CN210666330U - 一种掩膜板清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种掩膜板清洗装置，包括清洗箱、第一清洗槽、第二清洗槽、第三清洗槽以及第四清洗槽，所述第一清洗槽、第二清洗槽、第三清洗槽以及第四清洗槽内部均设有超声波发生器，且内部具有清洗液，所述第四清洗槽内部具有摆动清洗结构，所述清洗箱上具有夹取结构，本实用新型涉及掩膜板技术领域。本案提供一种利用清洗装置对掩膜板进行清洗,清洗为全自动清洁，通过多个不同深度的清洗池，完成最终的清洁。

Description

一种掩膜板清洗装置

技术领域

本实用新型涉及掩膜板制造技术领域，具体为一种掩膜板清洗装置。

背景技术

现有的掩膜板清洁过程均由人工手动操作实现，在清洗过程中，人工操作失误发生几率较大，容易造成对掩膜板的污染，一旦掩膜板上粘上不明液态污渍，则会造成曝光过程中的焦距变化和穿透率失真。而对其保护只能依赖于人员的细心和经验，使得掩膜板的良品率较低，掩膜板用于多种用途，掩膜板在使用一段时间后，其表面会受到污染，而在上述现有方案中，再生工序复杂，造价较高，而为了满足市场需求，当前只能在工序复杂、造价昂贵的情况下继续进行制造，浪费人力、物力以及财力。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种掩膜板清洗装置，解决了掩膜板在使用一段时间后，其表面会受到污染，为此需要更换新的掩膜板，形成新的掩膜板，而上述现有方案中，再生工序复杂，造价较高，而为了满足市场需求，只能通过工序复杂，造价昂贵的代价继续进行制造，浪费精力以及经济的技术问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种掩膜板清洗装置，包括清洗箱、第一清洗槽、第二清洗槽、第三清洗槽以及第四清洗槽，其特征在于，所述第一清洗槽、第二清洗槽、第三清洗槽以及第四清洗槽内部均设有超声波发生器，且内部具有清洗液，所述第四清洗槽内部具有摆动清洗结构，所述清洗箱上具有夹取结构；

其中，夹取结构包含：安装架、移动机、移动板、电动杆、夹取架以及四个倒钩架；

所述安装架安置于清洗箱上，移动机装配在安装架上，移动板与移动机的移动端连接，电动杆垂直固定在移动板上，夹取架与电动杆伸缩端连接，所述四个倒钩架固定在夹取架底部；

所述摆动清洗结构包含：电机、清洗棒以及清洁刷；

所述电机安置于清洗箱内部，且位于第四清洗槽内，清洗棒与电机的驱动端连接，清洁刷与清洗棒连接；

优选的，所述移动机为直线模组平移台，且电性连接继电器。

优选的，所述电动杆为电动式推杆或伸缩电机。

优选的，所述电机采用防水电机，且与清洗箱之间具有固定架。

优选的，所述清洗箱底部具有四个支撑体；该支撑体对清洗箱进行支撑。

优选的，所述电动杆与移动板之间设有电机架；该电机架对电动杆固定。

有益效果

本实用新型提供了一种掩膜板清洗装置。具备以下有益效果，本案提供一种利用清洗装置对掩膜板进行清洗，清洗为全自动清洁，通过多个不同深度的清洗池，完成最终的清洁，通过对掩膜板的清洁，降低再生成本，且工序较为简单。

附图说明

图1为本实用新型所述一种掩膜板清洗装置的结构示意图。

图2为本实用新型所述一种掩膜板清洗装置的摆动清洗结构示意图。

图3为本实用新型所述一种掩膜板清洗装置的俯视结构示意图。

图4为本实用新型所述一种掩膜板清洗装置的摆动清洗结构的结构示意图。

图中：1-清洗箱；2-第一清洗槽；3-第二清洗槽；4-第三清洗槽；5-第四清洗槽；6-超声波发生器；7-安装架；8-移动机；9-移动板；10-电动杆；11- 夹取架；12-倒钩架；13-电机；14-清洗棒；15-清洁刷；16-支撑体；17-电机架；18-固定架。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种掩膜板清洗装置，包括清洗箱1、第一清洗槽2、第二清洗槽3、第三清洗槽4以及第四清洗槽5，其特征在于，所述第一清洗槽2、第二清洗槽3、第三清洗槽4以及第四清洗槽5内部均设有超声波发生器6，且内部具有清洗液，所述第四清洗槽5内部具有摆动清洗结构，所述清洗箱1上具有夹取结构；其中，夹取结构主要包含：安装架7、移动机8、移动板9、电动杆10、夹取架11以及四个倒钩架 12；所述安装架7安置于清洗箱1上，移动机8装配在安装架7上，移动板9 与移动机8的移动端连接，电动杆10垂直固定在移动板9上，夹取架11与电动杆10伸缩端连接，所述四个倒钩架12固定在夹取架11底部；所述摆动清洗结构主要包含：电机13、清洗棒14以及清洁刷15；所述电机13安置于清洗箱1内部，且位于第四清洗槽5内，清洗棒14与电机13的驱动端连接，清洁刷15与清洗棒14连接；所述移动机8为直线模组平移台，且电性连接继电器；所述电动杆10为电动式推杆或伸缩电机；所述电机13采用防水电机，且与清洗箱1之间具有固定架18；所述清洗箱1底部具有四个支撑体16；该支撑体16对清洗箱1进行支撑；所述电动杆10与移动板9之间设有电机架17；该电机架17对电动杆10固定。

