CN210765585U

CN210765585U - 一种多晶硅热场坩埚装置

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Publication number: CN210765585U
Application number: CN201921480771.XU
Authority: CN
Inventors: 朱建峰
Original assignee: Datong Xincheng New Material Co Ltd
Current assignee: Datong Xincheng New Material Co Ltd
Priority date: 2019-09-06
Filing date: 2019-09-06
Publication date: 2020-06-16
Anticipated expiration: 2029-09-06

Abstract

本实用新型涉及多晶硅加热附属装置的技术领域，特别是涉及一种多晶硅热场坩埚装置，其工作釜内部可以方便进行观察，从而提高其实用性；包括工作釜，工作釜内部设置有工作腔，工作釜顶端连通设置有取放口，并在取放口处螺栓螺装有挡盖；挡盖顶端连通设置有观察孔，并在观察孔处设置有透明观察板，挡盖顶端左侧设置有前后向连通口，还包括滑块、带动柱、带动板、安装板和海绵擦，还包括后固定板、前固定板、把手、连接架和丝杠，前固定板后端设置有第一轴承座，并在第一轴承座内设置有第一滚珠轴承和第一限位片，第一轴承座后端设置有第一挡片，还包括多组第一套簧和多组第一可伸缩管。

Description

一种多晶硅热场坩埚装置

技术领域

本实用新型涉及多晶硅加热附属装置的技术领域，特别是涉及一种多晶硅热场坩埚装置。

背景技术

众所周知，多晶硅热场坩埚装置是一种用于多晶硅生产加工过程中，对半成品进行加热，使其更好进行后续处理的辅助装置，其在多晶硅加热的领域中得到了广泛的使用；现有的多晶硅热场坩埚装置包括工作釜，工作釜内部设置有工作腔，工作釜顶端连通设置有取放口，并在取放口处螺栓螺装有挡盖；现有的多晶硅热场坩埚装置使用时，通过取放口取放半成品，并将工作釜置于热源上方进行加热使其内部半成品进行反应即可；现有的多晶硅热场坩埚装置使用中发现，其工作釜内部不能方便进行观察，从而导致其实用性较差。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种其工作釜内部可以方便进行观察，从而提高其实用性的多晶硅热场坩埚装置。

本实用新型的一种多晶硅热场坩埚装置，包括工作釜，工作釜内部设置有工作腔，工作釜顶端连通设置有取放口，并在取放口处螺栓螺装有挡盖；挡盖顶端连通设置有观察孔，并在观察孔处设置有透明观察板，挡盖顶端左侧设置有前后向连通口，还包括滑块、带动柱、带动板、安装板和海绵擦，带动柱顶端与滑块连接，带动柱底端穿过前后向连通口并伸入至工作釜内部与带动板顶端左方连接，海绵擦安装在安装板顶端，海绵擦贴紧透明观察板底侧壁，还包括后固定板、前固定板、把手、连接架和丝杠，后固定板和前固定板分别安装在挡盖顶端左侧后方和前方，前固定板后端设置有第一轴承座，并在第一轴承座内设置有第一滚珠轴承和第一限位片，第一轴承座后端设置有第一挡片，把手可转动固定在连接架后端，丝杠后端与连接架前部连接，丝杠前端穿过后固定板后侧壁并伸出至后固定板前方，丝杠前端穿过第一挡片插入至第一滚珠轴承内部与第一限位片连接，滑块螺装套在丝杠外侧，还包括多组第一套簧和多组第一可伸缩管，多组第一套簧的一端均与安装板连接，多组第一套簧的另一端均与带动板连接，多组第一可伸缩管的一端均与安装板连接，多组第一可伸缩管的另一端均与带动板连接，多组第一套簧分别套装在多组第一可伸缩管外侧。

