CN210531746U - 一种真空反应室的阀门动态密封结构 - Google Patents

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王浩明
陈永萍
张广德
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Abstract

本实用新型公开了一种真空反应室的阀门动态密封结构,包括固定板和固定架,所述固定架的上端安装有固定板,所述固定架的下端外壁上设置有底板,所述底板的靠近左侧周长外部套接有固定座,所述底板和固定座通过六角螺母固定连接,所述固定架的前端左侧外壁上连接有向前延伸的固定片,通过将阀门动态密封结构改为波纹管密封结构,将其安装在真空和大气的交界处,导杆伸缩直接拉伸或压缩波纹管,不予机台直接摩擦,即避免了导杆与机台摩擦,使得阀门在使用时密封结构的摩擦能够大大减少密闭效果长时间使用也不会变差的问题,而且波纹管装置连接结构较为简单,安装实现此结构并不难,使得阀门动态密封结构的使用性能得到进一步提升。

Description

一种真空反应室的阀门动态密封结构
技术领域
本实用新型属于真空阀门相关技术领域,具体涉及一种真空反应室的阀门动态密封结构。
背景技术
真空阀门是指在真空系统中,用来改变气流方向,调节气流量大小,切断或接通管路的真空系统元件,真空阀门关闭件是用橡胶密封圈或金属密封圈来密封的,波纹管截止阀的波纹管是用不锈钢、高锌黄铜JI80、塑料和其他材料制成,小通径(口径在10毫米以下)的截止阀关闭件可采用膜片密封,低真空和中真空可以采用球形旋塞阀。
现有的真空反应室的阀门动态密封结构技术存在以下问题:隔绝门的工作环境是一半真空一半大气,所以在两端组件连接处需要做到密封,密封方式采用的是高分子橡胶材质密封,其结构包含三处o-ring(橡胶圈)槽,匹配三条o-ring一起密封,阀门上的导杆长期与之摩擦后会导致密封效果不佳,而且容易磨出粉末,导致污染真空反应室,而此反应室阀门的工作原理是先垂直90°上升,然后到最高处再向前微倾,所以其它门阀类的波纹管是无法达到这个效果,需要独立设计。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种真空反应室的阀门动态密封结构,以解决上述背景技术中提出的橡胶材质密封一段时间后摩擦致使密封效果不佳,普通门阀类的波纹管又无法满足本反应室阀门的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种真空反应室的阀门动态密封结构,包括固定板和固定架,所述固定架的上端安装有固定板,所述固定架的下端外壁上设置有底板,所述底板的靠近左侧周长外部套接有固定座,所述底板和固定座通过六角螺母固定连接,所述固定架的前端左侧外壁上连接有向前延伸的固定片,所述固定座和固定板及固定片和固定架均通过螺母固定连接,所述固定架的左端上侧外壁上设置有连接片,所述连接片后端的固定架左端上侧外壁上设置有固定杆,所述固定杆的前端外壁上连接有固定弹簧,所述底板的上端最右侧外壁上设置有连接座,所述连接座的周长内部设置有连接口,所述连接座的右端外壁上连接有波纹管密封装置,所述波纹管密封装置的左端穿过连接口并与固定架的右端外壁固定连接,所述波纹管密封装置上设置有波纹管,所述波纹管的左端圆周外壁上设置有连接杆,所述连接杆的左端圆周外壁和固定架固定连接,所述波纹管的右端圆周外壁上设置有固定柱,所述固定柱的右端圆周外壁上连接有向右延伸的导杆,所述导杆的右端圆周外壁上连接有连接块。
优选的,所述六角螺母共设置有六个,六个所述六角螺母的大小形状均相同,六个所述六角螺母分两组呈三角状设置在固定座的前后端外壁上。
