CN210711712U - 一种水平式等离子设备的真空腔腔盖 - Google Patents

Abstract

本实用新型揭示一种水平式等离子设备的真空腔腔盖，包括分离筒，所述分离筒的内腔设置有真空腔，所述分离筒的顶端一体成型有密封筒架；所述密封筒架的内腔卡接有腔盖，所述腔盖顶部的背面固定连接有蓄电池，所述腔盖顶部的正面嵌设有控制器开关，所述腔盖的内腔设置有锁止机构。本实用新型通过增压泵、气管、高压腔室和活塞的配合，可对高压腔室施加强大压强，给活塞提供充沛动力，通过密封垫圈、锁止卡孔和锁止卡杆的配合，活塞带动四个锁止卡杆进行同步受压伸缩至锁止卡孔内对腔盖密封卡紧，解决了现有腔盖不具备气动锁止功能的问题，提高腔盖的密封卡紧性能，同时也避免腔盖在高速运作下出现漏气和脱落。

Description

一种水平式等离子设备的真空腔腔盖

技术领域

本实用新型涉及水平式等离子设备技术领域，具体涉及一种水平式等离子设备的真空腔腔盖。

背景技术

常规的等离子体设备，一般是通过控制反应腔室内的压力、气体成分、温度、等离子体源功率和时间来控制在工件上沉积出的膜层或刻蚀掉的基片的厚度和均匀性。

等离子设备应用比较广泛，例如环保、工业等领域，然而使用者对污染物质进行等离子净化时，需要将污染物质放入真空腔内，与真空腔配套密封的是腔盖，然而现有的腔盖不具备气动锁止功能，需要使用者手动使用工具对腔盖对风离子设备的真空腔进行密封，在等离子设备高速运作下，由于真空腔内压强较大，易造成腔盖出现漏气，甚至崩落，易损坏等离子设备，增加等离子设备的安全隐患。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供一种水平式等离子设备的真空腔腔盖，具备气动锁止功能等优点，解决了现有腔盖不具备气动锁止功能的问题。

本实用新型的一种水平式等离子设备的真空腔腔盖，包括分离筒，所述分离筒的内腔设置有真空腔，所述分离筒的顶端一体成型有密封筒架；

所述密封筒架的内腔卡接有腔盖，所述腔盖顶部的背面固定连接有蓄电池，所述腔盖顶部的正面嵌设有控制器开关，所述腔盖的内腔设置有锁止机构。

本实用新型的一种水平式等离子设备的真空腔腔盖，其中，所述锁止机构包括密封垫圈、锁止卡孔、增压泵、气管、高压腔室、活塞和锁止卡杆，所述腔盖的底部通过强力粘合胶粘接有密封垫圈，所述密封筒架内腔的四周均开设有锁止卡孔，所述腔盖顶部的左侧固定连接有增压泵，所述增压泵的右侧连通有气管，所述气管的底端贯穿腔盖并连通有高压腔室，所述高压腔室内腔的四周均滑动连接有活塞，所述活塞的外侧焊接有锁止卡杆，所述锁止卡杆的外侧贯穿腔盖并与锁止卡孔的内腔卡接。

本实用新型的一种水平式等离子设备的真空腔腔盖，其中，所述高压腔室内腔顶部的右侧连通有泄压管，所述泄压管的顶端贯穿至腔盖的顶部，所述泄压管左端的中心处连通有电动泄压阀。

本实用新型的一种水平式等离子设备的真空腔腔盖，其中，所述密封筒架内腔的底部开设有限位台阶，所述限位台阶的宽度为3cm-5cm，所述限位台阶位于密封垫圈和腔盖的底部。

本实用新型的一种水平式等离子设备的真空腔腔盖，其中，所述腔盖内腔顶部和底部的四周均焊接有支撑块，且支撑块的内侧焊接有限位滑套，所述限位滑套的内腔与锁止卡杆的表面滑动连接。

本实用新型的一种水平式等离子设备的真空腔腔盖，其中，所述腔盖和高压腔室内腔相对应四周的中心处均嵌设有密封套，且密封套位于锁止卡杆的表面。

本实用新型的一种水平式等离子设备的真空腔腔盖，其中，所述高压腔室的形状为十字形且中心腔连通有过渡甬道，且过渡甬道的内腔面积由大到小依次递减，所述活塞的滑动腔为长条矩形。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过增压泵、气管、高压腔室和活塞的配合，可对高压腔室施加强大压强，给活塞提供充沛动力，通过密封垫圈、锁止卡孔和锁止卡杆的配合，活塞带动四个锁止卡杆进行同步受压伸缩至锁止卡孔内对腔盖密封卡紧，解决了现有腔盖不具备气动锁止功能的问题，提高腔盖的密封卡紧性能，同时也避免腔盖在高速运作下出现漏气和脱落，降低等离子设备的安全隐患。

