CN210279037U - 一种半导体材料研磨液生产用补液釜 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半成品补液附属装置的技术领域，特别是涉及一种半导体材料研磨液生产用补液釜，其卸料管卸料时能够方便卸干净；并且可以增加其整体安装固定方式；而且能够方便对工作箱内部进行观察；包括底板和工作箱，工作箱内部设置有工作腔，工作箱顶端连通设置有进料口，并在进料口处盖装有进料盖，工作箱前侧下方密封设置有卸料管，并在卸料管上设置有卸料阀；底板包括上板体、下板体、支撑柱和万向球，上板体底端设置有球形槽；还包括安装板、挂板、夹板、第一套簧和第一可伸缩管；进料盖顶端连通设置有观察孔，并在观察孔处设置有透明观察板，进料盖顶端左侧设置有前后向连通口，还包括滑块、带动柱、带动板、连接板和海绵擦。

Description

一种半导体材料研磨液生产用补液釜

技术领域

本实用新型涉及半成品补液附属装置的技术领域，特别是涉及一种半导体材料研磨液生产用补液釜。

背景技术

众所周知，半导体材料研磨液生产用补液釜是一种用于半导体材料研磨液生产过程中，对半成品进行盛放混合，使其更好进行后续补液的辅助装置，其在半成品补液的领域中得到了广泛的使用；现有的半导体材料研磨液生产用补液釜包括底板和工作箱，工作箱安装在底板顶端，工作箱内部设置有工作腔，工作箱顶端连通设置有进料口，并在进料口处盖装有进料盖，工作箱前侧下方密封设置有卸料管，并在卸料管上设置有卸料阀；现有的半导体材料研磨液生产用补液釜使用时，将其整体放置在平面上，通过进料口将半成品原材均导入至工作腔内，手动摇晃工作箱使其进行混合，并通过卸料管将其全部倒出即可；现有的半导体材料研磨液生产用补液釜使用中发现，其卸料管卸料时不能方便卸干净，导致其实用性较差；并且其整体安装固定方式较为单一，导致其适应能力较差；而且不能方便对工作箱内部进行观察，从而导致其实用性较差。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种其卸料管卸料时能够方便卸干净，提高其实用性；并且可以增加其整体安装固定方式，提高其适应能力；而且能够方便对工作箱内部进行观察，从而提高其实用性的半导体材料研磨液生产用补液釜。

本实用新型的一种半导体材料研磨液生产用补液釜，包括底板和工作箱，工作箱内部设置有工作腔，工作箱顶端连通设置有进料口，并在进料口处盖装有进料盖，工作箱前侧下方密封设置有卸料管，并在卸料管上设置有卸料阀；底板包括上板体、下板体、支撑柱和万向球，支撑柱底端安装在下板体顶端，支撑柱顶端与万向球连接，上板体底端设置有球形槽，万向球位于球形槽内部，且万向球可相对球形槽旋转，工作箱安装在上板体顶端；还包括安装板、挂板、夹板、第一套簧和第一可伸缩管，安装板前端与工作箱后侧上方连接，挂板安装在安装板后端，第一套簧后侧与挂板前侧连接，夹板安装在第一套簧前侧，第一可伸缩管后侧与挂板前侧连接，夹板安装在第一可伸缩管前侧，第一套簧套装在第一可伸缩管外侧；进料盖顶端连通设置有观察孔，并在观察孔处设置有透明观察板，进料盖顶端左侧设置有前后向连通口，还包括滑块、带动柱、带动板、连接板和海绵擦，带动柱顶端与滑块连接，带动柱底端穿过前后向连通口并伸入至工作箱内部与带动板顶端左方连接，海绵擦安装在连接板顶端，海绵擦贴紧透明观察板底侧壁。

本实用新型的一种半导体材料研磨液生产用补液釜，还包括两组辅振弹簧、两组辅振板和两组防水振荡器，两组辅振弹簧的外端分别安装在工作箱内侧壁左侧和右侧，两组辅振弹簧的内端分别与两组辅振板连接，两组防水振荡器分别安装在两组辅振板上，并且两组防水振荡器均自带供电模块。

