CN210609830U - 一种微波等离子发生器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种微波等离子发生器，包括机箱，气体调节阀的输出端与流量阀的输入端相连，流量阀的输出端与高压阀的输入端相连，高压阀的输出端与微波等离子喷头机构的输入端相连，机箱内还设置有微波发生器，微波发生器的输出端与环形器的输入端相连，环形器通过负载装置与微波等离子喷头机构设置，机箱内设置有PLC控制单元和信号控制板单元，流量阀的信号端与信号控制板单元的输入端相连，信号控制板单元的反馈端与PLC控制单元的输入端相连，PLC控制单元的控制端通过信号控制板单元与高压阀的受控端相连，PLC控制单元的控制端与微波发生器的受控端相连。本实用新型能对产品可达到洁净度10°以内，同时低功率，低带电电压，耗材配件近乎零消耗。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种微波等离子发生器。
背景技术
在半导体行业内，TFT液晶，OLED柔性显示器制造行业。随着消费者对产品的要求越来越高，促使工厂需要对产品的质量把控更加严格。
通常液晶行业，客户对液晶显示屏的贴附面水滴角洁净度要求15°以内，目前通用做法是，利用微波等离子枪头装置，对液晶玻璃面板的芯片贴附位置进行微波清洗，然后传送给下段工序贴附。但其高功率，高带电电压，耗材配件消耗高。更换不同气体源(空气，氩气，氮气)，需更换内部配件，降低了工作效率。
有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的微波等离子发生器，使其更具有产业上的利用价值。
实用新型内容
为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种微波等离子发生器。
为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
一种微波等离子发生器，包括机箱，所述机箱内气体调节阀、流量阀和高压阀，三者位于机箱的侧边设置，所述气体调节阀的输入端与外置的气体罐的输出端相连，所述气体调节阀的输出端与流量阀的输入端相连，所述流量阀的输出端与高压阀的输入端相连，所述高压阀的输出端与微波等离子喷头机构的输入端相连，所述机箱内还设置有微波发生器，所述微波发生器的输出端与环形器的输入端相连，所述环形器通过负载装置与微波等离子喷头机构设置，所述机箱内设置有PLC控制单元和信号控制板单元，所述流量阀的信号端与信号控制板单元的输入端相连，所述信号控制板单元的反馈端与PLC控制单元的输入端相连，所述PLC控制单元的控制端通过信号控制板单元与高压阀的受控端相连，所述PLC控制单元的控制端与微波发生器的受控端相连。
优选地，所述的一种微波等离子发生器，所述机箱内设置有风扇，位于机箱的侧边固定。
优选地，所述的一种微波等离子发生器，所述微波等离子喷头机构包括壳体，所述壳体的上端设置有进气接头，所述进气接头通过连通管与喷嘴组件相连通，所述壳体上还设置有电缆接头，所述电缆接头与微波电缆线的一端相连，另一端与喷嘴组件相连，所述壳体内设置有点火装置，所述点火装置的受控端通过传输电缆与PLC控制单元的控制端相连，所述点火装置的点火端与喷嘴组件相连。
优选地，所述的一种微波等离子发生器，所述喷嘴组件包括喷嘴，所述喷嘴内设置有电极，位于中轴处设置，与点火装置上的放电针相碰触设置。
借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：
本实用新型的微波等离子发生器对产品清洁后可达到10°以内，同时低功率，低带电电压，耗材配件近乎零消耗。本实用新型还能依据不同的需求达到快速更换气体的要求，从而实现高效的工作效率。
上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型的侧视图；
图3是本实用新型微波等离子喷头机构的结构示意图；
图4是本实用新型的喷嘴组件的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例
如图1和图2所示，
一种微波等离子发生器，包括机箱1，所述机箱1内气体调节阀2、流量阀3和高压阀4，三者位于机箱1的侧边设置，所述气体调节阀2的输入端与外置的气体罐的输出端相连，所述气体调节阀2的输出端与流量阀3的输入端相连，所述流量阀3的输出端与高压阀4的输入端相连，所述高压阀4的输出端与微波等离子喷头机构5的输入端相连，所述机箱1内还设置有微波发生器10，所述微波发生器的输出端与环形器6的输入端相连，所述环形器6通过负载装置11与微波等离子喷头机构5设置，所述机箱1内设置有PLC控制单元7和信号控制板单元8，所述流量阀3的信号端与信号控制板单元8的输入端相连，所述信号控制板单元8的反馈端与PLC控制单元7的输入端相连，所述PLC控制单元7的控制端通过信号控制板单元8与高压阀4的受控端相连，所述PLC控制单元7的控制端与微波发生器的受控端相连。
本实用新型中所述机箱1内设置有风扇9，位于机箱1的侧边固定。
如图3和图4所示，本实用新型中所述微波等离子喷头机构5包括壳体51，所述壳体51的上端设置有进气接头52，所述进气接头52通过连通管与喷嘴组件53相连通，所述壳体51上还设置有电缆接头56，所述电缆接头56与微波电缆线54的一端相连，另一端与喷嘴组件53相连，所述壳体51内设置有点火装置55，所述点火装置55的受控端通过传输电缆与PLC控制单元7的控制端相连，所述点火装置55的点火端与喷嘴组件53相连，其中，所述喷嘴组件53包括喷嘴531，所述喷嘴531内设置有电极532，位于中轴处设置，与点火装置55上的放电针相碰触设置。
