CN210386450U - 一种涂硼用隧道烘干台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种涂硼用隧道烘干台，包括烘干台底座、电机、输送网链、传送轮、电控箱、烘干罩、红外线灯、温度传感器、抽风机、排气管、抽风管、通气管和尾气处理装置，所述第一烘干罩和第二烘干罩的内部前后壁上分别固定设有第一红外线灯和第二红外线灯，所述第一烘干罩和第二烘干罩的右侧壁上分别固定设有第一温度传感器和第二温度传感器。本实用新型涂硼用隧道烘干台，采用红外线加热的方式，热效率高；可以控制烘干速度、人工涂源速度以及输送网链的速度相匹配，方便连续化生产，提高了生产效率和硅片涂硼质量，实用性强。

Description

一种涂硼用隧道烘干台

技术领域

本实用新型涉及烘干设备技术领域，尤其是一种涂硼用隧道烘干台。

背景技术

在半导体硅片加工过程中，需要将硼涂抹在硅片上，然后进行扩散工艺，最后进行烘干操作，经过烘干后，可以使硅片表面附着一层硼材料，用来制作电子产品。传统的涂硼硅片采用电加热板烘烤的模式，即涂硼后的硅片被放在烘干台子上烘烤，烘烤一定的时间，然后在收集起来。这种方式存在一定的问题：加热板的尺寸有限，每次只能烘干有限数量的硅片；生产过程不连续，效率较低，而且在烘干过程中，会产生一些有害气体，污染环境，危害工人身体健康。

实用新型内容

为了克服现有技术中所存在的缺陷，本实用新型提供一种涂硼用隧道烘干台。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种涂硼用隧道烘干台，包括烘干台底座、电机、输送网链、传送轮、电控箱、烘干罩、红外线灯、温度传感器、抽风机、排气管、抽风管、通气管和尾气处理装置，所述烘干罩包括第一烘干罩和第二烘干罩，所述烘干台底座的上方设有传送轮，所述传送轮包括主动传送轮和从动传送轮，所述主动传送轮由电机带动，所述烘干台底座的上方罩有第一烘干罩和第二烘干罩，所述红外线灯包括第一红外线灯和第二红外线灯，所述温度传感器包括第一温度传感器和第二温度传感器，所述排气管包括第一排气管和第二排气管，所述第一烘干罩和第二烘干罩的内部前后壁上分别固定设有第一红外线灯和第二红外线灯，所述第一烘干罩和第二烘干罩的右侧壁上分别固定设有第一温度传感器和第二温度传感器，所述第一烘干罩和第二烘干罩上方分别连接有第一排气管和第二排气管，所述第一排气管、第二排气管通过三通头与抽风管相连通，所述抽风管上设有抽风机，所述抽风管的端部与尾气处理装置相连接，所述尾气处理装置上端为中空圆柱体形，下端为中空锥体形，所述尾气处理装置内部的上端设有三层活性炭过滤层，所述尾气处理装置的中部设有通气管，所述尾气处理装置的底端设有排液管，所述排液管上设有阀门。

上述的一种涂硼用隧道烘干台，所述第一温度传感器、第二温度传感器、电机、抽风机、第一红外线灯和第二红外线灯均与电控箱电性连接。

与现有技术相比本实用新型具有以下优点和突出性效果：

本实用新型的有益效果是，本实用新型涂硼用隧道烘干台，结构设计合理，采用红外线加热的方式，热效率高；可以控制烘干速度、人工涂源速度以及输送网链的速度相匹配；设有两个烘干罩，第一烘干罩可以将涂硼后的硅片预烘干，从第一烘干罩出来的预烘干硅片，根据需要可以人工对其底部进行擦拭，防止上方的硼液流下来污染硅片底部，擦拭后的硅片可以通过第二烘干罩烘干，在烘干台的尾部可以集中收集硅片，方便连续化生产，提高了生产效率和硅片涂硼质量；设有抽风机和尾气处理装置，可以对烘干过程中产生的废气进行处理，环保、实用性强。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1为本实用新型结构示意图。

图中1.烘干台底座，2.电机，3.输送网链，4.第一红外线灯，5.第一烘干罩，6.第一排气管，7.三通头，8.抽风管，9.抽风机，10.尾气处理装置，11.阀门，12.第二排气管，13.第二烘干罩，14.第二红外线灯，15.第二温度传感器， 16.从动传送轮，17.电控箱，18.第一温度传感器，19.通气管。