优选的,所述导杆的圆周直径略小于连接杆的圆周直径,所述导杆的长度略大于连接杆的长度。
优选的,所述固定架的长度略小于固定板的长度,所述固定板的长度略小于底板的长度。
优选的,所述波纹管的圆周直径和连接口的圆周直径大小相同。
优选的,所述连接座的右端为大气状态,所述连接座左端为真空状态。
优选的,所述固定片共设置有两个,两个所述固定片的大小形状均相同,两个所述固定片分别设置在固定架前后端左侧外壁上。
与现有技术相比,本实用新型提供了一种真空反应室的阀门动态密封结构,具备以下有益效果:
本实用新型通过将阀门动态密封结构改为波纹管密封结构,将波纹管和导杆做为一个整体,将其安装在真空和大气的交界处,导杆伸缩直接拉伸或压缩波纹管,不予机台直接摩擦,即避免了导杆与机台摩擦,使得阀门在使用时密封结构的摩擦能够大大减少密闭效果长时间使用也不会变差的问题,而且波纹管装置连接结构较为简单,安装实现此结构并不难,使得阀门动态密封结构的使用性能得到进一步提升;
本新型真空反应室的阀门动态密封结构在使用时,将波纹管密封装置装在连接座的右端外壁上,将连接杆和固定架的右端外壁固定连接,波纹管密封装置密封安装完成后将阀门动态密封结构安装在门阀的下端,使用时即可通过波纹管的收缩隔绝空气的流通。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制,在附图中:
图1为本实用新型提出的一种真空反应室的阀门动态密封结构立体结构示意图;
图2为本实用新型提出的一种真空反应室的阀门动态密封结构正面结构示意图;
图3为本实用新型提出的波纹管密封装置结构示意图;
图4为本实用新型提出的波纹管密封装置整体结构示意图;
图中:1、固定板;2、连接片;3、固定杆;4、固定弹簧;5、固定架;6、连接座;7、连接口;8、波纹管密封装置;9、底板;10、固定座;11、六角螺母;12、固定片;13、连接块;14、导杆;15、固定柱;16、连接杆;17、波纹管。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4,本实用新型提供一种技术方案:一种真空反应室的阀门动态密封结构,包括固定板1和固定架5,固定架5的上端安装有固定板1,固定架5的下端外壁上设置有底板9,固定架5的长度略小于固定板1的长度,固定板1的长度略小于底板9的长度,底板9是主承重板,所以底板9的长度最长,底板9的靠近左侧周长外部套接有固定座10,底板9和固定座10通过六角螺母11固定连接,六角螺母11共设置有六个,六个六角螺母11的大小形状均相同,六个六角螺母11分两组呈三角状设置在固定座10的前后端外壁上,多个六角螺母11能够使得固定座10和底板9的连接更加紧密,固定架5的前端左侧外壁上连接有向前延伸的固定片12,固定座10和固定板1及固定片12和固定架5均通过螺母固定连接,固定架5的左端上侧外壁上设置有连接片2,连接片2后端的固定架5左端上侧外壁上设置有固定杆3,固定杆3的前端外壁上连接有固定弹簧4,底板9的上端最右侧外壁上设置有连接座6,连接座6的周长内部设置有连接口7,连接座6的右端外壁上连接有波纹管密封装置8,波纹管密封装置8的左端穿过连接口7并与固定架5的右端外壁固定连接。
一种真空反应室的阀门动态密封结构,波纹管密封装置8上设置有波纹管17,波纹管17的圆周直径和连接口7的圆周直径大小相同,这样波纹管17能够完全堵住连接口7,避免波纹管17在工作时会从连接口7中漏气,连接座6的右端为大气状态,连接座6左端为真空状态,通过连接座6右端的波纹管17对空气进行隔绝,便于对工作的需求,波纹管17的左端圆周外壁上设置有连接杆16,连接杆16的左端圆周外壁和固定架5固定连接,波纹管17的右端圆周外壁上设置有固定柱15,固定柱15的右端圆周外壁上连接有向右延伸的导杆14,导杆14的圆周直径略小于连接杆16的圆周直径,导杆14的长度略大于连接杆16的长度,导杆14是压缩拉伸波纹管17的部件,所以长度较比支撑波纹管17形变的连接杆16要长一些,导杆14的右端圆周外壁上连接有连接块13。
