于：所述存料盒(207)的右侧设置有斜槽。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗机台自动化装置，其特征在于：所述转盘(205)的顶部固定连接有防尘罩，所述电动推杆(208)具体固定连接在防尘罩的内部。

7.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗机台自动化装置，其特征在于：所述螺纹杆(302)的顶部固定连接有罩体，所述电机二(304)具体固定连接在罩体的中部。