本实用新型的一种半导体材料研磨液生产用补液釜，还包括四组上连接块、四组第二套簧、四组第二可伸缩管和四组下连接块，四组第二套簧的一端分别与四组上连接块连接，四组第二套簧的另一端分别与四组下连接块连接，四组第二可伸缩管的一端分别与四组上连接块连接，四组第二可伸缩管的另一端分别与四组下连接块连接，四组第二套簧分别套装在四组第二可伸缩管外侧，四组上连接块和四组下连接块均设置为铁质块，还包括四组上吸铁石块和四组下吸铁石块，四组上连接块分别吸附在四组上吸铁石块底端，四组下连接块分别吸附在四组下吸铁石块顶端，四组上吸铁石块分别安装在上板体底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧，四组下吸铁石块分别安装在下板体顶端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧。

本实用新型的一种半导体材料研磨液生产用补液釜，还包括两组支撑台、两组起吊柱和两组起吊环，两组支撑台分别安装在工作箱左右两侧，两组支撑台顶端均设置有第一放置槽，并在两组第一放置槽内均设置有第一滚珠轴承和第一限位片，两组第一放置槽顶端均设置有第一挡片，两组起吊柱的底端分别穿过两组第一挡片并分别插入至两组第一滚珠轴承内部与两组第一限位片连接，两组起吊环分别安装在两组起吊柱的顶端。

本实用新型的一种半导体材料研磨液生产用补液釜，两组起吊环上均设置有缺口，还包括两组挤压板、两组第三可伸缩管和两组第三套簧，两组第三可伸缩管一端分别与两组缺口一端连接，两组第三可伸缩管另一端分别与两组挤压板连接，两组第三套簧一端分别与两组缺口一端连接，两组第三套簧另一端分别与两组挤压板连接，两组第三套簧套装在两组第三可伸缩管外侧，且两组挤压板分别与两组缺口另一端贴紧。

本实用新型的一种半导体材料研磨液生产用补液釜，还包括后固定板、前固定板、把手、连接架和丝杠，后固定板和前固定板分别安装在进料盖顶端左侧后方和前方，前固定板后端设置有第二放置槽，并在第二放置槽内设置有第二滚珠轴承和第二限位片，第二放置槽后端设置有第二挡片，把手可转动固定在连接架后端，丝杠后端与连接架前部连接，丝杠前端穿过后固定板后侧壁并伸出至后固定板前方，丝杠前端穿过第二挡片插入至第二滚珠轴承内部与第二限位片连接，滑块螺装套在丝杠外侧。

本实用新型的一种半导体材料研磨液生产用补液釜，还包括多组第四套簧和多组第四可伸缩管，多组第四套簧的一端均与连接板连接，多组第四套簧的另一端均与带动板连接，多组第四可伸缩管的一端均与连接板连接，多组第四可伸缩管的另一端均与带动板连接，多组第四套簧分别套装在多组第四可伸缩管外侧。

与现有技术相比本实用新型的有益效果为：其能够通过万向球可相对球形槽旋转的设计，手动拨动工作箱，使其向卸料管方向倾斜，在重力作用下，卸料管卸料时能够方便卸干净，提高其实用性；并且可以通过工作箱、安装板和挂板之间的连接配合方便其整体进行挂装，可以增加其整体安装固定方式，提高其适应能力，挂装时，通过第一套簧带动夹板方便前后向调节，使夹板与工作箱间距适应不同厚度的外界板状固定材料，提高适应能力，第一可伸缩管辅助第一套簧不易扭曲变形；而且能够通过透明观察板方便对工作箱内部进行观察，从而提高其实用性，当透明观察板脏污时，能够通过滑动滑块，使其连接板上的海绵擦进行前后向移动，对透明观察板进行擦拭，更加实用。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是图1的A部局部放大图；

图3是工作箱、安装板、挂板和夹板连接的结构示意图；

图4是进料盖的俯视图；

附图中标记：1、工作箱；2、进料盖；3、卸料管；4、上板体；5、下板体；6、支撑柱；7、万向球；8、安装板；9、挂板；10、夹板；11、第一套簧；12、透明观察板；13、滑块；14、带动柱；15、带动板；16、连接板；17、海绵擦；18、辅振板；19、防水振荡器；20、第二套簧；21、下吸铁石块；22、支撑台；23、起吊柱；24、起吊环；25、第一挡片；26、挤压板；27、第三套簧；28、后固定板；29、前固定板；30、把手；31、连接架；32、丝杠；33、第二挡片；34、第四套簧。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

