CN210649058U - 一种线路板阻焊激光光刻机 - Google Patents
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Abstract
一种线路板阻焊激光光刻机，包括：传输机构、定位机构、光刻机构和机箱，传输机构、定位机构和光刻机构都位于机箱的内部，定位机构包括：至少两个滑块、至少两个CCD摄像头和定位导轨，CCD摄像头固定在所述滑块上，滑块可移动地设置在定位导轨上；光刻机构包括：激光发射器和支架，激光发射器固定在支架的上端，激光发射器包括：Y轴移动装置、X轴移动装置和激光头，激光头可移动地设置在X轴移动装置上，X轴移动装置可移动地设置在Y轴移动装置上。上述线路板阻焊激光光刻机不仅可以节省组焊层曝光和显影两个工艺步骤，大大提高效率，而且还可以实现光刻线路与线路板之间的准确定位，提高激光光刻工艺的精确性。
Description
技术领域
本实用新型涉及激光光刻机，尤其是涉及一种线路板阻焊激光光刻机。
背景技术
传统的光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的线路板组焊层光刻工艺要经历涂组焊材料、对准曝光、显影、刻蚀等工序。但是，传统的光刻工艺由于受到曝光和显影两个步骤的制约，因此难以进一步提高线路板的生产效率。
目前，有的激光光刻机(可参考中国专利CN106271046A公开的一种激光刻蚀方法和装置)利用激光束产生的高温使待刻蚀区域内的导电材料气化，从而使激光照射经过的区域形成刻蚀痕迹，以实现待刻蚀对象上各种电路结构的设计。
然而，上述类型激光光刻机无法保证激光发生器与相对位置关系，在线路板光刻过程中常常由于线路板歪斜或者偏离而导致光刻的线路发生偏移。
实用新型内容
本实用新型技术方案是针对上述情况的，为了解决上述问题而提供一种线路板阻焊激光光刻机，所述激光光刻机包括：传输机构、定位机构、光刻机构和机箱，所述传输机构、所述定位机构和所述光刻机构都位于所述机箱的内部，所述传输机构从所述机箱的前端延伸至后端，所述定位机构位于所述光刻机构的前侧，所述光刻机构位于所述机箱的后端；所述定位机构包括：至少两个滑块、至少两个CCD摄像头和定位导轨，所述CCD摄像头固定在所述滑块上，所述滑块可移动地设置在所述定位导轨上；所述光刻机构包括：激光发射器和支架，所述激光发射器固定在所述支架的上端，所述激光发射器包括：Y轴移动装置、X轴移动装置和激光头，所述激光头可移动地设置在所述X轴移动装置上，所述X轴移动装置可移动地设置在所述Y轴移动装置上。
进一步，所述滑块的下端具有定位轨道槽，所述定位导轨穿过定位轨道槽，所述定位轨道槽的两个侧壁上都具有多个导向电磁铁，所述定位轨道槽的底壁具有多个悬浮电磁铁，多个悬浮电磁铁呈两排的方式排列，所述定位导轨的截面呈字母“T”形状，所述定位导轨的横支臂两侧都具有多个超导磁体，多个超导磁体以极性相反的方式相间排列。
进一步，所述定位机构还包括：定位光栅尺，所述滑块的下端还具有定位检测槽，所述定位检测槽中具有定位读数头，所述定位光栅尺穿过所述定位检测槽。
进一步，所述支架由石材形成。
进一步，所述支架的下端具有两个支撑脚，所述支架的上端具有支撑面板，所述支撑脚与所述支撑面板之间具有连接板，所述连接板的宽度小于所述支撑脚的宽度
进一步，所述光刻设备还包括：两个排线槽，两个排线槽分别位于所述光刻机构的左侧和右侧。
采用上述技术方案后，本实用新型的效果是：具有上述结构的线路板阻焊激光光刻机，不仅可以节省组焊层曝光和显影两个工艺步骤，大大提高效率，而且还可以实现光刻线路与线路板之间的准确定位，提高激光光刻工艺的精确性。
附图说明
图1为本实用新型涉及的激光光刻机的示意图；
图2为本实用新型涉及的激光光刻机的内部视图。
图3为本实用新型涉及的定位机构的示意图；
图4为本实用新型涉及的光刻机构的示意图。
具体实施方式
