CN210506502U - 用于真空设备破空管路的分流装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于真空设备破空管路的分流装置，包括：用于向真空腔室内输入破空气体的破空管道；设置在破空管道上以切换其工作状态的破空阀；设置于真空腔室内以实现破空的多个分流管；其中，所述破空管道在与各分流管相配合的一端设置有用于分流的转接头。本实用新型还有一个目的是提供一种用于真空设备破空管路的分流装置，其能够在进入真空腔室的一端通过配置多个分流管，使得破空气体经过各分流管分流后再进入腔体，减少对产品的冲击，保证产品质量，且整体结构简单，便于实施。

Description

用于真空设备破空管路的分流装置

技术领域

本实用新型涉及一种在真空镀膜破空技术领域。更具体地说，本实用新型涉及一种用在电池片工艺镀膜情况下的用于真空设备破空管路的分流装置。

背景技术

太阳能电池片中的CIGS镀膜设备，需要周期性的对镀膜真空腔室室进行抽真空工艺镀膜，破空流片等操作。当电池片工艺镀膜完成后，需要对镀膜真空腔室破空，使镀膜真空腔室由高真空状态变为大气状态再将电池片流出。故破空是真空镀膜设备一个不可或缺的步骤，一般的破空管路，破空管路出风口唯一，无法分流，气流集中冲击力大，将产生巨大的噪音污染，并且内部气流大对产品本身产生损伤，影响产品质量。

现有技术，如申请号为CN201821379503.4的破空装置，其是通过慢充管路向镀膜真空腔室内进行缓慢充气，进而降低了气流的冲击力，使得空气在进入到镀膜真空腔室内后，不会破坏电池片，其缺点在于结构复杂，不利于整体布局，不介于具体的实施。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。

本实用新型还有一个目的是提供一种用于真空设备破空管路的分流装置，其能够在进入真空腔室的一端通过配置多个分流管，使得破空气体经过各分流管分流后再进入腔体，减少对产品的冲击，保证产品质量，且整体结构简单，便于实施。

为了实现根据本实用新型的这些目的和其它优点，提供了一种用于真空设备破空管路的分流装置，包括：

用于向真空腔室内输入破空气体的破空管道；

设置在破空管道上以切换其工作状态的破空阀；

设置于真空腔室内以实现破空的多个分流管；

其中，所述破空管道在与各分流管相配合的一端设置有用于分流的转接头。

优选的是，其中，各转接头的输出端还连接有过滤模块。

优选的是，其中，所述过滤模块被配置为包括与转接头可拆卸连接的第一分流套管；

其中，各所述第一分流套管的周向侧壁上分别排布有多个分流通孔，且所述第一分流套管的自由端被配置为密封状态。

优选的是，其中，所述过滤模块被配置为还包括设置于第一分流套管内部的滤芯；

其中，所述滤芯被配置为活性炭管状结构。

优选的是，其中，所述过滤模块被配置为还括：

设置于第一分流套管内，以对滤芯进行固定的第二分流套管；

其中，所述滤芯的内径被配置为大于第二分流套管的外径；

所述第二分流套管的纵向侧壁上设置有至少一条对滤芯位置进行限定的开口槽。

优选的是，其中，所述滤芯通过截面为图钉状的定位条进而固定在开口槽内。

优选的是，其中，所述第二分流套管的长度被配置为小于第一分流套管的长度，且所述第一分流套管底部内壁上设置有对第二分流套管位置进行限定的沉槽。

优选的是，其中，所述转接头被配置为一端与破空管道可拆卸连接，另一端通过相配合的弧形延伸部进而得到多个分流端口。

本实用新型至少包括以下有益效果：其一，本实用新型通过配置分流装置，使得破空气体经过分流管进入腔体，对产品冲击小，整体结构简单，便于实施。

其二，本实用新型通过在分流管上配备过滤模块，减小破空气体杂质并提高腔室洁净度的同时降低噪音污染。

本实用新型的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本实用新型的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。