如图1至图4所示，本实用新型的一种半导体材料研磨液生产用补液釜，包括底板和工作箱1，工作箱1内部设置有工作腔，工作箱1顶端连通设置有进料口，并在进料口处盖装有进料盖2，工作箱1前侧下方密封设置有卸料管3，并在卸料管3上设置有卸料阀；底板包括上板体4、下板体5、支撑柱6和万向球7，支撑柱6底端安装在下板体5顶端，支撑柱6顶端与万向球7连接，上板体4底端设置有球形槽，万向球7位于球形槽内部，且万向球7可相对球形槽旋转，工作箱1安装在上板体4顶端；还包括安装板8、挂板9、夹板10、第一套簧11和第一可伸缩管，安装板8前端与工作箱1后侧上方连接，挂板9安装在安装板8后端，第一套簧11后侧与挂板9前侧连接，夹板10安装在第一套簧11前侧，第一可伸缩管后侧与挂板9前侧连接，夹板10安装在第一可伸缩管前侧，第一套簧11套装在第一可伸缩管外侧；进料盖2顶端连通设置有观察孔，并在观察孔处设置有透明观察板12，进料盖2顶端左侧设置有前后向连通口，还包括滑块13、带动柱14、带动板15、连接板16和海绵擦17，带动柱14顶端与滑块13连接，带动柱14底端穿过前后向连通口并伸入至工作箱1内部与带动板15顶端左方连接，海绵擦17安装在连接板16顶端，海绵擦17贴紧透明观察板12底侧壁；其能够通过万向球可相对球形槽旋转的设计，手动拨动工作箱，使其向卸料管方向倾斜，在重力作用下，卸料管卸料时能够方便卸干净，提高其实用性；并且可以通过工作箱、安装板和挂板之间的连接配合方便其整体进行挂装，可以增加其整体安装固定方式，提高其适应能力，挂装时，通过第一套簧带动夹板方便前后向调节，使夹板与工作箱间距适应不同厚度的外界板状固定材料，提高适应能力，第一可伸缩管辅助第一套簧不易扭曲变形；而且能够通过透明观察板方便对工作箱内部进行观察，从而提高其实用性，当透明观察板脏污时，能够通过滑动滑块，使其连接板上的海绵擦进行前后向移动，对透明观察板进行擦拭，更加实用。

本实用新型的一种半导体材料研磨液生产用补液釜，还包括两组辅振弹簧、两组辅振板18和两组防水振荡器19，两组辅振弹簧的外端分别安装在工作箱1内侧壁左侧和右侧，两组辅振弹簧的内端分别与两组辅振板18连接，两组防水振荡器19分别安装在两组辅振板18上，并且两组防水振荡器19均自带供电模块；其能够通过两组防水振荡器进行振动辅助半成品原材中溶质与溶液混合更加均匀，并且两组辅振弹簧加大振荡幅度，防水振荡器为市面常见电器件，买回按照一同购回的使用说明书正常使用即可，并且供电模块为防水振荡器自带部分，故在此不再赘述。

本实用新型的一种半导体材料研磨液生产用补液釜，还包括四组上连接块、四组第二套簧20、四组第二可伸缩管和四组下连接块，四组第二套簧20的一端分别与四组上连接块连接，四组第二套簧20的另一端分别与四组下连接块连接，四组第二可伸缩管的一端分别与四组上连接块连接，四组第二可伸缩管的另一端分别与四组下连接块连接，四组第二套簧20分别套装在四组第二可伸缩管外侧，四组上连接块和四组下连接块均设置为铁质块，还包括四组上吸铁石块和四组下吸铁石块21，四组上连接块分别吸附在四组上吸铁石块底端，四组下连接块分别吸附在四组下吸铁石块21顶端，四组上吸铁石块分别安装在上板体4底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧，四组下吸铁石块21分别安装在下板体5顶端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧；其能够通过连接块和吸铁石块相互吸附方便对上下板体的相对固定进行限位，在上板体转动时，通过手动挤压四组第二套簧使第二套簧进行拆卸，不再限位，方便上板体转动转动，四组第二可伸缩管辅助四组第二套簧在支撑时不易扭曲变形。