2、本实用新型通过泄压管和电动泄压阀，可对高压腔室进行泄压处理，避免高压腔室内部压强过大对其内部组件造成损坏，同时使活塞进行泄压复位，通过限位台阶的宽度为3cm-5cm且位于密封垫圈和腔盖的底部，便于使用者放置腔盖，通过支撑块和限位滑套，可对锁止卡杆进行限位滑动，避免锁止卡杆滑动时出现偏移，通过密封套，增强腔盖和高压腔室的密封性，通过高压腔室的形状为十字形、中心腔连通有过渡甬道且过渡甬道的内腔面积由大到小依次递减，可快速在高压腔室内汇聚气体产生较高压腔，继而可对活塞提供充沛动力。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型分离筒和密封筒架结构主视图；

图3为本实用新型腔盖结构剖视图；

图4为本实用新型腔盖和锁止卡杆结构俯视图；

图5为本实用新型高压腔室结构俯视图。

图中：1、分离筒；2、真空腔；3、密封筒架；4、腔盖；5、蓄电池；6、控制器开关；7、锁止机构；701、密封垫圈；702、锁止卡孔；703、增压泵；704、气管；705、高压腔室；706、活塞；707、锁止卡杆；8、泄压管；9、电动泄压阀；10、限位台阶；11、限位滑套。

具体实施方式

以下将以图式揭露本实用新型的多个实施方式，为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细节不应用以限制本实用新型。也就是说，在本实用新型的部分实施方式中，这些实务上的细节是非必要的。此外，为简化图式起见，一些习知惯用的结构与组件在图式中将以简单的示意的方式绘示之。

另外，在本实用新型中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，并非特别指称次序或顺位的意思，亦非用以限定本实用新型，其仅仅是为了区别以相同技术用语描述的组件或操作而已，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

请参阅图1-5，本实用新型的一种水平式等离子设备的真空腔腔盖，包括分离筒1，分离筒1的内腔设置有真空腔2，分离筒1的顶端一体成型有密封筒架3，密封筒架3内腔的底部开设有限位台阶10，限位台阶10的宽度为3cm-5cm，限位台阶10位于密封垫圈701和腔盖4的底部，通过限位台阶10的宽度为3cm-5cm且位于密封垫圈701和腔盖4的底部，便于使用者放置腔盖4；

密封筒架3的内腔卡接有腔盖4，腔盖4内腔顶部和底部的四周均焊接有支撑块，且支撑块的内侧焊接有限位滑套11，限位滑套11的内腔与锁止卡杆707的表面滑动连接，通过支撑块和限位滑套11，可对锁止卡杆707进行限位滑动，避免锁止卡杆707滑动时出现偏移，腔盖4和高压腔室705内腔相对应四周的中心处均嵌设有密封套，且密封套位于锁止卡杆707的表面，通过密封套，增强腔盖4和高压腔室705的密封性，腔盖4顶部的背面固定连接有蓄电池5，腔盖4顶部的正面嵌设有控制器开关6，腔盖4的内腔设置有锁止机构7，锁止机构7包括密封垫圈701、锁止卡孔702、增压泵703、气管704、高压腔室705、活塞706和锁止卡杆707，腔盖4的底部通过强力粘合胶粘接有密封垫圈701，密封筒架3内腔的四周均开设有锁止卡孔702，腔盖4顶部的左侧固定连接有增压泵703，增压泵703的右侧连通有气管704，气管704的底端贯穿腔盖4并连通有高压腔室705，高压腔室705的形状为十字形且中心腔连通有过渡甬道，且过渡甬道的内腔面积由大到小依次递减，活塞706的滑动腔为长条矩形，通过高压腔室705的形状为十字形、中心腔连通有过渡甬道且过渡甬道的内腔面积由大到小依次递减，可快速在高压腔室705内汇聚气体产生较高压腔，继而可对活塞706提供充沛动力，高压腔室705内腔顶部的右侧连通有泄压管8，泄压管8的顶端贯穿至腔盖4的顶部，泄压管8左端的中心处连通有电动泄压阀9，通过泄压管8和电动泄压阀9，可对高压腔室705进行泄压处理，避免高压腔室705内部压强过大对其内部组件造成损坏，同时使活塞706进行泄压复位，高压腔室705内腔的四周均滑动连接有活塞706，活塞706的外侧焊接有锁止卡杆707，锁止卡杆707的外侧贯穿腔盖4并与锁止卡孔702的内腔卡接，通过增压泵703、气管704、高压腔室705和活塞706的配合，可对高压腔室705施加强大压强，给活塞706提供充沛动力，通过密封垫圈701、锁止卡孔702和锁止卡杆707的配合，活塞706带动四个锁止卡杆707进行同步受压伸缩至锁止卡孔702内对腔盖4密封卡紧，解决了现有腔盖不具备气动锁止功能的问题，提高腔盖4的密封卡紧性能，同时也避免腔盖4在高速运作下出现漏气和脱落，降低等离子设备的安全隐患。

