CN210335563U - 玻璃基板托盘 - Google Patents

Abstract

本公开涉及一种玻璃基板托盘。玻璃基板托盘包括箱体(3)和多个沿周向分布在所述箱体(3)边缘的定位机构，箱体(3)的上表面设置有与其内部连通的透气孔(32)，箱体(3)的内部可选择性地与高压气源或真空气路连通；玻璃基板托盘具有定位位置和非定位位置，定位机构从箱体(3)边缘凸出于箱体(3)的上表面以使玻璃基板托盘处于定位位置，定位机构从箱体(3)的上表面收回，以使玻璃基板托盘处于非定位位置。该玻璃基板托盘解决了现有技术中玻璃基板在托盘上容易出现位移且存在容易划伤玻璃基板与托盘接触的表面的问题。

Description

玻璃基板托盘

技术领域

本公开涉及玻璃基板生产制造技术领域，具体地，涉及一种玻璃基板托盘。

背景技术

目前浮法生产的玻璃基板一般都要利用抛光机进行表面机械抛光，消除表面划痕及杂质，降低表面波纹度，以提高玻璃基板表面质量来满足玻璃基板的使用需要。

现有技术中，抛光机的托盘在对玻璃基板定位时，玻璃基板容易出现位移导致抛光精度下降且存在容易划伤玻璃基板与托盘接触的表面的问题。

实用新型内容

本公开的目的是提供一种玻璃基板托盘，该玻璃基板托盘解决了现有技术中玻璃基板在托盘上容易出现位移且存在容易划伤玻璃基板与托盘接触的表面的问题。

为了实现上述目的，本公开提供一种玻璃基板托盘，包括箱体和多个沿周向分布在所述箱体边缘的定位机构，所述箱体的上表面设置有与其内部连通的透气孔，所述箱体的内部可选择性地与高压气源或真空气路连通；

所述玻璃基板托盘具有定位位置和非定位位置，所述定位机构从所述箱体边缘凸出于所述箱体的上表面以使所述玻璃基板托盘处于所述定位位置，所述定位机构从所述箱体的上表面收回，以使所述玻璃基板托盘处于所述非定位位置。

可选地，所述定位机构包括摆臂、销轴和弹性件，所述摆臂通过所述销轴可转动地与所述箱体的侧面相连，所述弹性件具有使得所述摆臂靠近所述箱体侧面的回复力；

所述摆臂翻转到与所述箱体的侧面相贴合以从边缘凸出于所述箱体的上表面以使所述玻璃基板托盘处于所述定位位置，所述摆臂转动并脱离所述箱体的侧面以从所述箱体的上表面收回以使所述玻璃基板托盘处于所述非定位位置。

可选地，所述玻璃基板托盘还包括支承座，所述箱体上设置有顶面和侧面开放的安装槽，所述支承座设置在所述安装槽内且所述销轴可转动地设置于所述支承座，当所述玻璃基板托盘处于所述定位位置时，所述摆臂与所述支承座的侧面贴合，所述支承座的侧面相对所述箱体的侧面靠近于所述箱体的中心。

可选地，所述玻璃基板托盘还包括限位件，所述限位件固定设置在所述摆臂的下方以限制所述摆臂的转动角度。

可选地，所述限位件为限位螺钉，所述限位螺钉与所述支承座连接。

可选地，所述箱体上开设有气管接头，该气管接头可选择性地与所述高压气源或所述真空气路连通。

可选地，所述透气孔的数量为多个且均匀分布在所述箱体的上表面，所述箱体内设置有多块横向筋板和多块纵向筋板，所述多块横向筋板和所述多块纵向筋板呈十字交错布置，所述横向筋板上设置有沿纵向延伸的第一通气道，所述纵向筋板上开设有沿横向延伸的第二通气道，所述第一通气道和所述第二通气道分别与所述透气孔连通。

可选地，所述箱体包括底板和周向封闭的框架，所述底板与所述框架连接，所述横向筋板和所述纵向筋板固定在所述框架内。

可选地，所述玻璃基板托盘还包括密封件，所述密封件设置在所述底板与所述框架之间。

可选地，所述玻璃基板托盘还包括多个紧固件，所述底板通过所述紧固件与所述框架连接，所述横向筋板和所述纵向筋板通过所述紧固件与所述底板连接。

通过上述技术方案，当需要进行玻璃基板上片时，定位机构可以在外部动力机构的作用下脱离箱体的侧面，也就是远离箱体的侧面，然后接通高压气源以使箱体上表面的玻璃基板气浮，也就是使玻璃基板相对箱体的上表面悬浮，随后，多个定位机构回复初始位置，使得多个定位机构可以校正玻璃基板在箱体上表面的位置，也就是使玻璃基板限定在多个定位机构围成的区域内，然后关闭高压气源并接通真空气路，即在箱体的内部产生负压，使得玻璃基板可以通过透气孔吸附固定，有利于提高玻璃基板的抛光精度，采用气浮定位，使得玻璃基板在定位过程中可以避免与箱体的上表面接触，从而避免被箱体的上表面划伤。当需要进行玻璃基板下片时，关闭真空气路即可取出玻璃基板。