本实用新型的一种半导体材料研磨液生产用补液釜，还包括两组支撑台22、两组起吊柱23和两组起吊环24，两组支撑台22分别安装在工作箱1左右两侧，两组支撑台22顶端均设置有第一放置槽，并在两组第一放置槽内均设置有第一滚珠轴承和第一限位片，两组第一放置槽顶端均设置有第一挡片25，两组起吊柱23的底端分别穿过两组第一挡片25并分别插入至两组第一滚珠轴承内部与两组第一限位片连接，两组起吊环24分别安装在两组起吊柱23的顶端；其能够通过两组起吊环方便其整体进行吊装，其整体安装固定方式较为多样，提高其适应能力，通过两组第一滚珠轴承方便起吊环进行转动，提高适应能力，第一限位片对起吊柱进行限位，防止其蹿出第一放置槽，且第一限位片与起吊柱硬性连接，起吊柱转动时，第一限位片随其一起转动,并且第一滚珠轴承卡装在挡片与第一限位片之间,从而不会蹿出第一放置槽，第一限位片与第一放置槽之间能够机械锁紧，从而方便第一限位片进一步进行固定。

本实用新型的一种半导体材料研磨液生产用补液釜，两组起吊环24上均设置有缺口，还包括两组挤压板26、两组第三可伸缩管和两组第三套簧27，两组第三可伸缩管一端分别与两组缺口一端连接，两组第三可伸缩管另一端分别与两组挤压板26连接，两组第三套簧27一端分别与两组缺口一端连接，两组第三套簧27另一端分别与两组挤压板26连接，两组第三套簧27套装在两组第三可伸缩管外侧，且两组挤压板26分别与两组缺口另一端贴紧；其能够通过起吊环上的缺口方便起吊环挂装在任意位置，并通过第三套簧带动挤压板对缺口进行堵塞，提高使用可靠性，第三可伸缩管辅助第三套簧不易挤压变形，降低两组起吊环挂装局限性，从而提高其适应能力。

本实用新型的一种半导体材料研磨液生产用补液釜，还包括后固定板28、前固定板29、把手30、连接架31和丝杠32，后固定板28和前固定板29分别安装在进料盖2顶端左侧后方和前方，前固定板29后端设置有第二放置槽，并在第二放置槽内设置有第二滚珠轴承和第二限位片，第二放置槽后端设置有第二挡片33，把手30可转动固定在连接架31后端，丝杠32后端与连接架31前部连接，丝杠32前端穿过后固定板28后侧壁并伸出至后固定板28前方，丝杠32前端穿过第二挡片33插入至第二滚珠轴承内部与第二限位片连接，滑块13螺装套在丝杠32外侧；其能够通过手动转动把手，使其带动连接架上的丝杠进行转动，从而带动滑块进行前后向移动，又因为带动柱穿过前后向连通口，方便滑块在前后向移动时不随丝杠转动而转动，把手可自转的设计使丝杠转动更加省力，第二限位片对丝杠进行限位，防止其蹿出第二放置槽，且第二限位片与丝杠硬性连接，丝杠转动时，第二限位片随其一起转动,并且第二滚珠轴承卡装在第二挡片与第二限位片之间,从而不会蹿出第二放置槽，第二限位片与第二放置槽之间能够机械锁紧，从而方便第二限位片进一步进行固定。

本实用新型的一种半导体材料研磨液生产用补液釜，还包括多组第四套簧34和多组第四可伸缩管，多组第四套簧34的一端均与连接板16连接，多组第四套簧34的另一端均与带动板15连接，多组第四可伸缩管的一端均与连接板16连接，多组第四可伸缩管的另一端均与带动板15连接，多组第四套簧34分别套装在多组第四可伸缩管外侧；其能够通过多组第四套簧挤压连接板使其挤压海绵擦，使得海绵擦始终贴紧透明观察板，第四可伸缩管辅助第四套簧不易挤压变形。