本实用新型的一种多晶硅热场坩埚装置，还包括转把、转动架、插柱、插管、带动轴和搅拌叶组，转把和转动架均位于工作釜的外侧，转把安装在转动架上，搅拌叶组位于工作腔内，插柱的顶端与转动架连接，带动轴安装在插管底端，搅拌叶组安装在带动轴上。

本实用新型的一种多晶硅热场坩埚装置，插柱底端插入至插管顶端内部，还包括限位柱、两组限位弹簧和两组定位块，插柱内部下方设置有限位腔，插柱左侧壁和右侧壁上设置有左通孔和右通孔，插管左侧壁和右侧壁分别设置有左限位孔和右限位孔，限位柱安装在限位腔内底侧壁，两组限位弹簧位于限位腔内，两组限位弹簧的一端分别与限位柱左侧和右侧连接，两组定位块的一端分别安装在两组限位弹簧的另一端，两组定位块的另一端分别穿过左通孔和右通孔，并且两组定位块的另一端分别插入至左限位孔内和右限位孔内。

本实用新型的一种多晶硅热场坩埚装置，还包括还包括滑轮组、限位环和限位杆组，限位环套设在带动轴外侧，限位杆组一端与限位环连接，限位杆组另一端与挡盖底侧壁连接，滑轮组一端与限位环内侧连接，滑轮组另一端与带动轴外侧贴紧接触。

本实用新型的一种多晶硅热场坩埚装置，还包括连接杆、安装片、挂板、固定板、第二套簧和第二可伸缩管，连接杆安装在工作釜后侧上方，安装片前端与连接杆后侧上方连接，挂板安装在安装片后端，第二套簧后侧与挂板前侧连接，固定板安装在第二套簧前侧，第二可伸缩管后侧与挂板前侧连接，固定板安装在第二可伸缩管前侧，第二套簧套装在第二可伸缩管外侧。

本实用新型的一种多晶硅热场坩埚装置，还包括四组支撑台、四组起吊柱和四组起吊环，四组支撑台分别安装在工作釜左侧、前侧、右侧和后侧，四组支撑台顶端均设置有第二轴承座，并在四组第二轴承座内均设置有第二滚珠轴承和第二限位片，四组第二轴承座顶端均设置有第二挡片，四组起吊柱的底端分别穿过四组第二挡片并分别插入至四组第二滚珠轴承内部与四组第二限位片连接，四组起吊环分别安装在四组起吊柱的顶端。

本实用新型的一种多晶硅热场坩埚装置，四组起吊环上均设置有缺口，还包括四组挤压板、四组第三可伸缩管和四组第三套簧，四组第三可伸缩管一端分别与四组缺口一端连接，四组第三可伸缩管另一端分别与四组挤压板连接，四组第三套簧一端分别与四组缺口一端连接，四组第三套簧另一端分别与四组挤压板连接，四组第三套簧套装在四组第三可伸缩管外侧，且四组挤压板分别与四组缺口另一端贴紧。

本实用新型的一种多晶硅热场坩埚装置，挡盖上纵向设置有通槽，并在通槽内侧壁可转动固定有滚珠组，插柱底端穿过滚珠组并伸入至工作釜内部，插柱外侧固定套设有两组固定环，两组固定环内侧均设置有移动轮组，两组移动轮组分别与挡盖顶底两侧贴紧接触。

与现有技术相比本实用新型的有益效果为：能够通过透明观察板3使工作釜1内部可以方便进行观察，从而提高其实用性，当透明观察板3脏污时，可以通过滑动滑块4，使其安装板7上的海绵擦8进行前后向移动，对透明观察板3进行擦拭，更加实用，手动转动把手11，使其带动连接架12上的丝杠13进行转动，从而带动滑块4进行前后向移动，又因为带动柱5穿过前后向连通口，方便滑块4在前后向移动时不随丝杠13转动而转动，把手11可自转的设计使丝杠13转动更加省力，第一限位片对丝杠13进行限位，防止其蹿出第一轴承座，且第一限位片与丝杠13硬性连接，丝杠13转动时，第一限位片随其一起转动，并且第一滚珠轴承卡装在第一挡片14与第一限位片之间，从而不会蹿出第一轴承座，第一限位片与第一轴承座之间可以机械锁紧，从而方便第一限位片进一步进行固定，多组第一套簧15挤压安装板7使其挤压海绵擦8，使得海绵擦8始终贴紧透明观察板3。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是挡盖的俯视图；

