CN210628256U - 槽式设备及其风道结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种槽式设备及其风道结构。其中所述槽式设备包含至少2个处理槽，所述槽式设备的风道结构包括分别设置在每一个处理槽两端的进风装置和出风装置，对所述出风装置进行抽风使每一个处理槽的进风装置和出风装置之间形成独立风道的抽风装置。本实用新型可以防止设备内多个处理槽之间的有害气体相互反应，同时也防止有害气体溢出对设备或人体造成损害。

Description

槽式设备及其风道结构

技术领域

本实用新型涉及槽式设备，尤其涉及槽式设备的风道结构。

背景技术

现有的槽式设备在太阳能硅片的处理过程中经常需要用到，具体包括了槽式清洗设备和槽式湿法处理设备，这些设备由于在对硅片的处理过程中涉及到了酸液和碱液的使用或处理，会导致设备的处理槽挥发出酸气和碱气，挥发出来的酸气或碱气若是不能及时排出处理，这些气体会对设备内一些零件造成腐蚀和对人体造成伤害，所以需将这些有害气体及时排除设备，同时将设备外部干净空气补入设备内部，目前现有技术中对于这些有害气体的处理都过于复杂，且酸气和碱气等多种气体容易混合，造成相应的损失。

实用新型内容

本实用新型为了解决现有技术中槽式设备在工作中产生的多种有害气体容易混合的技术问题，提出一种槽式设备及其风道结构。

本实用新型提出槽式设备的风道结构，其中所述槽式设备包含至少2个处理槽，所述风道结构包括分别设置在每一个处理槽两端的进风装置和出风装置，对所述出风装置进行抽风使每一个处理槽的进风装置和出风装置之间形成独立风道的抽风装置。

具体的，所述进风装置包括设置在槽式设备门板上的第一进风口和设于所述第一进风口处的第一过滤器。

具体的，所述进风装置还包括设置在所述槽式设备顶部与第一进风口处于处理槽相同端的第二进风口，设于所述第二进风口处的第二过滤器。

具体的，所述出风装置包括轴向与槽式设备的门板平行的抽风道，所述抽风道的进风口在所述槽式设备内的高度位于所述第一、第二进风口之间，所述抽风道的出风口位于所述槽式设备的顶部，且相对所述处理槽位于所述第一、第二进风口的相对端。

具体的，所述槽式设备的相对门板的另一端设有设备仓，所述抽风道与所述设备仓相邻设置，所述设备仓设有连通所述抽风道的出风口，所述出风口处设有可调节出风开度的挡板。

优选的，所述门板上设有透明窗。

优选的，所述各处理槽对应的独立风道相互平行。

本发明提出的槽式设备，采用了上述技术方案所述的风道结构。

具体的，所述槽式设备为清洗设备或湿法处理设备

本发明将每一个处理槽对应的门板和其他风道结构一一配对，在每一个处理槽的两端的进风装置和出风装置任一配对单独形成风道，一条生产线中，会有若干的独立风道，通过外部大风量的抽风，形成大流量的立体风道系统；从处理槽后端的出风装置往设备外抽风，处理槽前端的门板和顶部进风，任意两条风道在设备内部不交叉，防止酸气与碱气反应，直接向上排出。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的局部立体示意图；

图3为本实用新型的一个剖面视图。

附图标记：1、处理槽，2、门板，3、透明观察窗，4、设备仓， 5、进风装置，6、出风装置，7、出风口，8、可调节的挡板，9、螺栓安装孔。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚，以下结合附图和实施例对本实用新型进行详细的说明。应当理解，以下具体实施例仅用以解释本实用新型，并不对本实用新型构成限制。

如图1、图2所示，本实用新型的槽式设备以太阳能硅片的槽式清洗设备或湿法处理设备为例进行说明。槽式设备具有多个相互平行设置的处理槽1，处理槽1位于槽式设备靠近门板2的前端，槽式设备远离门板2的后端为设备仓4。

在太阳能硅片的处理过程当中，需要用来酸液、碱液等来进行刻蚀，槽式设备内的酸液、碱液在挥发后，设备内部的酸气和碱气容易在槽式设备发生反应，且设备内部的酸气和碱气一旦泄漏出来也容易对设备或人员造成损伤。为了对每一个处理槽1可能产生的气体进行处理，槽式设备的风道结构在每一个处理槽1的两端设置了相互配合使用的进风装置5和出风装置6，出风装置6有一个大功率的抽风装置（图中未示出），抽风装置对出风装置进行抽风，可以使每一个处理槽1的进风装置5和出风装置6之间形成相互独立风道，在本实施例中，各处理槽对应的独立风道是彼此相互平行的。若干独立的风道组成立体风道，相对于传统的单一风道，立体风道具有若干了独立的风道，在抽走设备内部的碱气时，气体不会经过其他的槽体，保证了各槽体内气体的洁净度；同时独立的风道使得各个处理槽可能产生的挥发气体不会相互混合发生化学反应，降低了生产风险。