在使用本实用新型时：使用者将腔盖4和密封垫圈701放置在限位台阶10表面，同时使四个锁止卡杆707与四个锁止卡孔702对应对齐，蓄电池5给增压泵703和控制器开关6进行供电，接着控制器开关6控制增压泵703开启通过气管704对高压腔室705内施加高压，从而高压迫使四个活塞706进行同步向外侧滑动，四个活塞706同步带动四个锁止卡杆707向外侧卡入锁止卡孔702内，继而四个锁止卡杆707和四个锁止卡孔702的卡接配合对腔盖4进行卡紧密封，保证腔盖4和真空腔2的密封性。

以上所述仅为本实用新型的实施方式而已，并不用于限制本实用新型。对于本领域技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原理的内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包括在本实用新型的权利要求范围之内。

Claims (7)

1.一种水平式等离子设备的真空腔腔盖，包括分离筒(1)，其特征在于：所述分离筒(1)的内腔设置有真空腔(2)，所述分离筒(1)的顶端一体成型有密封筒架(3)；

所述密封筒架(3)的内腔卡接有腔盖(4)，所述腔盖(4)顶部的背面固定连接有蓄电池(5)，所述腔盖(4)顶部的正面嵌设有控制器开关(6)，所述腔盖(4)的内腔设置有锁止机构(7)。

2.根据权利要求1所述的一种水平式等离子设备的真空腔腔盖，其特征在于：所述锁止机构(7)包括密封垫圈(701)、锁止卡孔(702)、增压泵(703)、气管(704)、高压腔室(705)、活塞(706)和锁止卡杆(707)，所述腔盖(4)的底部通过强力粘合胶粘接有密封垫圈(701)，所述密封筒架(3)内腔的四周均开设有锁止卡孔(702)，所述腔盖(4)顶部的左侧固定连接有增压泵(703)，所述增压泵(703)的右侧连通有气管(704)，所述气管(704)的底端贯穿腔盖(4)并连通有高压腔室(705)，所述高压腔室(705)内腔的四周均滑动连接有活塞(706)，所述活塞(706)的外侧焊接有锁止卡杆(707)，所述锁止卡杆(707)的外侧贯穿腔盖(4)并与锁止卡孔(702)的内腔卡接。

3.根据权利要求2所述的一种水平式等离子设备的真空腔腔盖，其特征在于：所述高压腔室(705)内腔顶部的右侧连通有泄压管(8)，所述泄压管(8)的顶端贯穿至腔盖(4)的顶部，所述泄压管(8)左端的中心处连通有电动泄压阀(9)。

4.根据权利要求1所述的一种水平式等离子设备的真空腔腔盖，其特征在于：所述密封筒架(3)内腔的底部开设有限位台阶(10)，所述限位台阶(10)的宽度为3cm-5cm，所述限位台阶(10)位于密封垫圈(701)和腔盖(4)的底部。

5.根据权利要求1所述的一种水平式等离子设备的真空腔腔盖，其特征在于：所述腔盖(4)内腔顶部和底部的四周均焊接有支撑块，且支撑块的内侧焊接有限位滑套(11)，所述限位滑套(11)的内腔与锁止卡杆(707)的表面滑动连接。

6.根据权利要求1所述的一种水平式等离子设备的真空腔腔盖，其特征在于：所述腔盖(4)和高压腔室(705)内腔相对应四周的中心处均嵌设有密封套，且密封套位于锁止卡杆(707)的表面。

7.根据权利要求2所述的一种水平式等离子设备的真空腔腔盖，其特征在于：所述高压腔室(705)的形状为十字形且中心腔连通有过渡甬道，且过渡甬道的内腔面积由大到小依次递减，所述活塞(706)的滑动腔为长条矩形。

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