本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：

图1为本公开示例性实施方式提供的玻璃基板托盘的结构示意图；

图2为图1的剖视图；

图3为图2中的放大示意图；

图4为本公开示例性实施方式提供的支承座与定位机构的结构示意图；

图5为本公开另一实施方式提供的定位机构与箱体的结构示意图；

图6为图1的另一种视角的结构示意图。

附图标记说明

1 支承座 2 摆臂

3 箱体 4 销轴

5 底板 6 密封件

7 限位件 8 弹性件

9 横向筋板 10 纵向筋板

11 第二通气道 12 直线驱动件

13 夹紧块 31 气管接头

32 透气孔 51 紧固孔

91 第一通气道

具体实施方式

以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。

本公开中，在未做相反说明的情况下，术语名词“上、下”是指产品处于使用时惯常摆放的方位或位置关系，可以理解为沿重力方向的上、下，也与附图中图面的“上、下”相对应；“内、外”是指相对于部件或结构本身轮廓的“内、外”。此外，需要说明的是，所使用的术语如“第一”、“第二”等是为了区别一个要素和另一个要素，不具有顺序性和重要性。

本公开的实施方式提供一种玻璃基板托盘，参阅图1、图2和图3，该玻璃基板托盘包括箱体3和多个沿周向分布在箱体3边缘的定位机构，箱体3的上表面设置有与其内部连通的透气孔32，其中，箱体3的周向以及底部为封闭状，箱体3的内部可选择性地与高压气源或真空气路连通，高压气源即为空气压缩机，空气压缩机可通过电磁阀向箱体3内输入压缩气体，真空气路可以由空气压缩机和真空发生器产生，玻璃基板托盘具有定位位置和非定位位置，定位机构从箱体3的边缘凸出于箱体3的上表面以使玻璃基板托盘处于定位位置，定位机构从箱体3的上表面收回，以使玻璃基板托盘处于非定位位置，其中，图1示出的玻璃基板托盘处于为非定位位置。

通过上述技术方案，当需要进行玻璃基板上片时，定位机构可以在外部动力机构的作用下脱离箱体3的侧面，也就是远离箱体3的侧面，然后接通高压气源以使箱体3上表面的玻璃基板气浮，也就是使玻璃基板相对箱体3的上表面悬浮，随后，多个定位机构回复初始位置，使得多个定位机构可以校正玻璃基板在箱体3上表面的位置，也就是使玻璃基板限定在多个定位机构围成的区域内，然后关闭高压气源并接通真空气路，即在箱体3的内部产生负压，使得玻璃基板可以通过透气孔32吸附固定，有利于提高玻璃基板的抛光精度，采用气浮定位，使得玻璃基板在定位过程中可以避免与箱体3的上表面接触，从而避免被箱体3的上表面划伤。当需要进行玻璃基板下片时，关闭真空气路即可取出玻璃基板。

其中，外部的动力机构可以设置为气缸，即通过气缸的活塞杆可以推动定位机构脱离箱体3的侧面。

其中，定位机构可以构造成任意合适的结构。

参阅图2、图3和图4，本实施方式中，定位机构可以包括摆臂2、销轴4和弹性件8，摆臂2通过销轴4可转动地与箱体3的侧面相连，即摆臂2可以相对箱体3的侧面转动，弹性件8具有使得摆臂2靠近箱体3侧面的回复力，弹性件8可以为拉簧，摆臂2翻转到与箱体3的侧面相贴合以从箱体3边缘凸出于箱体3的上表面，以使玻璃基板托盘处于定位位置，摆臂2转动并脱离箱体3的侧面，以从箱体3的上表面收回以使玻璃基板托盘处于非定位位置。由此，玻璃基板上片时，保持摆臂2与箱体3的侧面未接触，此时可通过高压气源输入压缩空气以使玻璃基板气浮，当外部的动力机构解除对定位机构的作用力时，定位机构可以在弹性件8的回复力作用下回复初始状态，即摆臂2从边缘凸出于箱体3的上表面并与箱体3的侧面贴合，从而将玻璃基板定位在多个定位机构之间。