本实施例中，进风装置具有两组进风口，一组进风口设置在槽式设备的门板2上，称为第一进风口，另一个进风口设置在槽式设备顶部，与第一进风口处于处理槽相同端，称为第二进风口。图中第一进风口设有两个，每个第一进风口处设置着第一过滤器（中效过滤器），第二进风口处设置着第二过滤器（中效过滤器），保证进入设备内部的空气经过滤器过滤得到较为洁净的空气，以达到改善设备内部洁净度的目的，提高硅片良品率。

本实施例中，出风装置6包括轴向与槽式设备的门板平行的抽风道，抽风道内可以设置第三过滤器，确保抽出的空气不含有对人体有害的酸气和碱气。在一个较优实施例中，抽风道的进风口在槽式设备内的高度位于第一、第二进风口之间，第一进风口和第二进风口处的气流最终合流在一起通过抽风道排出。抽风道的出风口位于槽式设备的顶部，相对处理槽位于第一、第二进风口的相对端，抽风道的出风口设置在设备顶部，可以方便各抽风道连接大功率的抽风装置，在一个具体实施例中，抽风装置可以是厂房的大功率排风系统，从而有利于形成明显的立体风道系统。

在一个较优实施例中，抽风道与槽式设备的设备仓4相邻设置，图中为相邻紧靠设置，设备仓4通过出风口7与抽风道连通，在出风口7处设有可调节出风开度的挡板。当酸气和碱气流入到设备仓4时，通过调节挡板，打开出风口7至需要的开度，就可以使设备仓4与抽风道连通，将设备仓内的酸气或碱气及时抽出，保证后部空间洁净和保护金属材质，防止腐蚀。并且在抽走气体的同时，可以对设备仓4内部的机器降温，或者在需要对设备仓进行降温时，也可以调节挡板，从而更换设备仓内的空气，进行散热。如图3所示，可调节的挡板8由于可以调节出风开度，即出风口打开的大小，会导致设备仓抽风流量的变化，当设备仓无异常时，开口小抽风流量小，抽风装置仅会抽取工艺槽的气体和少量的设备仓的气体，大部分是抽取工艺槽的气体，此时抽风机的工作压力小。当设备仓需要降温或抽气处理时，出风口打开较大，抽风流量大，抽风机全力抽取工艺槽的气体和设备仓全部的气体，机器负载大此时抽风机的工作压力大，通过调节挡板，能够调节抽风机的负载强度，让其按需调节来满足不同的需要。图3中其他的孔均为螺栓安装孔9。

在一个较优实施例中，槽式设备的门板2上设有透明观察窗3，例如PVC观察窗，可以方便工作人员观察槽式设备内部的运行情况。

综上所述，本实用新型可以在多个处理槽需要进行抽风的处理槽上方形成对应的风道，并追加对应的过滤器，使得整个设备形成具有多条独立的立体风道系统，来杜绝不同气体之间的反应和泄漏，为太阳能电池片的处理提供了有利的生产加工环境。

本发明的槽式设备包括但不限于太阳能硅片的清洗设备和湿法处理设备。

以上所述仅为本实用新型的具体实施方式。应当指出的是，凡在本实用新型构思的精神和框架内所做出的任何修改、等同替换和变化，都应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种槽式设备的风道结构，所述槽式设备包含至少2个处理槽，其特征在于，所述风道结构包括分别设置在每一个处理槽两端的进风装置和出风装置，对所述出风装置进行抽风使每一个处理槽的进风装置和出风装置之间形成独立风道的抽风装置。

2.如权利要求1所述的槽式设备的风道结构，其特征在于，所述进风装置包括设置在槽式设备门板上的第一进风口和设于所述第一进风口处的第一过滤器。

3.如权利要求2所述的槽式设备的风道结构，其特征在于，所述进风装置还包括设置在所述槽式设备顶部与第一进风口处于处理槽相同端的第二进风口，设于所述第二进风口处的第二过滤器。

4.如权利要求3所述的槽式设备的风道结构，其特征在于，所述出风装置包括轴向与槽式设备的门板平行的抽风道，所述抽风道的进风口在所述槽式设备内的高度位于所述第一、第二进风口之间，所述抽风道的出风口位于所述槽式设备的顶部，且相对所述处理槽位于所述第一、第二进风口的相对端。

5.如权利要求4所述的槽式设备的风道结构，其特征在于，所述槽式设备的相对门板的另一端设有设备仓，所述抽风道与所述设备仓相邻设置，所述设备仓设有连通所述抽风道的出风口，所述出风口处设有可调节出风开度的挡板。

6.如权利要求2所述的槽式设备的风道结构，其特征在于，所述门板上设有透明窗。

7.如权利要求1所述的槽式设备的风道结构，其特征在于，所述各处理槽对应的独立风道相互平行。

8.一种槽式设备，其特征在于，所述槽式设备采用了如权利要求1至7任意一项所述的风道结构。

9.如权利要求8所述的槽式设备，其特征在于，所述槽式设备为清洗设备或湿法处理设备。

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