CN210283784U - 一种升降调节脚轮 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种升降调节脚轮，涉及半导体设备领域，包括安装在机台底端的安装板一和两个结构对称的安装板二，所述安装板一侧面开有螺纹孔并安装调节螺栓，所述调节螺栓末端转动连接于移动板一内，本实用新型通过设置滑轮的滑槽二滑动连接滑轨，使得机台可以轻松移动，同时，可通过设置滑轮在高度上位置的变化，从而使得当地面不平整时，可以调整四个升降调节脚轮的滑轮的高度，使得四个升降调节脚轮在同一个水平面上，解决现有技术中晶圆传送装置维护时需要将机台从机架里抽出后进行维护操作、维护结束后再推入机架里的整个过程中，由于机台自身有一定重量，尤其是，当地面不平整时，直接推动机台不方便且效率低下的缺陷。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体设备领域，具体涉及一种升降调节脚轮。
背景技术
半导体行业中使用晶圆传送装置实现晶圆的传送、定位和排序，是与SEMI标准兼容的界面系统，可以手动或者配合天车的承载水平传输晶圆，占地面积小，工作效率高，因此得以广泛应用，在日常维护中需要将机台从机架里抽出后进行维护操作，维护结束后再推入机架里的整个过程中，由于机台自身有一定重量，尤其是，当地面不平整时，直接推动机台不方便且效率低下，因此需要在机台底端安装一种升降调节脚轮，以解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种升降调节脚轮，以解决现有技术中晶圆传送装置维护时需要将机台从机架里抽出后进行维护操作、维护结束后再推入机架里的整个过程中，由于机台自身有一定重量，尤其是，当地面不平整时，直接推动机台不方便且效率低下的缺陷。
一种升降调节脚轮，包括安装在机台底端的安装板一和两个结构对称的安装板二，所述安装板一侧面开有螺纹孔并安装调节螺栓，所述调节螺栓末端转动连接于移动板一内，所述移动板一侧面螺钉连接两个结构对称的移动板二，两个移动板二侧面螺钉连接移动板三，所述安装板二上开有滑槽一，两个滑槽一内滑动连接主轴，所述主轴外套接滑轮，所述主轴两端套接于限位槽内，所述限位槽位于移动板二上，所述安装板一、移动板一和移动板三底端均开有让位槽，所述滑轮的滑槽二滑动连接滑轨。
优选的，所述安装板一、安装板二间设有两结构对称的导向杆，所述移动板一上开有导向孔，所述导向孔内滑动连接导向杆。
优选的，所述滑轨上表面为弧面。
优选的，所述安装板一侧面与调节螺栓通过螺帽紧固。
本实用新型的优点在于：本实用新型通过设置滑轮的滑槽二滑动连接滑轨，使得机台可以轻松移动，同时，可通过设置滑轮在高度上位置的变化，从而使得当地面不平整时，可以调整四个升降调节脚轮的滑轮的高度，使得四个升降调节脚轮在同一个水平面上，解决现有技术中晶圆传送装置维护时需要将机台从机架里抽出后进行维护操作、维护结束后再推入机架里的整个过程中，由于机台自身有一定重量，尤其是，当地面不平整时，直接推动机台不方便且效率低下的缺陷。
附图说明
图1、图2为本实用新型不同视角的示意图。
图3为本实用新型未安装其中一个移动板二的结构示意图。
图4为本实用新型中滑轮与主轴的连接示意图。
图5为本实用新型中主轴的结构示意图。
其中，1-安装板一，2-安装板二，3-移动板一，4-移动板二，5-移动板三，6-滑槽一，7-主轴，8-滑轮，9-限位槽，10-让位槽，11-滑槽二，12-滑轨，13-导向杆，14-导向孔，15-螺帽，16-调节螺栓。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
如图1至图5所示，一种升降调节脚轮，包括安装在机台底端的安装板一1和两个结构对称的安装板二2，所述安装板一1侧面开有螺纹孔并安装调节螺栓16，所述调节螺栓16末端转动连接于移动板一3内，所述移动板一3侧面螺钉连接两个结构对称的移动板二4，两个移动板二4侧面螺钉连接移动板三5，所述安装板二2上开有滑槽一6，两个滑槽一6内滑动连接主轴7，所述主轴7外套接滑轮8，所述主轴7两端套接于限位槽9内，所述限位槽9位于移动板二4上，所述安装板一1、移动板一3和移动板三5底端均开有让位槽10，所述滑轮8的滑槽二11滑动连接滑轨12。
在本实施例中，所述安装板一1、安装板二2间设有两结构对称的导向杆13，所述移动板一3上开有导向孔14，所述导向孔14内滑动连接导向杆13。所述滑轨12上表面为弧面。
此外，所述安装板一1侧面与调节螺栓16通过螺帽15紧固。
