CN210394513U - 一种化学气相沉积炉气体预热装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种化学气相沉积炉气体预热装置，包括壳体、过滤机构、混合机构、换热管、放置盒和盖板；壳体的左右表面通过法兰连接盘安装有连接罩，连接罩上设有连接管；过滤机构与左侧的连接管连通；混合机构安装在壳体的前表面；换热管分布在壳体的内部，且与连接罩连通；放置盒通过限位机构安装在壳体前表面的放置槽中，放置盒上设有把手；本化学气相沉积炉气体预热装置，不会占用装料空间，可以加快空气的流动，能够提高对空气的预热效率，提高了生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，具体为一种化学气相沉积炉气体预热装置。
背景技术
碳复合材料在化学气相沉积过程中一般要进行碳源气预热，以提高，化学气相沉积过程的致密化效率和产品质量。
目前碳复合材料化学气相沉积过程所用预热装置主要有两种，单筒式预热装置和层板式预热装置。
层板式化学气相沉积预热器放置于炉膛内底部进气口之上，工件放置在预热器上，预热装置为石墨筛板组合结构。其通过分布在筛板内圆的筛孔对气体进行混合使气体吸收筛板的热量，然后进入其上筛板外缘的网孔继续进行气体混合换热，再进入内圆设计筛孔的筛板进行混合换热。如此反复进行5-7个循环后，实现碳源气的充分预热。该预热装置碳源气在换热器内流通距离长，经过筛孔的多次混合与预热器接触面积大，因此换热充分。可有效对碳源气预热。但由于预热器通过吸收炉膛底部热量实现对碳源气预热，占用了大量有效装料空间，预热效率较低，气体冷热分离严重，降低了生产效率。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种化学气相沉积炉气体预热装置，不会占用装料空间，可以加快空气的流动，能够提高对空气的预热效率，提高了生产效率，可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种化学气相沉积炉气体预热装置，包括壳体、过滤机构、混合机构、换热管、放置盒和盖板；
壳体：壳体的左右表面通过法兰连接盘安装有连接罩，连接罩上设有连接管；
过滤机构：过滤机构与左侧的连接管连通；
混合机构：混合机构安装在壳体的前表面；
换热管：换热管分布在壳体的内部，且与连接罩连通；
放置盒：放置盒通过限位机构安装在壳体前表面的放置槽中，放置盒上设有把手；
盖板：盖板通过合页安装在壳体的下表面，且与壳体前表面的放置槽对应设置，盖板上设有搭扣锁。
进一步的，还包括密封垫和顶柱，顶柱分布在密封垫上，密封垫安装在盖板上，盖板在固定在壳体上时，密封垫接触壳体，能够增加密封性，并且顶柱接触放置盒，使放置盒不会发生前后晃动。
进一步的，所述过滤机构包括进气管和空气过滤器，进气管设置在空气过滤器的进气口，空气过滤器与连接管连接，气相沉积炉内部的气体可以进入进气管中，并且通过空气过滤器可以对气体进行过滤，防止气体中的杂质沾附在换热管中。
进一步的，所述限位机构包括限位条和限位槽，限位条滑动连接在限位槽的内部，限位条安装在壳体前表面的放置槽内部，限位槽开设在放置盒上，放置盒早抽动的时候，限位槽能够起到限位作用，防止放置盒发生左右晃动。
进一步的，所述混合机构包括风机和导管，导管通过集气罩与风机连接，风机安装在壳体前表面的进气槽处，导管的另一端与壳体连通，风机的输入端与外部控制器的输出端电连接，通过风机的工作，可以通过导管将壳体中的空气抽出再排进壳体中，有利于壳体中气体的混合，加快壳体中气体进行流动，能够提高壳体中气体的预热速度。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本化学气相沉积炉气体预热装置，具有以下好处：
1、通过空气过滤器可以对气体进行过滤，防止气体中的杂质沾附在换热管中；
2、通过风机的工作，可以通过导管将壳体中的空气抽出再排进壳体中，有利于壳体中气体的混合，加快壳体中气体进行流动，能够提高壳体中气体的预热速度。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型剖面示意图。
图中：1壳体、2法兰连接盘、3连接罩、4连接管、5过滤机构、501进气管、502空气过滤器、6盖板、7密封垫、8限位机构、801限位条、802限位槽、9放置盒、10把手、11混合机构、1101风机、1102导管、12换热管、13顶柱、14搭扣锁。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种化学气相沉积炉气体预热装置，包括壳体1、过滤机构5、混合机构11、换热管12、放置盒9和盖板6；
壳体1：壳体1的左右表面通过法兰连接盘2安装有连接罩3，连接罩3上设有连接管4；
过滤机构5：过滤机构5与左侧的连接管4连通；
混合机构11：混合机构11安装在壳体1的前表面；
换热管12：换热管12分布在壳体1的内部，且与连接罩3连通，连接罩3内部的空气可以进入换热管12的内部，壳体1内部的气体可以吸收换热管12上的热量，实现气体预热；
放置盒9：放置盒9通过限位机构8安装在壳体1前表面的放置槽中，放置盒9上设有把手10；
盖板6：盖板6通过合页安装在壳体1的下表面，且与壳体1前表面的放置槽对应设置，盖板6上设有搭扣锁14，通过搭扣锁14可以将盖板6连接在壳体1上。
还包括密封垫7和顶柱13，顶柱13分布在密封垫7上，密封垫7安装在盖板6上，盖板6在固定在壳体1上时，密封垫7接触壳体1，能够增加密封性，并且顶柱13接触放置盒9，使放置盒9不会发生前后晃动。
过滤机构5包括进气管501和空气过滤器502，进气管501设置在空气过滤器502的进气口，空气过滤器502与连接管4连接，气相沉积炉内部的气体可以进入进气管501中，并且通过空气过滤器502可以对气体进行过滤，防止气体中的杂质沾附在换热管12中。
限位机构8包括限位条801和限位槽802，限位条801滑动连接在限位槽802的内部，限位条801安装在壳体1前表面的放置槽内部，限位槽802开设在放置盒9上，放置盒9早抽动的时候，限位槽802能够起到限位作用，防止放置盒9发生左右晃动。
