CN210197316U - 一种燃烧式气体处理设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种燃烧式气体处理设备，包括炉体、设置于炉体顶部的废气入口、设置于炉体侧壁的助燃空气入口和设置于炉体内部的隔热筒壁，隔热筒壁上设置有导流孔，导流孔沿隔热筒壁的周向环形分布，且导流孔延伸至炉体中心轴处。本实用新型提供的燃烧式气体处理设备，通过鼓入助燃空气从外腔通过风机导入后，从导流孔进入燃烧腔体内，将燃烧腔体内的粉尘带走，控制腔内其他介质对废气管道的喷口及燃烧腔壁面的影响，避免粉尘积垢，改善腔内积垢的情况，减少维护和检修频率。
Description
技术领域
本实用新型涉及环境处理设备技术领域，特别涉及一种燃烧式气体处理设备。
背景技术
半导体工艺中常适用的化学物质及副产物对人体或者环境皆有一定的危害性，通过POU设备氧化和热解后排放，但废气管道的喷口及燃烧腔壁面的粉尘积垢，这导致设备的频繁启停和维护，废气管道及燃烧腔壁面的粉尘积垢一直都是现代POU设备的核心问题。
因此，如何解决及燃烧腔壁面的粉尘积垢的问题，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种燃烧式气体处理设备，避免粉尘挂在壁面，改善腔内积垢的情况，减少维护和检修频率。
为解决上述技术问题，本实用新型提供一种燃烧式气体处理设备，包括炉体、设置于所述炉体顶部的废气入口、设置于所述炉体侧壁的助燃空气入口和设置于所述炉体内部的隔热筒壁，所述隔热筒壁上设置有导流孔，所述导流孔沿所述隔热筒壁的周向环形分布，且所述导流孔延伸至所述炉体中心轴处。
优选地，所述隔热筒壁外侧设置有内衬层。
优选地，所述内衬层与所述隔热筒壁贴合，且所述内衬层与所述导流孔连通。
优选地，所述内衬层外侧设置有多孔板。
优选地，所述隔热筒壁为浇注料板。
优选地，所述内衬层为陶瓷纤维棉层。
优选地，所述导流孔沿所述隔热筒壁围成的圆柱状腔的径向等夹角分布。
本实用新型所提供的燃烧式气体处理设备，主要包括炉体、设置于所述炉体顶部的废气入口、设置于所述炉体侧壁的助燃空气入口和设置于所述炉体内部的隔热筒壁，所述隔热筒壁上设置有导流孔，所述导流孔沿所述隔热筒壁的周向环形分布，且所述导流孔延伸至所述炉体中心轴处。本实用新型提供的燃烧式气体处理设备，通过鼓入助燃空气从外腔通过风机导入后，从导流孔进入燃烧腔体内，将燃烧腔体内的粉尘带走，控制腔内其他介质对废气管道的喷口及燃烧腔壁面的影响，避免粉尘积垢，改善腔内积垢的情况，减少维护和检修频率。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
图1为本实用新型所提供的一种具体实施方式的整体结构示意图；
图2为图1所示结构的俯视图。
其中，图1-图2中：
炉体—1，废气入口—2，助燃空气入口—3，隔热筒壁—4，导流孔—5，内衬层—6，多孔板—7。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参考图1和图2，图1为本实用新型所提供的一种具体实施方式的整体结构示意图；图2为图1所示结构的俯视图；图中箭头代表气体流动方向。
在本实用新型所提供的一种具体实施方式中，燃烧式气体处理设备主要包括炉体1、设置于炉体1顶部的废气入口2、设置于炉体1侧壁的助燃空气入口3和设置于炉体1内部的隔热筒壁4，隔热筒壁4上设置有导流孔5，导流孔5沿隔热筒壁4的周向环形分布，且导流孔5延伸至炉体1中心轴处。
其中，炉体1顶部的废气入口2用于废气导入，设置于炉体1侧壁的助燃空气入口3用于助燃空气的导入，对燃烧腔室的粉尘进行导流，炉体1内部的隔热筒壁4以及隔热筒壁4上导流孔5用于对助燃空气的导流，导流孔5沿隔热筒壁4的周向环形分布，且导流孔5延伸至炉体1中心轴处。
具体的，在实际的废气处理过程当中，废气通过废气入口2进入燃烧室进行正常燃烧处理，此时，助燃空气通过助燃空气入口3进入到燃烧腔体内，与废气燃烧后的粉尘进行混合，并通过导流孔5将粉尘引导至炉体1的中心轴处，避免粉尘在炉体1的内部壁上积垢。
为了优化上述实施例中燃烧式气体处理设备具有环保效率高的优点，隔热筒壁4外侧设置有内衬层6；内衬层6与隔热筒壁4贴合，且内衬层6与导流孔5连通。助燃空气携带粉尘在经过内衬层6导流时，带走热量的同时提高了自身温度，通过对衬里热量的回收，进一步降低燃气消耗，具有节能环保的优点。内衬层6为陶瓷纤维棉层，陶瓷纤维棉层吸附能力低，可保证助燃空气携带粉尘的效果，需要说明的是，内衬层6还可以为其他材质，以能够保证助燃空气携带粉尘的效果为准，在此不做具体限定。