工作过程及原理：本装置配合半导体生产车间的晶圆传送装置使用，将四个升降调节脚轮安装在晶圆传送装置的机台底端，具体的，分别将安装板一1和安装板二2安装在晶圆传送装置的机台底端，滑轨12放在车间地面上，此时滑轮8的滑槽二11滑动连接滑轨12，需要对机台移动时，直接用手推动机台，由于滑轮8的滑槽二11滑动连接滑轨12，使得机台可以轻松移动，当地面不平整时，可以调整四个升降调节脚轮的滑轮8的高度，从而使得四个升降调节脚轮在同一个水平面上，具体的，拧松螺帽15，再通过拧动调节螺栓16调整移动板一3与安装板一1之间的距离，安装板一1位置不动，调节螺栓16前端带动移动板一3运动，由于移动板一3侧面螺钉连接两个结构对称的移动板二4，两个移动板二4侧面螺钉连接移动板三5，同时主轴7两端套接于两个移动板二4上的限位槽9内，主轴7外套接滑轮8，因此随着移动板一3的运动，使得移动板二4、主轴7带着滑轮8、移动板三5一起运动，由于安装板二2上开有滑槽一6，两个滑槽一6内滑动连接主轴7，安装板二2本身是固定在晶圆传送装置的机台底端的，因此可使得滑轮8在高度上位置发生变化，从而使得当地面不平整时，可以调整四个升降调节脚轮的滑轮8的高度，使得四个升降调节脚轮在同一个水平面上，调整好后紧固螺帽15。
移动板一3上开有导向孔14，所述导向孔14内滑动连接导向杆13，导向杆13安装在安装板一1、安装板二2间，因此可提高移动板一3运动时的稳定性。
基于上述，本实用新型通过设置滑轮8的滑槽二11滑动连接滑轨12，使得机台可以轻松移动，同时，可通过设置滑轮8在高度上位置的变化，从而使得当地面不平整时，可以调整四个升降调节脚轮的滑轮8的高度，使得四个升降调节脚轮在同一个水平面上，解决现有技术中晶圆传送装置维护时需要将机台从机架里抽出后进行维护操作、维护结束后再推入机架里的整个过程中，由于机台自身有一定重量，尤其是，当地面不平整时，直接推动机台不方便且效率低下的缺陷。
由技术常识可知，本实用新型可以通过其它的不脱离其精神实质或必要特征的实施方案来实现。因此，上述公开的实施方案，就各方面而言，都只是举例说明，并不是仅有的。所有在本实用新型范围内或在等同于本实用新型的范围内的改变均被本实用新型包含。
Claims (4)
1.一种升降调节脚轮，其特征在于，包括安装在机台底端的安装板一(1)和两个结构对称的安装板二(2)，所述安装板一(1)侧面开有螺纹孔并安装调节螺栓(16)，所述调节螺栓(16)末端转动连接于移动板一(3)内，所述移动板一(3)侧面螺钉连接两个结构对称的移动板二(4)，两个移动板二(4)侧面螺钉连接移动板三(5)，所述安装板二(2)上开有滑槽一(6)，两个滑槽一(6)内滑动连接主轴(7)，所述主轴(7)外套接滑轮(8)，所述主轴(7)两端套接于限位槽(9)内，所述限位槽(9)位于移动板二(4)上，所述安装板一(1)、移动板一(3)和移动板三(5)底端均开有让位槽(10)，所述滑轮(8)的滑槽二(11)滑动连接滑轨(12)。
2.根据权利要求1所述的一种升降调节脚轮，其特征在于：所述安装板一(1)、安装板二(2)间设有两结构对称的导向杆(13)，所述移动板一(3)上开有导向孔(14)，所述导向孔(14)内滑动连接导向杆(13)。
3.根据权利要求2所述的一种升降调节脚轮，其特征在于：所述滑轨(12)上表面为弧面。
4.根据权利要求3所述的一种升降调节脚轮，其特征在于：所述安装板一(1)侧面与调节螺栓(16)通过螺帽(15)紧固。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201921064956.2U CN210283784U (zh) | 2019-07-09 | 2019-07-09 | 一种升降调节脚轮 |
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Publications (1)
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Family Applications (1)
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2019
- 2019-07-09 CN CN201921064956.2U patent/CN210283784U/zh active Active
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