附图说明

图1为本实用新型的一个实施例中用于真空设备破空管路的分流装置的结构示意图；

图2为本实用新型的一个实施例中第二分流套管的结构示意图；

图3为本实用新型的另一个实施例中固定条的结构示意图；

图4为本实用新型的另一个实施例中分流装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。

应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。

图1、4示出了根据本实用新型的一种用于真空设备破空管路的分流装置实现形式，其中包括：

用于向真空腔室内输入破空气体的破空管道1；

设置在破空管道上以切换其工作状态的破空阀2；

设置于真空腔室内以实现破空的多个分流管3，其通过多个分流管的作用，将破空管内的气压进行分流，以使其输入的压力在预定范围内；

其中，所述破空管道在与各分流管相配合的一端设置有用于分流的转接头4，通过转接头的作用，将一个破空管中的气体分流成多束，以减小其输出气体的压力，在这种方案中通过在原破空主管后通过转接头增加多个分流管形成第一道气体分流，以使其进入真空腔室的气体可通过足够多的分流管对其气体压力进行分散，具体来说本方案基于真空设备破空管路分流装置的设计，包括破空区、分流区。气体首先通过破空阀控制从破风主管的进气口进入，再经过转接头上的4个或多个分流管对进气进行分流操作，进而减小对产品的冲击，保证产品质量，且整体结构简单，便于实施。

在另一种实例中，各转接头的输出端还连接有过滤模块5，本方案通过将经过4个或多个分流管出来的气体，通过过滤模块中的滤芯进行过滤，具体可将过滤模块采用蜂窝管设计，内部可设置为含有活性炭层的滤芯，将气体中的杂质减小，改善噪音污染。

如图1，在另一种实例中，所述过滤模块被配置为包括与转接头可拆卸连接的第一分流套管6，通过可拆卸的连接使其便于后期对滤芯的维护和更换；

其中，各所述第一分流套管的周向侧壁上分别排布有多个分流通孔7，其分流管过来的气体，经过分流管壁上均匀分布的多个圆形分流孔进行有效分流，可有效减小了破空气体的冲击力，降低对产品质量造成不良影响的概率，且所述第一分流套管的自由端被配置为密封状态，其使得其破空气体只能通过分流通孔进行流出，有效的对破空气体的冲击力及位置进行控制。这种方案的真空腔室内的破空管道有一片分流区域，其上均匀遍布分流孔，使得其破空效果可控度有效提高。

如图1，在另一种实例中，所述过滤模块被配置为包括设置于第一分流套管内部的滤芯8；

其中，所述滤芯被配置为活性炭管状结构，本方案应用于真空镀膜行业破空分流装置，其应用原因在于经过工艺镀膜后，真空腔室需要由真空状态到大气状态，在破空过程中，噪声及破空气体杂质会给操作人员带来噪音伤害和影响产品的质量，本专利设计一种分流装置用的滤芯，其能有效地与各分流套管相配合，实现在分流过程中对噪音和杂质的去除，能够有效杜绝上述问题发生。

如图2，在另一种实例中，所述过滤模块被配置为还包括：

设置于第一分流套管内，以对滤芯进行固定的第二分流套管9，其被配置为与第一分流套管相配合的网状结构或格栅状结构，或设置成与第一分流套管结构具有一致性；

其中，所述滤芯的内径被配置为大于第二分流套管的外径；

所述第第二分流套管的纵向侧壁上设置有至少一条对滤芯位置进行限定的开口槽10，在这种方案中通过第二分流套管的作用对滤芯的位置进行限定，并通过开口槽的设定，使得滤芯可部分挤压入槽内，以使其内径与第二分流套管的外径相配合，同时对滤芯的位置进行固定，防止其在工作和安装过种中产生的位置偏差，保证其工作过程中的稳定性，开口槽的长度可被配置为小于第二分流套管的长度，以保证其工作的稳定性。