本实用新型的一种半导体材料研磨液生产用补液釜，其在工作时，能够通过万向球可相对球形槽旋转的设计，手动拨动工作箱，使其向卸料管方向倾斜，在重力作用下，卸料管卸料时能够方便卸干净，提高其实用性；并且可以通过工作箱、安装板和挂板之间的连接配合方便其整体进行挂装，可以增加其整体安装固定方式，提高其适应能力，挂装时，通过第一套簧带动夹板方便前后向调节，使夹板与工作箱间距适应不同厚度的外界板状固定材料，提高适应能力，第一可伸缩管辅助第一套簧不易扭曲变形；而且能够通过透明观察板方便对工作箱内部进行观察，从而提高其实用性，当透明观察板脏污时，能够通过滑动滑块，使其连接板上的海绵擦进行前后向移动，对透明观察板进行擦拭，更加实用；能够通过两组防水振荡器进行振动辅助半成品原材中溶质与溶液混合更加均匀，并且两组辅振弹簧加大振荡幅度，防水振荡器为市面常见电器件，买回按照一同购回的使用说明书正常使用即可，并且供电模块为防水振荡器自带部分，故在此不再赘述；能够通过连接块和吸铁石块相互吸附方便对上下板体的相对固定进行限位，在上板体转动时，通过手动挤压四组第二套簧使第二套簧进行拆卸，不再限位，方便上板体转动转动，四组第二可伸缩管辅助四组第二套簧在支撑时不易扭曲变形；能够通过两组起吊环方便其整体进行吊装，其整体安装固定方式较为多样，提高其适应能力，通过两组第一滚珠轴承方便起吊环进行转动，提高适应能力，第一限位片对起吊柱进行限位，防止其蹿出第一放置槽，且第一限位片与起吊柱硬性连接，起吊柱转动时，第一限位片随其一起转动,并且第一滚珠轴承卡装在挡片与第一限位片之间,从而不会蹿出第一放置槽，第一限位片与第一放置槽之间能够机械锁紧，从而方便第一限位片进一步进行固定；能够通过起吊环上的缺口方便起吊环挂装在任意位置，并通过第三套簧带动挤压板对缺口进行堵塞，提高使用可靠性，第三可伸缩管辅助第三套簧不易挤压变形，降低两组起吊环挂装局限性，从而提高其适应能力；能够通过手动转动把手，使其带动连接架上的丝杠进行转动，从而带动滑块进行前后向移动，又因为带动柱穿过前后向连通口，方便滑块在前后向移动时不随丝杠转动而转动，把手可自转的设计使丝杠转动更加省力，第二限位片对丝杠进行限位，防止其蹿出第二放置槽，且第二限位片与丝杠硬性连接，丝杠转动时，第二限位片随其一起转动,并且第二滚珠轴承卡装在第二挡片与第二限位片之间,从而不会蹿出第二放置槽，第二限位片与第二放置槽之间能够机械锁紧，从而方便第二限位片进一步进行固定；能够通过多组第四套簧挤压连接板使其挤压海绵擦，使得海绵擦始终贴紧透明观察板，第四可伸缩管辅助第四套簧不易挤压变形。

本实用新型的一种半导体材料研磨液生产用补液釜，以上所述所有部件的安装方式、连接方式或设置方式均为焊接、铆接或其他常见机械方式，其中可滑动/转动固定即为滑动/转动状态下不脱落，密封连通即两连接件连通的同时进行密封，并且其所有部件的具体结构、型号和系数指标均为其自带技术，只要能够达成其有益效果的均可进行实施，故不在多加赘述。

本实用新型的一种半导体材料研磨液生产用补液釜，在未作相反说明的情况下，“上下左右、前后内外以及垂直水平”等包含在术语中的方位词仅代表该术语在常规使用状态下的方位，或为本领域技术人员理解的俗称，而不应视为对该术语的限制，与此同时，“第一”、“第二”和“第三”等数列名词不代表具体的数量及顺序，仅仅是用于名称的区分，而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (7)

1.一种半导体材料研磨液生产用补液釜，包括底板和工作箱(1)，工作箱(1)内部设置有工作腔，工作箱(1)顶端连通设置有进料口，并在进料口处盖装有进料盖(2)，工作箱(1)前侧下方密封设置有卸料管(3)，并在卸料管(3)上设置有卸料阀；其特征在于，底板包括上板体(4)、下板体(5)、支撑柱(6)和万向球(7)，支撑柱(6)底端安装在下板体(5)顶端，支撑柱(6)顶端与万向球(7)连接，上板体(4)底端设置有球形槽，万向球(7)位于球形槽内部，且万向球(7)可相对球形槽旋转，工作箱(1)安装在上板体(4)顶端；还包括安装板(8)、挂板(9)、夹板(10)、第一套簧(11)和第一可伸缩管，安装板(8)前端与工作箱(1)后侧上方连接，挂板(9)安装在安装板(8)后端，第一套簧(11)后侧与挂板(9)前侧连接，夹板(10)安装在第一套簧(11)前侧，第一可伸缩管后侧与挂板(9)前侧连接，夹板(10)安装在第一可伸缩管前侧，第一套簧(11)套装在第一可伸缩管外侧；进料盖(2)顶端连通设置有观察孔，并在观察孔处设置有透明观察板(12)，进料盖(2)顶端左侧设置有前后向连通口，还包括滑块(13)、带动柱(14)、带动板(15)、连接板(16)和海绵擦(17)，带动柱(14)顶端与滑块(13)连接，带动柱(14)底端穿过前后向连通口并伸入至工作箱(1)内部与带动板(15)顶端左方连接，海绵擦(17)安装在连接板(16)顶端，海绵擦(17)贴紧透明观察板(12)底侧壁。