实施例：本案主要由清洗箱1、第一清洗槽2、第二清洗槽3、第三清洗槽4以及第四清洗槽5组成，其中第一清洗槽2、第二清洗槽3、第三清洗槽 4以及第四清洗槽5内部均设有超声波发生器6，且内部具有清洗液，第四清洗槽5内部具有摆动清洗结构，清洗箱1上具有夹取结构；

需要说明的是，该技术方案是通过夹取结构对掩膜板进行夹取，且将掩膜板分别置于第一清洗槽2、第二清洗槽3、第三清洗槽4以及第四清洗槽5 内，且通过超声波发生器6对掩膜板进行清洗，最后在第四清洗槽5内进行快速深度清洁；

其中，夹取结构包含：安装架7、移动机8、移动板9、电动杆10、夹取架11以及四个倒钩架12；

安装架7安置于清洗箱1上，移动机8装配在安装架7上，移动板9与移动机8的移动端连接，电动杆10垂直固定在移动板9上，夹取架11与电动杆10伸缩端连接，四个倒钩架12固定在夹取架11底部；

需要说明的是，移动机8安置于安装架7上，通过移动机8的驱动，会使得移动板9带着电动杆10、夹取架11移动，当置于某个清洗槽上方后，控制电动杆推动夹取架11下降，掩膜板通过四个倒钩架12会掩膜板进行固定，使得掩膜板可上升或者下降；

摆动清洗结构包含：电机13、清洗棒14以及清洁刷15；

电机13安置于清洗箱1内部，且位于第四清洗槽5内，清洗棒14与电机13的驱动端连接，清洁刷15与清洗棒14连接；

需要说明是，当掩膜板位于第四清洗槽5内后，通知电机13对清洗棒14 驱动，清洗棒14使得清洁刷15转动，使得清洗刷对掩膜板进行清洁。

具体实施过程中，进一步的，移动机8为直线模组平移台，且电性连接继电器。

具体实施过程中，进一步的，电动杆10为电动式推杆或伸缩电机。

具体实施过程中，进一步的，电机13采用防水电机，且与清洗箱1之间具有固定架18。

具体实施过程中，进一步的，清洗箱1底部具有四个支撑体16；该支撑体16对清洗箱1进行支撑。

具体实施过程中，进一步的，电动杆10与移动板9之间设有电机架17；该电机架17对电动杆10固定。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下。由语句“包括一个......限定的要素，且不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素”。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种掩膜板清洗装置，其特征在于，包括清洗箱(1)、第一清洗槽(2)、第二清洗槽(3)、第三清洗槽(4)以及第四清洗槽(5)，所述第一清洗槽(2)、第二清洗槽(3)、第三清洗槽(4)以及第四清洗槽(5)内部均设有超声波发生器(6)，且内部具有清洗液，所述第四清洗槽(5)内部具有摆动清洗结构，所述清洗箱(1)上具有夹取结构；

其中，所述夹取结构包括：安装架(7)、移动机(8)、移动板(9)、电动杆(10)、夹取架(11)以及四个倒钩架(12)；

所述安装架(7)安置于清洗箱(1)上，移动机(8)装配在安装架(7)上，移动板(9)与移动机(8)的移动端连接，电动杆(10)垂直固定在移动板(9)上，夹取架(11)与电动杆(10)伸缩端连接，所述四个倒钩架(12)固定在夹取架(11)底部；

所述摆动清洗结构包括：电机(13)、清洗棒(14)以及清洁刷(15)；

所述电机(13)安置于清洗箱(1)内部，且位于第四清洗槽(5)内，清洗棒(14)与电机(13)的驱动端连接，清洁刷(15)与清洗棒(14)连接。

2.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗装置，其特征在于，所述移动机(8)为直线模组平移台，且电性连接继电器。

3.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗装置，其特征在于，所述电动杆(10)为电动式推杆或伸缩电机。

4.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗装置，其特征在于，所述电机(13)采用防水电机，且与清洗箱(1)之间具有固定架(18)。

5.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗装置，其特征在于，所述清洗箱(1)底部具有四个支撑体(16)；该支撑体(16)对清洗箱(1)进行支撑。

6.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗装置，其特征在于，所述电动杆(10)与移动板(9)之间设有电机架(17)；该电机架(17)对电动杆(10)固定。

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