混合机构11包括风机1101和导管1102，导管1102通过集气罩与风机1101连接，风机1101安装在壳体1前表面的进气槽处，导管1102的另一端与壳体1连通，风机1101的输入端与外部控制器的输出端电连接，通过风机1101的工作，可以通过导管1102将壳体1中的空气抽出再排进壳体1中，有利于壳体1中气体的混合，加快壳体1中气体进行流动，能够提高壳体1中气体的预热速度。
在使用时：连接外部控制器，使进气管501与化学气相沉积炉的出气口连通，化学气相沉积炉产生的热气体通过进气管501进入空气过滤器502，空气过滤器502对气体进行过滤，并且过滤后的气体通过连接罩3进入换热管12中；
放置盒9内部可以放上物料，推进壳体1中，通过搭扣锁14可以将盖板6连接在壳体1上，此时密封垫7接触壳体1，能够增加密封性，并且顶柱13接触放置盒9，使放置盒9不会发生前后晃动；
壳体1内部的气体可以吸收换热管12上的热量，实现气体预热，通过风机1101的工作，可以通过导管1102将壳体1中的空气抽出再排进壳体1中，有利于壳体1中气体的混合，加快壳体1中气体进行流动，能够提高壳体1中气体的预热速度，并且预热过的气体能够对物料充分接触。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种化学气相沉积炉气体预热装置，其特征在于：包括壳体(1)、过滤机构(5)、混合机构(11)、换热管(12)、放置盒(9)和盖板(6)；
壳体(1)：壳体(1)的左右表面通过法兰连接盘(2)安装有连接罩(3)，连接罩(3)上设有连接管(4)；
过滤机构(5)：过滤机构(5)与左侧的连接管(4)连通；
混合机构(11)：混合机构(11)安装在壳体(1)的前表面；
换热管(12)：换热管(12)分布在壳体(1)的内部，且与连接罩(3)连通；
放置盒(9)：放置盒(9)通过限位机构(8)安装在壳体(1)前表面的放置槽中，放置盒(9)上设有把手(10)；
盖板(6)：盖板(6)通过合页安装在壳体(1)的下表面，且与壳体(1)前表面的放置槽对应设置，盖板(6)上设有搭扣锁(14)。
2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉气体预热装置，其特征在于：还包括密封垫(7)和顶柱(13)，顶柱(13)分布在密封垫(7)上，密封垫(7)安装在盖板(6)上。
3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉气体预热装置，其特征在于：所述过滤机构(5)包括进气管(501)和空气过滤器(502)，进气管(501)设置在空气过滤器(502)的进气口，空气过滤器(502)与连接管(4)连接。
4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉气体预热装置，其特征在于：所述限位机构(8)包括限位条(801)和限位槽(802)，限位条(801)滑动连接在限位槽(802)的内部，限位条(801)安装在壳体(1)前表面的放置槽内部，限位槽(802)开设在放置盒(9)上。
5.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉气体预热装置，其特征在于：所述混合机构(11)包括风机(1101)和导管(1102)，导管(1102)通过集气罩与风机(1101)连接，风机(1101)安装在壳体(1)前表面的进气槽处，导管(1102)的另一端与壳体(1)连通，风机(1101)的输入端与外部控制器的输出端电连接。
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| CN201921392855.8U CN210394513U (zh) | 2019-08-26 | 2019-08-26 | 一种化学气相沉积炉气体预热装置 |
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| CN201921392855.8U CN210394513U (zh) | 2019-08-26 | 2019-08-26 | 一种化学气相沉积炉气体预热装置 |
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| CN210394513U true CN210394513U (zh) | 2020-04-24 |
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| CN201921392855.8U Active CN210394513U (zh) | 2019-08-26 | 2019-08-26 | 一种化学气相沉积炉气体预热装置 |
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| CN (1) | CN210394513U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114990521A (zh) * | 2022-06-22 | 2022-09-02 | 湖南九华碳素高科有限公司 | 一种卧式装炉沉积炉 |
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2019
- 2019-08-26 CN CN201921392855.8U patent/CN210394513U/zh active Active
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| CN114990521A (zh) * | 2022-06-22 | 2022-09-02 | 湖南九华碳素高科有限公司 | 一种卧式装炉沉积炉 |
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