为了避免摆臂2与玻璃基板的侧面刚性接触，还可以在摆臂2上设置缓冲层，例如，可以在摆臂2上设置橡胶层或者泡棉。

参阅图2和图5，在其他实施方式中，该定位机构可以包括直线驱动件12和夹紧块13，直线驱动件12可以固定在箱体3内，也可以固定在箱体3的底部，优选设置在箱体3的底部，夹紧块13呈L型结构，并与直线驱动件12连接，夹紧块13的至少部分凸出于箱体3的上表面，也就是夹紧块13的高度大于箱体3的上表面，由此，直线驱动件12可以带动夹紧块13作直线运动，当直线驱动件12带动夹紧块13靠近箱体3时，可以对玻璃基板进行定位，当直线驱动件12带动夹紧块13远离箱体3时，此时可以方便将玻璃基板放置在箱体3的上表面并气浮。需要说明的是，直线驱动件12可以为气缸、直线电机等。

进一步地，参阅图2和图3，该玻璃基板托盘还包括支承座1，箱体3上设置有顶面和侧面开放的安装槽，支承座1设置在安装槽内且销轴4可转动地设置于支承座1，当玻璃基板托盘处于定位位置时，摆臂2与支承座1的侧面贴合，支承座1的侧面相对箱体3的侧面靠近于箱体3的中心。在定位位置，由于支承座1的侧面相对箱体3的侧面靠近于箱体3的中心，这样可以使玻璃基板定位在箱体3上表面的边缘内侧，这样可以避免玻璃基板受外部物件的碰撞。

进一步地，参阅图3，玻璃基板托盘还包括限位件7，限位件7固定设置在摆臂2的下方以限制摆臂2的转动角度，这种情况下，由于摆臂2的转动角度受限，使得摆臂2回复初始状态的时间更短，有利于缩短玻璃基板的定位时间。此外，相对较小的转动角度，还可以限制外部动力机构的行程，即可以限制气缸的行程。

其中，限位件7的安装位置可以为任意合适的位置。

在本实施方式中，限位件7可以设置在摆臂2的下方，并且，限位件7的轴线可以与箱体3的上表面平行。

在其他实施方式中，限位件7可以设置在摆臂2的下方，并且，限位件7的轴线可以垂直于箱体3的上表面。

通过上述两种安装方式，均可以通过限位件7限制摆臂2的转动角度。

具体地，限位件7可以为限位螺钉，限位螺钉可以安装在支承座1上，相应地，支承座1上开设有螺纹孔，以使限位螺钉与螺纹孔螺纹配合。

参阅图1，本实施方式中，箱体3上开设有气管接头31，气管接头31用于与高压气源或真空气路连通，气管接头31可以设置在箱体3的侧面，也可以设置在箱体3的顶面边缘或者底面上，优选设置在箱体3的侧面。此外，气管接头31的数量可以为一个或者两个，当其为一个时，在玻璃基板的定位过程中，该气管接头31首先与高压气源的气路相连通，当需要吸附玻璃基板时，切换高压气源的气路，以使气管接头31与真空气路相连通，可以理解，这种情况下，高压气源的气路和真空气路实际上是通过三通接头、气管与箱体3上的气管接头31连接的。当气管接头31的数量为两个时，其中一个气管接头31与高压气源的气路连通，另一气管接头31与真空气路连通，这样就可以对高压气源的气路和真空气路进行单独控制。

参阅图1，透气孔32的数量为多个且均匀分布在箱体3的上表面，设置多个均匀的透气孔32，可以使玻璃基板稳定地气浮或者吸附在箱体3的上表面，箱体3内设置有多块横向筋板9和多块纵向筋板10，多块横向筋板9和多块纵向筋板10呈十字交错布置，横向筋板9上设置有沿纵向延伸的第一通气道91，第一通气道91的数量为多个，并间隔设置在横向筋板9上，纵向筋板10上开设有沿横向延伸的第二通气道11，第二通气道11的数量为多个，并间隔设置在纵向筋板10上，第一通气道91和第二通气道11分别与透气孔32连通，通过设置交错分布的多块横向筋板9和多块纵向筋板10，有利于使压缩气体均匀地输出以使玻璃基板稳定地气浮，并且，还可以均匀地在玻璃基板的下表面产生负压，从而稳定地吸附玻璃基板。

本实施方式中，箱体3包括底板5和周向封闭的框架，底板5与框架连接，横向筋板9和纵向筋板10固定在框架内，框架的形状不定，其可以为多边形，也可以为矩形，将横向筋板9和纵向筋板10固定设置在框架内，有利于保证第一通气道91和第二通气道11相互连通。

本实施方式中，玻璃基板托盘还包括密封件6，密封件6设置在底板5与框架之间，通过设置密封件6，有利于保持箱体3的密封性能，避免因漏气影响对玻璃基板的气浮和吸附效果。