图3是连接杆、安装片和挂板连接的右视图；

图4是图1的A部局部放大图；

图5是图1的B部局部放大图；

图6是图1的C部局部放大图；

附图中标记：1、工作釜；2、挡盖；3、透明观察板；4、滑块；5、带动柱；6、带动板；7、安装板；8、海绵擦；9、后固定板；10、前固定板；11、把手；12、连接架；13、丝杠；14、第一挡片；15、第一套簧；16、转把；17、转动架；18、插柱；19、插管；20、带动轴；21、搅拌叶组；22、限位柱；23、定位块；24、滑轮组；25、限位环；26、限位杆组；27、连接杆；28、安装片；29、挂板；30、固定板；31、第二套簧；32、支撑台；33、起吊柱；34、起吊环；35、第二挡片；36、挤压板；37、第三套簧；38、固定环；39、移动轮组。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

如图1至图6所示，本实用新型的一种多晶硅热场坩埚装置，其在工作时，能够通过透明观察板3使工作釜1内部可以方便进行观察，从而提高其实用性，当透明观察板3脏污时，可以通过滑动滑块4，使其安装板7上的海绵擦8进行前后向移动，对透明观察板3进行擦拭，更加实用，手动转动把手11，使其带动连接架12上的丝杠13进行转动，从而带动滑块4进行前后向移动，又因为带动柱5穿过前后向连通口，方便滑块4在前后向移动时不随丝杠13转动而转动，把手11可自转的设计使丝杠13转动更加省力，第一限位片对丝杠13进行限位，防止其蹿出第一轴承座，且第一限位片与丝杠13硬性连接，丝杠13转动时，第一限位片随其一起转动，并且第一滚珠轴承卡装在第一挡片14与第一限位片之间，从而不会蹿出第一轴承座，第一限位片与第一轴承座之间可以机械锁紧，从而方便第一限位片进一步进行固定，多组第一套簧15挤压安装板7使其挤压海绵擦8，使得海绵擦8始终贴紧透明观察板3；能够通过手动转动转把16使其带动带动轴20上的搅拌叶组21对半成品进行搅拌，使半成品加热较为均匀；能够通过插柱18和插管19的配合进行搅拌叶组21的拆卸，在拆卸时只需要向内侧手动按压两组定位块23，使两组定位块23自左限位孔和右限位孔钻出，从而方便插管19的纵向移动拆卸或安装，而调整后两组定位块23在两组限位弹簧的作用下钻进左限位孔和右限位孔内，达到固定效果，插柱18侧壁贴紧插管19内侧壁，方便其不随意晃动，在此之前，将挡盖2打开；能够通过限位杆组26限定限位环25的位置，可以通过限位环25对带动轴20转动起到一定的限位作用，提高使用可靠性，减少带动轴20的晃动，滑轮组24辅助转动更加顺滑并提高支撑效果；在工作釜1整体固定时，能够通过连接杆27、安装片28和挂板29之间的连接配合方便辅助工作釜1稳定固定，固定时，通过第二套簧31带动固定板30方便前后向调节，使固定板30与连接杆27间距适应不同厚度的外界板状固定材料，提高适应能力；能够通过两组起吊环34方便其整体进行吊装，通过四组第二滚珠轴承方便起吊环34进行转动，提高适应能力，第二限位片对起吊柱33进行限位，防止其蹿出第二轴承座，且第二限位片与起吊柱33硬性连接，起吊柱33转动时，第二限位片随其一起转动，并且第二滚珠轴承卡装在第二挡片35与第二限位片之间，从而不会蹿出第二轴承座，第二限位片与第二轴承座之间能够机械锁紧，从而方便第二限位片进一步进行固定；能够通过起吊环34上的缺口方便起吊环34挂装在任意位置，并通过第三套簧37带动挤压板36对缺口进行堵塞，提高使用可靠性，第三可伸缩管辅助第三套簧37不易挤压变形，降低四组起吊环34挂装局限性，从而提高其适应能力；能够通过滚珠组辅助插柱18转动更加顺畅，两组固定环38对插柱18纵向位置进行限定，使其仅仅进行转动而不移动，移动轮组39方便转动并提高支撑效果。