具体实施方式

为使本领域技术人员更好的理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作详细说明。

【实施例1】

一种涂硼用隧道烘干台，包括烘干台底座1、电机2、输送网链3、传送轮、电控箱17、烘干罩、红外线灯、温度传感器、抽风机9、排气管、抽风管8、通气管19和尾气处理装置10，所述烘干罩包括第一烘干罩5和第二烘干罩13，所述烘干台底座1的上方设有传送轮，所述传送轮包括主动传送轮和从动传送轮16，所述主动传送轮由电机2带动，所述烘干台底座1的上方罩有第一烘干罩5和第二烘干罩13，所述红外线灯包括第一红外线灯4和第二红外线灯14，所述温度传感器包括第一温度传感器18和第二温度传感器 15，所述排气管包括第一排气管6和第二排气管12，所述第一烘干罩5和第二烘干罩13的内部前后壁上分别固定设有第一红外线灯4和第二红外线灯 14，所述第一烘干罩5和第二烘干罩13的右侧壁上分别固定设有第一温度传感器18和第二温度传感器15，所述第一烘干罩5和第二烘干罩13上方分别连接有第一排气管6和第二排气管12，所述第一排气管6、第二排气管12通过三通头7与抽风管8相连通，所述抽风管8上设有抽风机9，所述抽风管8 的端部与尾气处理装置10相连接，所述尾气处理装置10上端为中空圆柱体形，下端为中空锥体形，所述尾气处理装置10内部的上端设有三层活性炭过滤层，所述尾气处理装置10的中部设有通气管19，所述尾气处理装置10的底端设有排液管，所述排液管上设有阀门11。

进一步的，所述第一温度传感器18、第二温度传感器15、电机2、抽风机9、第一红外线灯4和第二红外线灯14均与电控箱17电性连接。

本实用新型工作时，首先将涂硼好的硅片放在输送网链3的最左端，调节好电机2的转速，使硅片由输送网链3输送到第一烘干罩5下，在第一红外线灯4的作用下，硅片被预烘干；在输送网链3的输送下，预烘干的硅片由第一烘干罩5的右端出来后，工人可以将预烘干的硅片底部进行擦拭干净，防止上方的硼液流下来污染硅片的下表面，被擦拭干净的硅片继续被防置在输送网链3上，在第二烘干罩5内的第二红外线灯14的作用下硅片被烘干，最后从第二烘干罩5的右侧被输送出来，工人可以进行集中收集；在烘干过程中，抽风机9将烘干过程产生的废气抽到尾气处理装置10内，废气、废尘被尾气处理装置10内的活性炭过滤层吸附过滤，废气中的水蒸气冷凝得到的冷凝水在尾气处理装置10的底部聚集，最后被排出。

以上实施例仅为本实用新型的示例性实施例，不用于限制本实用新型，本实用新型的保护范围由权利要求书限定。本领域技术人员可以在本实用新型的实质和保护范围内，对本实用新型做出各种修改或等同替换，这种修改或等同替换也应视为落在本实用新型的保护范围内。

Claims (2)

1.一种涂硼用隧道烘干台，包括烘干台底座(1)、电机(2)、输送网链(3)、传送轮、电控箱(17)、烘干罩、红外线灯、温度传感器、抽风机(9)、排气管、抽风管(8)、通气管(19)和尾气处理装置(10)，其特征在于：所述烘干罩包括第一烘干罩(5)和第二烘干罩(13)，所述烘干台底座(1)的上方设有传送轮，所述传送轮包括主动传送轮和从动传送轮(16)，所述主动传送轮由电机(2)带动，所述烘干台底座(1)的上方罩有第一烘干罩(5)和第二烘干罩(13)，所述红外线灯包括第一红外线灯(4)和第二红外线灯(14)，所述温度传感器包括第一温度传感器(18)和第二温度传感器(15)，所述排气管包括第一排气管(6)和第二排气管(12)，所述第一烘干罩(5)和第二烘干罩(13)的内部前后壁上分别固定设有第一红外线灯(4)和第二红外线灯(14)，所述第一烘干罩(5)和第二烘干罩(13)的右侧壁上分别固定设有第一温度传感器(18)和第二温度传感器(15)，所述第一烘干罩(5)和第二烘干罩(13)上方分别连接有第一排气管(6)和第二排气管(12)，所述第一排气管(6)、第二排气管(12)通过三通头(7)与抽风管(8)相连通，所述抽风管(8)上设有抽风机(9)，所述抽风管(8)的端部与尾气处理装置(10)相连接，所述尾气处理装置(10)上端为中空圆柱体形，下端为中空锥体形，所述尾气处理装置(10)内部的上端设有三层活性炭过滤层，所述尾气处理装置(10)的中部设有通气管(19)，所述尾气处理装置(10)的底端设有排液管，所述排液管上设有阀门(11)。

2.根据权利要求1所述的一种涂硼用隧道烘干台，其特征在于，所述第一温度传感器(18)、第二温度传感器(15)、电机(2)、抽风机(9)、第一红外线灯(4)和第二红外线灯(14)均与电控箱(17)电性连接。

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