如图3，在另一种实例中，所述滤芯通过截面为图钉状的定位条11进而固定在开口槽内，这种方案通过图钉状的固定销或定位条将滤芯顺利挤压入开口槽内，以完成滤芯的固定。

在另一种实例中，所述第二分流套管的长度被配置为小于第一分流套管的长度，且所述第一分流套管底部内壁上设置有对第二分流套管位置进行限定的沉槽，其通过第一分流套管底部的沉槽对第二分流套管及滤芯的安装位置进行限定，同时通过第二分流套管长度的限定，使得其不影响设备的安装，进而保证各部件组装后的结构稳定性。

如图1、4，在另一种实例中，所述转接头被配置为一端与破空管道可拆卸连接，另一端通过相配合的弧形延伸部12进而得到多个分流端口，其通过结构设计，使得其与内部原料的工作位置进行配合，同时可对其结构体积进行有效的限定，进而保证设备的体积不改变。

以上各方案用于降低生产过程中的杂质进入、较大噪声以及破空气体冲击力对产品造成的质量影响，均只是一种较佳实例的说明，但并不局限于此。在实施本实用新型时，可以根据使用者需求进行适当的替换和/或修改。

实施例：

如图1所示，一种基于真空设备破空管路的分流装置，包括设置的破空阀、破空管道、分流管和过滤模块；破空阀安装在破空管道上，通过控制破空气体进入破空管道，再经过分流管、过滤模块到达真空腔室实现破空分流。

如图4所示，破空管道经过分流管，形成一分四(或更多)，其中分流管布于真空腔体内。气体经过破空管道进入分流管第一次分流后通入真空腔体内，经过此处分流出气口流量大大减小，破空气体对产品的冲击力减小，降低对产品质量造成不良影响的概率，降低了噪音。

如图1所示，过滤模块包含分流套管，分流套管的管壁上均匀分布若干圆形分流通孔，套管内安装空气滤芯。在破空阀打开后气体经过分流装置后首先经过滤芯过滤气体杂质，保证腔室的洁净度，再经过分流套管管壁的分流通孔实现第二次分流降噪。

这里说明的设备数量和处理规模是用来简化本实用新型的说明的。对本实用新型的用于真空设备破空管路的分流装置的应用、修改和变化对本领域的技术人员来说是显而易见的。

尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用。它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域。对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改。因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。

Claims (2)

1.一种用于真空设备破空管路的分流装置，其特征在于，包括：

用于向真空腔室内输入破空气体的破空管道；

设置在破空管道上以切换其工作状态的破空阀；

设置于真空腔室内以实现破空的多个分流管；

其中，所述破空管道在与各分流管相配合的一端设置有用于分流的转接头；

各转接头的输出端还连接有过滤模块；

所述过滤模块被配置为包括与转接头可拆卸连接的第一分流套管；

各所述第一分流套管的周向侧壁上分别排布有多个分流通孔，且所述第一分流套管的自由端被配置为密封状态；

所述过滤模块被配置为还包括设置于第一分流套管内部的滤芯；

所述滤芯被配置为活性炭管状结构；

所述过滤模块被配置还包括：

设置于第一分流套管内，以对滤芯进行固定的第二分流套管；

所述滤芯的内径被配置为大于第二分流套管的外径；

所述第二分流套管的纵向侧壁上设置有至少一条对滤芯位置进行限定的开口槽；

所述滤芯通过截面为图钉状的定位条进而固定在开口槽内；

所述第二分流套管的长度被配置为小于第一分流套管的长度，且所述第一分流套管底部内壁上设置有对第二分流套管位置进行限定的沉槽。

2.如权利要求1所述的用于真空设备破空管路的分流装置，其特征在于，所述转接头被配置为一端与破空管道可拆卸连接，另一端通过相配合的弧形延伸部进而得到多个分流端口。

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