本实用新型的一种多晶硅热场坩埚装置，以上所述所有部件的安装方式、连接方式或设置方式均为焊接、铆接或其他常见机械方式，其中可滑动/转动固定即为滑动/转动状态下不脱落，密封连通即两连接件连通的同时进行密封，并且其所有部件的具体结构、型号和系数指标均为其自带技术，只要能够达成其有益效果的均可进行实施，上述所有用电模块及用电器均为市面常见电器件，买回使用时仅需按照一同购回的使用说明书相互电连接即可进行使用，且控制模块为其常见自带模块，故均在此不再赘述。

本实用新型的一种多晶硅热场坩埚装置，在未作相反说明的情况下，“上下左右、前后内外以及垂直水平”等包含在术语中的方位词仅代表该术语在常规使用状态下的方位，或为本领域技术人员理解的俗称，而不应视为对该术语的限制，与此同时，“第一”、“第二”和“第三”等数列名词不代表具体的数量及顺序，仅仅是用于名称的区分，而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。

Claims

1.一种多晶硅热场坩埚装置，包括工作釜（1），工作釜（1）内部设置有工作腔，工作釜（1）顶端连通设置有取放口，并在取放口处螺栓螺装有挡盖（2）；其特征在于，挡盖（2）顶端连通设置有观察孔，并在观察孔处设置有透明观察板（3），挡盖（2）顶端左侧设置有前后向连通口，还包括滑块（4）、带动柱（5）、带动板（6）、安装板（7）和海绵擦（8），带动柱（5）顶端与滑块（4）连接，带动柱（5）底端穿过前后向连通口并伸入至工作釜（1）内部与带动板（6）顶端左方连接，海绵擦（8）安装在安装板（7）顶端，海绵擦（8）贴紧透明观察板（3）底侧壁，还包括后固定板（9）、前固定板（10）、把手（11）、连接架（12）和丝杠（13），后固定板（9）和前固定板（10）分别安装在挡盖（2）顶端左侧后方和前方，前固定板（10）后端设置有第一轴承座，并在第一轴承座内设置有第一滚珠轴承和第一限位片，第一轴承座后端设置有第一挡片（14），把手（11）可转动固定在连接架（12）后端，丝杠（13）后端与连接架（12）前部连接，丝杠（13）前端穿过后固定板（9）后侧壁并伸出至后固定板（9）前方，丝杠（13）前端穿过第一挡片（14）插入至第一滚珠轴承内部与第一限位片连接，滑块（4）螺装套在丝杠（13）外侧，还包括多组第一套簧（15）和多组第一可伸缩管，多组第一套簧（15）的一端均与安装板（7）连接，多组第一套簧（15）的另一端均与带动板（6）连接，多组第一可伸缩管的一端均与安装板（7）连接，多组第一可伸缩管的另一端均与带动板（6）连接，多组第一套簧（15）分别套装在多组第一可伸缩管外侧。

2.如权利要求1所述的一种多晶硅热场坩埚装置，其特征在于，还包括转把（16）、转动架（17）、插柱（18）、插管（19）、带动轴（20）和搅拌叶组（21），转把（16）和转动架（17）均位于工作釜（1）的外侧，转把（16）安装在转动架（17）上，搅拌叶组（21）位于工作腔内，插柱（18）的顶端与转动架（17）连接，带动轴（20）安装在插管（19）底端，搅拌叶组（21）安装在带动轴（20）上。