进一步地，内衬层6外侧设置有多孔板7。多孔板7保证了助燃空气携带粉尘导流到炉体1中心轴时的均匀稳定性，对助燃空气进行更好的疏导，保证了粉尘导流到中心轴的稳定性，使粉尘积垢到燃烧室壁的几率更低。
进一步地，隔热筒壁4为浇注料板；导流孔5沿隔热筒壁4围成的圆柱状腔的径向等夹角分布。导流孔5沿隔热筒壁4围成的圆柱状腔的径向等夹角分布，次设计保证了助燃空气流动时的稳定性，且燃烧室为圆柱体形，如此设计可使助燃空气更加均匀地流向炉体1中心轴处，对助燃空气进行更好的疏导，保证了粉尘导流到中心轴的稳定性，使粉尘积垢到燃烧室壁的几率更低。
综上所述，本实施例所提供的燃烧式气体处理设备主要包括炉体、设置于所述炉体顶部的废气入口、设置于炉体侧壁的助燃空气入口和设置于炉体内部的隔热筒壁，隔热筒壁上设置有导流孔，导流孔沿隔热筒壁的周向环形分布，且导流孔延伸至炉体中心轴处。本实用新型提供的燃烧式气体处理设备，通过鼓入助燃空气从外腔通过风机导入后，从导流孔进入燃烧腔体内，将燃烧腔体内的粉尘带走，控制腔内其他介质对废气管道的喷口及燃烧腔壁面的影响，避免粉尘积垢，改善腔内积垢的情况，减少维护和检修频率。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (7)
1.一种燃烧式气体处理设备，其特征在于，包括炉体(1)、设置于所述炉体(1)顶部的废气入口(2)、设置于所述炉体(1)侧壁的助燃空气入口(3)和设置于所述炉体(1)内部的隔热筒壁(4)，所述隔热筒壁(4)上设置有导流孔(5)，所述导流孔(5)沿所述隔热筒壁(4)的周向环形分布，且所述导流孔(5)延伸至所述炉体(1)中心轴处。
2.根据权利要求1所述的燃烧式气体处理设备，其特征在于，所述隔热筒壁(4)外侧设置有内衬层(6)。
3.根据权利要求2所述的燃烧式气体处理设备，其特征在于，所述内衬层(6)与所述隔热筒壁(4)贴合，且所述内衬层(6)与所述导流孔(5)连通。
4.根据权利要求3所述的燃烧式气体处理设备，其特征在于，所述内衬层(6)外侧设置有多孔板(7)。
5.根据权利要求4所述的燃烧式气体处理设备，其特征在于，所述隔热筒壁(4)为浇注料板。
6.根据权利要求5所述的燃烧式气体处理设备，其特征在于，所述内衬层(6)为陶瓷纤维棉层。
7.根据权利要求1至6任意一项所述的燃烧式气体处理设备，其特征在于，所述导流孔(5)沿所述隔热筒壁(4)围成的圆柱状腔的径向等夹角分布。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921060799.8U CN210197316U (zh) | 2019-07-08 | 2019-07-08 | 一种燃烧式气体处理设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921060799.8U CN210197316U (zh) | 2019-07-08 | 2019-07-08 | 一种燃烧式气体处理设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN210197316U true CN210197316U (zh) | 2020-03-27 |
Family
ID=69870399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201921060799.8U Active CN210197316U (zh) | 2019-07-08 | 2019-07-08 | 一种燃烧式气体处理设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN210197316U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113058356A (zh) * | 2021-03-17 | 2021-07-02 | 北京京仪自动化装备技术有限公司 | 一种处理半导体dpy工艺的废气处理装置 |
-
2019
- 2019-07-08 CN CN201921060799.8U patent/CN210197316U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113058356A (zh) * | 2021-03-17 | 2021-07-02 | 北京京仪自动化装备技术有限公司 | 一种处理半导体dpy工艺的废气处理装置 |
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