本实用新型的工作原理及使用流程:本实用新型安装好过后,工作时(即得电状态)阀内的阀杆移动将充气口堵住(密封住),同时使真空泵与被抽容器(或管道)接通,将容器内的气体抽出,不工作时(即失电状态)阀杆在弹簧作用下恢复原位将真空泵与被抽容器(或管道)隔开,同时大气由充气阀的充气口进入真空泵使泵内压强平衡,防止真空泵向被抽容器(或管道)返油,在使用时,将波纹管密封装置8装在连接座6的右端外壁上,将连接杆16和固定架5的右端外壁固定连接,波纹管密封装置8密封安装完成后将阀门动态密封结构安装在门阀的下端,使用时即可通过波纹管17的收缩隔绝空气的流通。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种真空反应室的阀门动态密封结构,包括固定板(1)和固定架(5),其特征在于:所述固定架(5)的上端安装有固定板(1),所述固定架(5)的下端外壁上设置有底板(9),所述底板(9)的靠近左侧周长外部套接有固定座(10),所述底板(9)和固定座(10)通过六角螺母(11)固定连接,所述固定架(5)的前端左侧外壁上连接有向前延伸的固定片(12),所述固定座(10)和固定板(1)及固定片(12)和固定架(5)均通过螺母固定连接,所述固定架(5)的左端上侧外壁上设置有连接片(2),所述连接片(2)后端的固定架(5)左端上侧外壁上设置有固定杆(3),所述固定杆(3)的前端外壁上连接有固定弹簧(4),所述底板(9)的上端最右侧外壁上设置有连接座(6),所述连接座(6)的周长内部设置有连接口(7),所述连接座(6)的右端外壁上连接有波纹管密封装置(8),所述波纹管密封装置(8)的左端穿过连接口(7)并与固定架(5)的右端外壁固定连接,所述波纹管密封装置(8)上设置有波纹管(17),所述波纹管(17)的左端圆周外壁上设置有连接杆(16),所述连接杆(16)的左端圆周外壁和固定架(5)固定连接,所述波纹管(17)的右端圆周外壁上设置有固定柱(15),所述固定柱(15)的右端圆周外壁上连接有向右延伸的导杆(14),所述导杆(14)的右端圆周外壁上连接有连接块(13)。
2.根据权利要求1所述的一种真空反应室的阀门动态密封结构,其特征在于:所述六角螺母(11)共设置有六个,六个所述六角螺母(11)的大小形状均相同,六个所述六角螺母(11)分两组呈三角状设置在固定座(10)的前后端外壁上。
3.根据权利要求1所述的一种真空反应室的阀门动态密封结构,其特征在于:所述导杆(14)的圆周直径略小于连接杆(16)的圆周直径,所述导杆(14)的长度略大于连接杆(16)的长度。
4.根据权利要求1所述的一种真空反应室的阀门动态密封结构,其特征在于:所述固定架(5)的长度略小于固定板(1)的长度,所述固定板(1)的长度略小于底板(9)的长度。
5.根据权利要求1所述的一种真空反应室的阀门动态密封结构,其特征在于:所述波纹管(17)的圆周直径和连接口(7)的圆周直径大小相同。
6.根据权利要求1所述的一种真空反应室的阀门动态密封结构,其特征在于:所述连接座(6)的右端为大气状态,所述连接座(6)左端为真空状态。
7.根据权利要求1所述的一种真空反应室的阀门动态密封结构,其特征在于:所述固定片(12)共设置有两个,两个所述固定片(12)的大小形状均相同,两个所述固定片(12)分别设置在固定架(5)前后端左侧外壁上。
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