在上述的喷嘴组件53上设置有绝缘密封盖，放电针穿过绝缘密封盖与电极532相碰触。
上述的信号控制板单元、PLC控制单元和微波经环形器均是本领域技术人员已知的技术，在这不再做任何的赘述。
本实用新型的工作原理如下：
具体工作时，本装置由PLC控制单元控制微波发生器输出的功率大小，微波发生器输出的微波经环形器、负载装置、微波电缆线到喷头组件的电极上，同时由PLC控制单元控制信号触发点火装置，同时产生的正离子与负离子在空气中进行正负电荷中和的瞬间能量释放，同时由PLC控制单元控制气体调节阀、流量阀和高压阀使气体进入喷嘴组件内，在上述三者同时启动后，经分解过后的气源由喷嘴处喷出。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，并不用于限制本实用新型，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (4)
1.一种微波等离子发生器，其特征在于：包括机箱(1)，所述机箱(1)内气体调节阀(2)、流量阀(3)和高压阀(4)，三者位于机箱(1)的侧边设置，所述气体调节阀(2)的输入端与外置的气体罐的输出端相连，所述气体调节阀(2)的输出端与流量阀(3)的输入端相连，所述流量阀(3)的输出端与高压阀(4)的输入端相连，所述高压阀(4)的输出端与微波等离子喷头机构(5)的输入端相连，所述机箱(1)内还设置有微波发生器(10)，所述微波发生器的输出端与环形器(6)的输入端相连，所述环形器(6)通过负载装置(11)与微波等离子喷头机构(5)设置，所述机箱(1)内设置有PLC控制单元(7)和信号控制板单元(8)，所述流量阀(3)的信号端与信号控制板单元(8)的输入端相连，所述信号控制板单元(8)的反馈端与PLC控制单元(7)的输入端相连，所述PLC控制单元(7)的控制端通过信号控制板单元(8)与高压阀(4)的受控端相连，所述PLC控制单元(7)的控制端与微波发生器的受控端相连。
2.根据权利要求1所述的一种微波等离子发生器，其特征在于：所述机箱(1)内设置有风扇(9)，位于机箱(1)的侧边固定。
3.根据权利要求1所述的一种微波等离子发生器，其特征在于：所述微波等离子喷头机构(5)包括壳体(51)，所述壳体(51)的上端设置有进气接头(52)，所述进气接头(52)通过连通管与喷嘴组件(53)相连通，所述壳体(51)上还设置有电缆接头(56)，所述电缆接头(56)与微波电缆线(54)的一端相连，另一端与喷嘴组件(53)相连，所述壳体(51)内设置有点火装置(55)，所述点火装置(55)的受控端通过传输电缆与PLC控制单元(7)的控制端相连，所述点火装置(55)的点火端与喷嘴组件(53)相连。
4.根据权利要求3所述的一种微波等离子发生器，其特征在于：所述喷嘴组件(53)包括喷嘴(531)，所述喷嘴(531)内设置有电极(532)，位于中轴处设置，与点火装置(55)上的放电针相碰触设置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921813363.1U CN210609830U (zh) | 2019-10-25 | 2019-10-25 | 一种微波等离子发生器 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201921813363.1U CN210609830U (zh) | 2019-10-25 | 2019-10-25 | 一种微波等离子发生器 |
Publications (1)
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| CN210609830U true CN210609830U (zh) | 2020-05-22 |
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ID=70695481
Family Applications (1)
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| CN201921813363.1U Active CN210609830U (zh) | 2019-10-25 | 2019-10-25 | 一种微波等离子发生器 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN210609830U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113727508A (zh) * | 2020-05-26 | 2021-11-30 | 上海大学 | 一种新型真空微波等离子体离子源 |
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2019
- 2019-10-25 CN CN201921813363.1U patent/CN210609830U/zh active Active
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| CN113727508A (zh) * | 2020-05-26 | 2021-11-30 | 上海大学 | 一种新型真空微波等离子体离子源 |
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