特别指出的是，本实用新型中的术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
下面通过实施例对本实用新型技术方案作进一步的描述：
本实用新型提供一种线路板阻焊激光光刻机，结合图1和图2所示，激光光刻机包括：传输机构1、定位机构2、光刻机构3和机箱4，传输机构1、定位机构2和光刻机构3都位于机箱4的内部，传输机构1从机箱4的前端延伸至后端，定位机构2位于光刻机构3的前侧，光刻机构3位于机箱4的后端。在光刻设备工作时，可以把涂好阻焊层的电路板放置在传输机构1上，传输机构1将电路板从机箱4的前端传输至后端，其中，定位机构2用于确定电路板的具体位置，光刻机构3将设定好的电路图案通过激光照射到电路板上，使组焊层气化。
具体地，传输机构1包括：传输轨道11和支撑板12，支撑板12可移动地设置在传输轨道11上，传输轨道11从机箱4的前端延伸至后端。通过支撑板 12可以将线路板依次传输至定位机构2和光刻机构3的下方。
如图3所示，定位机构2包括：至少两个滑块21、至少两个CCD摄像头 22和定位导轨23，CCD摄像头22固定在滑块21上，滑块21可移动地设置在定位导轨23上。当传输机构1将电路板的一端传输至定位机构2的下方时，可以使滑块21在定位导轨23上移动，直到CCD摄像头找到位于电路板一端的两个角部的定位孔，并根据CCD摄像头此时的位置来确定电路板一端与传输板11 之间的相对位置；继续传输电路板，当电路板的另一端传输至定位机构2的下方时，可以使滑块21在定位导轨23上移动，直到CCD摄像头找到位于电路板另一端的两个角部的定位孔，并根据CCD摄像头此时的位置来确定电路板另一端与传输板11之间的相对位置，从而确定电路板的整体位置和尺寸。
可见，具有上述结构的定位机构，可以在光固化工艺之前确定电路板与传输板之间的相对位置以及电路板的尺寸，从而在光固化工艺的过程中保证线路图案投影到正确的位置。
作为一种优选的方案，滑块21通过磁悬浮的方式可移动地设置在定位导轨 23上。滑块21的下端具有定位轨道槽，定位导轨23穿过定位轨道槽，定位轨道槽的两个侧壁上都具有多个导向电磁铁，定位轨道槽的底壁具有多个悬浮电磁铁，多个悬浮电磁铁呈两排的方式排列，定位导轨23的截面呈字母“T”形状，定位导轨的横支臂两侧都具有多个超导磁体，多个超导磁体以极性相反的方式相间排列。磁悬浮的方式可以避免定位导轨23损坏，提高移动的稳定性。
作为一种优选的方案，定位机构2还包括：定位光栅尺24，滑块21的下端还具有定位检测槽，定位检测槽中具有定位读数头，定位光栅尺24穿过定位检测槽。通过传定位光栅尺24可以更准确地检测滑块21的位置。
作为一种优选的方案，滑块21为四个，CCD摄像头22为四个，定位导轨 23为两个，两个滑块21可移动地设置在一个定位导轨23上，另外两个滑块21 可移动地设置在另外一个定位导轨23上。四个CCD摄像头22同时检测电路板两端的定位孔，可以提高检测效率。
如图4所示，光刻机构3包括：激光发射器31和支架32，激光发射器31 固定在支架32的上端，激光发射器31包括：Y轴移动装置311、X轴移动装置312和激光头313，激光头313可移动地设置在X轴移动装置312上，X轴移动装置312可移动地设置在Y轴移动装置311上。通过Y轴移动装置311控制激光头313在前后方向上的移动，通过X轴移动装置312控制激光头313在左右方向上的移动，从而让激光头313发射的激光沿特定图案的轨迹移动，使线路板上的组焊层气化。
作为一种优选的方案，支架32由石材形成，支架32的下端具有两个支撑脚321，支架32的上端具有支撑面板333，支撑脚321与支撑面板333之间具有连接板332，连接板332的宽度小于支撑脚321的宽度。与传统的金属支架相比，石材的硬度较大，不易变形和断裂，使用寿命长。此外，由于连接板332 的宽度小于支撑脚321的宽度，因此可以减小支架32的重量，从而减小设备的整体重量。具体地，支架32由花岗岩或大理石形成。