2.如权利要求1所述的一种半导体材料研磨液生产用补液釜，其特征在于，还包括两组辅振弹簧、两组辅振板(18)和两组防水振荡器(19)，两组辅振弹簧的外端分别安装在工作箱(1)内侧壁左侧和右侧，两组辅振弹簧的内端分别与两组辅振板(18)连接，两组防水振荡器(19)分别安装在两组辅振板(18)上，并且两组防水振荡器(19)均自带供电模块。

3.如权利要求2所述的一种半导体材料研磨液生产用补液釜，其特征在于，还包括四组上连接块、四组第二套簧(20)、四组第二可伸缩管和四组下连接块，四组第二套簧(20)的一端分别与四组上连接块连接，四组第二套簧(20)的另一端分别与四组下连接块连接，四组第二可伸缩管的一端分别与四组上连接块连接，四组第二可伸缩管的另一端分别与四组下连接块连接，四组第二套簧(20)分别套装在四组第二可伸缩管外侧，四组上连接块和四组下连接块均设置为铁质块，还包括四组上吸铁石块和四组下吸铁石块(21)，四组上连接块分别吸附在四组上吸铁石块底端，四组下连接块分别吸附在四组下吸铁石块(21)顶端，四组上吸铁石块分别安装在上板体(4)底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧，四组下吸铁石块(21)分别安装在下板体(5)顶端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧。

4.如权利要求3所述的一种半导体材料研磨液生产用补液釜，其特征在于，还包括两组支撑台(22)、两组起吊柱(23)和两组起吊环(24)，两组支撑台(22)分别安装在工作箱(1)左右两侧，两组支撑台(22)顶端均设置有第一放置槽，并在两组第一放置槽内均设置有第一滚珠轴承和第一限位片，两组第一放置槽顶端均设置有第一挡片(25)，两组起吊柱(23)的底端分别穿过两组第一挡片(25)并分别插入至两组第一滚珠轴承内部与两组第一限位片连接，两组起吊环(24)分别安装在两组起吊柱(23)的顶端。

5.如权利要求4所述的一种半导体材料研磨液生产用补液釜，其特征在于，两组起吊环(24)上均设置有缺口，还包括两组挤压板(26)、两组第三可伸缩管和两组第三套簧(27)，两组第三可伸缩管一端分别与两组缺口一端连接，两组第三可伸缩管另一端分别与两组挤压板(26)连接，两组第三套簧(27)一端分别与两组缺口一端连接，两组第三套簧(27)另一端分别与两组挤压板(26)连接，两组第三套簧(27)套装在两组第三可伸缩管外侧，且两组挤压板(26)分别与两组缺口另一端贴紧。

6.如权利要求5所述的一种半导体材料研磨液生产用补液釜，其特征在于，还包括后固定板(28)、前固定板(29)、把手(30)、连接架(31)和丝杠(32)，后固定板(28)和前固定板(29)分别安装在进料盖(2)顶端左侧后方和前方，前固定板(29)后端设置有第二放置槽，并在第二放置槽内设置有第二滚珠轴承和第二限位片，第二放置槽后端设置有第二挡片(33)，把手(30)可转动固定在连接架(31)后端，丝杠(32)后端与连接架(31)前部连接，丝杠(32)前端穿过后固定板(28)后侧壁并伸出至后固定板(28)前方，丝杠(32)前端穿过第二挡片(33)插入至第二滚珠轴承内部与第二限位片连接，滑块(13)螺装套在丝杠(32)外侧。

7.如权利要求6所述的一种半导体材料研磨液生产用补液釜，其特征在于，还包括多组第四套簧(34)和多组第四可伸缩管，多组第四套簧(34)的一端均与连接板(16)连接，多组第四套簧(34)的另一端均与带动板(15)连接，多组第四可伸缩管的一端均与连接板(16)连接，多组第四可伸缩管的另一端均与带动板(15)连接，多组第四套簧(34)分别套装在多组第四可伸缩管外侧。

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