3.如权利要求2所述的一种多晶硅热场坩埚装置，其特征在于，插柱（18）底端插入至插管（19）顶端内部，还包括限位柱（22）、两组限位弹簧和两组定位块（23），插柱（18）内部下方设置有限位腔，插柱（18）左侧壁和右侧壁上设置有左通孔和右通孔，插管（19）左侧壁和右侧壁分别设置有左限位孔和右限位孔，限位柱（22）安装在限位腔内底侧壁，两组限位弹簧位于限位腔内，两组限位弹簧的一端分别与限位柱（22）左侧和右侧连接，两组定位块（23）的一端分别安装在两组限位弹簧的另一端，两组定位块（23）的另一端分别穿过左通孔和右通孔，并且两组定位块（23）的另一端分别插入至左限位孔内和右限位孔内。

4.如权利要求3所述的一种多晶硅热场坩埚装置，其特征在于，还包括还包括滑轮组（24）、限位环（25）和限位杆组（26），限位环（25）套设在带动轴（20）外侧，限位杆组（26）一端与限位环（25）连接，限位杆组（26）另一端与挡盖（2）底侧壁连接，滑轮组（24）一端与限位环（25）内侧连接，滑轮组（24）另一端与带动轴（20）外侧贴紧接触。

5.如权利要求4所述的一种多晶硅热场坩埚装置，其特征在于，还包括连接杆（27）、安装片（28）、挂板（29）、固定板（30）、第二套簧（31）和第二可伸缩管，连接杆（27）安装在工作釜（1）后侧上方，安装片（28）前端与连接杆（27）后侧上方连接，挂板（29）安装在安装片（28）后端，第二套簧（31）后侧与挂板（29）前侧连接，固定板（30）安装在第二套簧（31）前侧，第二可伸缩管后侧与挂板（29）前侧连接，固定板（30）安装在第二可伸缩管前侧，第二套簧（31）套装在第二可伸缩管外侧。

6.如权利要求5所述的一种多晶硅热场坩埚装置，其特征在于，还包括四组支撑台（32）、四组起吊柱（33）和四组起吊环（34），四组支撑台（32）分别安装在工作釜（1）左侧、前侧、右侧和后侧，四组支撑台（32）顶端均设置有第二轴承座，并在四组第二轴承座内均设置有第二滚珠轴承和第二限位片，四组第二轴承座顶端均设置有第二挡片（35），四组起吊柱（33）的底端分别穿过四组第二挡片（35）并分别插入至四组第二滚珠轴承内部与四组第二限位片连接，四组起吊环（34）分别安装在四组起吊柱（33）的顶端。

7.如权利要求6所述的一种多晶硅热场坩埚装置，其特征在于，四组起吊环（34）上均设置有缺口，还包括四组挤压板（36）、四组第三可伸缩管和四组第三套簧（37），四组第三可伸缩管一端分别与四组缺口一端连接，四组第三可伸缩管另一端分别与四组挤压板（36）连接，四组第三套簧（37）一端分别与四组缺口一端连接，四组第三套簧（37）另一端分别与四组挤压板（36）连接，四组第三套簧（37）套装在四组第三可伸缩管外侧，且四组挤压板（36）分别与四组缺口另一端贴紧。

8.如权利要求7所述的一种多晶硅热场坩埚装置，其特征在于，挡盖（2）上纵向设置有通槽，并在通槽内侧壁可转动固定有滚珠组，插柱（18）底端穿过滚珠组并伸入至工作釜（1）内部，插柱（18）外侧固定套设有两组固定环（38），两组固定环（38）内侧均设置有移动轮组（39），两组移动轮组（39）分别与挡盖（2）顶底两侧贴紧接触。