由于采用了石材的支架，因此可以避免支架变形或者断裂的情况，防止投影方向偏转，使线路图案有效地投影在电路板上。
作为一种优选的方案，请继续参考图2，光刻设备还包括：两个排线槽5，两个排线槽5分别位于光刻机构3的左侧和右侧。排线槽5可以容纳多个投射光源31、CCD摄像头22、电磁铁的电源线，避免电源线对投射的光线造成干涉。
可见，具有上述结构的线路板阻焊激光光刻机，不仅可以直接使组焊层气化，节省组焊层曝光和显影两个工艺步骤，大大提高效率，而且还可以实现光刻线路与线路板之间的准确定位，提高激光光刻工艺的精确性。
以上所述实施例，只是本实用新型的较佳实例，并非来限制本实用新型的实施范围，故凡依本实用新型申请专利范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰，均应包括于本实用新型专利申请范围内。
Claims (6)
1.一种线路板阻焊激光光刻机，其特征在于，所述激光光刻机包括：传输机构、定位机构、光刻机构和机箱，所述传输机构、所述定位机构和所述光刻机构都位于所述机箱的内部，所述传输机构从所述机箱的前端延伸至后端，所述定位机构位于所述光刻机构的前侧，所述光刻机构位于所述机箱的后端；所述定位机构包括：至少两个滑块、至少两个CCD摄像头和定位导轨，所述CCD摄像头固定在所述滑块上，所述滑块可移动地设置在所述定位导轨上；所述光刻机构包括：激光发射器和支架，所述激光发射器固定在所述支架的上端，所述激光发射器包括：Y轴移动装置、X轴移动装置和激光头，所述激光头可移动地设置在所述X轴移动装置上，所述X轴移动装置可移动地设置在所述Y轴移动装置上。
2.根据权利要求1所述的线路板阻焊激光光刻机，其特征在于，所述滑块的下端具有定位轨道槽，所述定位导轨穿过定位轨道槽，所述定位轨道槽的两个侧壁上都具有多个导向电磁铁，所述定位轨道槽的底壁具有多个悬浮电磁铁，多个悬浮电磁铁呈两排的方式排列，所述定位导轨的截面呈字母“T”形状，所述定位导轨的横支臂两侧都具有多个超导磁体，多个超导磁体以极性相反的方式相间排列。
3.根据权利要求2所述的线路板阻焊激光光刻机，其特征在于，所述定位机构还包括：定位光栅尺，所述滑块的下端还具有定位检测槽，所述定位检测槽中具有定位读数头，所述定位光栅尺穿过所述定位检测槽。
4.根据权利要求1所述的线路板阻焊激光光刻机，其特征在于，所述支架由石材形成。
5.根据权利要求4所述的线路板阻焊激光光刻机，其特征在于，所述支架的下端具有两个支撑脚，所述支架的上端具有支撑面板，所述支撑脚与所述支撑面板之间具有连接板，所述连接板的宽度小于所述支撑脚的宽度。
6.根据权利要求1所述的线路板阻焊激光光刻机，其特征在于，所述光刻设备还包括：两个排线槽，两个排线槽分别位于所述光刻机构的左侧和右侧。
Priority Applications (1)
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Publications (1)
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| CN201921580475.7U Active CN210649058U (zh) | 2019-09-23 | 2019-09-23 | 一种线路板阻焊激光光刻机 |
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| CN (1) | CN210649058U (zh) |
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2019
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