其中，根据箱体3的形状不同可以相应改变密封件6的构造形式。具体而言，密封件6可以为整体式，即密封件6可以为密封圈，将密封圈设置在底板5与框架之间，即可保证箱体3的密封性能，为了使密封圈能够稳定地安装在底板5与框架之间，还可以在底板5或者框架之间设置凹槽，以用于安装密封圈。密封件6也可以为分体式，即密封件6可以为多个密封条，多个密封条围成的形状与箱体3的形状相同。

本实施方式中，玻璃基板托盘还包括多个紧固件，底板5通过紧固件与框架连接，横向筋板9和纵向筋板10通过紧固件与底板5连接，因此，底板5上可以设置多个均匀分布的紧固孔51，紧固件可以为螺栓，紧固孔51为螺纹孔，相应地，在框架的底侧、横向筋板9和纵向筋板10上也设置有紧固孔51，从而通过紧固件可以将底板5与框架连接，并将横向筋板9和纵向筋板10与底板5连接。

以上结合附图详细描述了本公开的优选实施方式，但是，本公开并不限于上述实施方式中的具体细节，在本公开的技术构思范围内，可以对本公开的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本公开的保护范围。另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本公开对各种可能的组合方式不再另行说明。

此外，本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本公开的思想，其同样应当视为本公开所公开的内容。

Claims (10)

1.一种玻璃基板托盘，其特征在于，包括箱体(3)和多个沿周向分布在所述箱体(3)边缘的定位机构，所述箱体(3)的上表面设置有与其内部连通的透气孔(32)，所述箱体(3)的内部可选择性地与高压气源或真空气路连通；

所述玻璃基板托盘具有定位位置和非定位位置，所述定位机构从所述箱体(3)边缘凸出于所述箱体(3)的上表面以使所述玻璃基板托盘处于所述定位位置，所述定位机构从所述箱体(3)的上表面收回，以使所述玻璃基板托盘处于所述非定位位置。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板托盘，其特征在于，所述定位机构包括摆臂(2)、销轴(4)和弹性件(8)，所述摆臂(2)通过所述销轴(4)可转动地与所述箱体(3)的侧面相连，所述弹性件(8)具有使得所述摆臂(2)靠近所述箱体(3)侧面的回复力；

所述摆臂(2)翻转到与所述箱体(3)的侧面相贴合以从边缘凸出于所述箱体(3)的上表面以使所述玻璃基板托盘处于所述定位位置，所述摆臂(2)转动并脱离所述箱体(3)的侧面以从所述箱体(3)的上表面收回以使所述玻璃基板托盘处于所述非定位位置。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板托盘，其特征在于，所述玻璃基板托盘还包括支承座(1)，所述箱体(3)上设置有顶面和侧面开放的安装槽，所述支承座(1)设置在所述安装槽内且所述销轴(4)可转动地设置于所述支承座(1)，当所述玻璃基板托盘处于所述定位位置时，所述摆臂(2)与所述支承座(1)的侧面贴合，所述支承座(1)的侧面相对所述箱体(3)的侧面靠近于所述箱体(3)的中心。

4.根据权利要求3所述的玻璃基板托盘，其特征在于，所述玻璃基板托盘还包括限位件(7)，所述限位件(7)固定设置在所述摆臂(2)的下方以限制所述摆臂(2)的转动角度。

5.根据权利要求4所述的玻璃基板托盘，其特征在于，所述限位件(7)为限位螺钉，所述限位螺钉与所述支承座(1)连接。

6.根据权利要求1所述的玻璃基板托盘，其特征在于，所述箱体(3)上开设有气管接头(31)，该气管接头(31)可选择性地与所述高压气源或所述真空气路连通。

7.根据权利要求1所述的玻璃基板托盘，其特征在于，所述透气孔(32)的数量为多个且均匀分布在所述箱体(3)的上表面，所述箱体(3)内设置有多块横向筋板(9)和多块纵向筋板(10)，所述多块横向筋板(9)和所述多块纵向筋板(10)呈十字交错布置，所述横向筋板(9)上设置有沿纵向延伸的第一通气道(91)，所述纵向筋板(10)上开设有沿横向延伸的第二通气道(11)，所述第一通气道(91)和所述第二通气道(11)分别与所述透气孔(32)连通。

8.根据权利要求7所述的玻璃基板托盘，其特征在于，所述箱体(3)包括底板(5)和周向封闭的框架，所述底板(5)与所述框架连接，所述横向筋板(9)和所述纵向筋板(10)固定在所述框架内。

9.根据权利要求8所述的玻璃基板托盘，其特征在于，所述玻璃基板托盘还包括密封件(6)，所述密封件(6)设置在所述底板(5)与所述框架之间。

10.根据权利要求8所述的玻璃基板托盘，其特征在于，所述玻璃基板托盘还包括多个紧固件，所述底板(5)通过所述紧固件与所述框架连接，所述横向筋板(9)和所述纵向筋板(10)通过所述紧固件与所述底板(5)连接。

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