CN210193945U - 一种退火炉隔热装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种退火炉隔热装置，涉及热处理领域，为解决现有技术中的热传导速度快，保温效果不好，增加能耗，并且炉腔内各部分受热不均匀，且退火炉不仅使工人工作环境温度升高，不利于生产工作，以及不方便取出加热零件的问题。所述退火炉外壳的一侧设置有上盖板，所述上盖板的上端安装有盖板拉手，所述退火炉外壳内部的下方设置有拉板，所述拉板的上端面设置有拉板隔热板，所述拉板的一侧安装有拉板拉手，所述拉板的下方安装有滚轮，所述退火炉外壳的内表面设置有岩棉，所述隔热耐火砖的前端安装有钢板，所述岩棉的内部安装有硅酸钙筋条，所述拉板隔热板的上端面设置有隔热泡沫板，所述上盖板的一侧安装有盖板隔热板。

Description

一种退火炉隔热装置

技术领域

本实用新型涉及热处理技术领域，具体为一种退火炉隔热装置。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理，退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的，退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％，在退火炉进行加工时，需要对外部进行隔热从而有利于生产效率。

目前，用于高温的热处理退火炉，一般是在炉腔壁内侧直接设置一层隔热层，炉腔壁直接接触隔热层，热传导速度快，保温效果不好，增加能耗，并且炉腔内各部分受热不均匀，影响对整体炉腔温度的控制，且退火炉不仅使工人工作环境温度升高，不利于生产工作，还使得退火炉大量热量逃失，热效率极低，不方便进行开关门，以及不方便取出加热零件；因此市场急需研制一种退火炉隔热装置来帮助人们解决现有的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种退火炉隔热装置，以解决上述背景技术中提出的热传导速度快，保温效果不好，增加能耗，并且炉腔内各部分受热不均匀，且退火炉不仅使工人工作环境温度升高，不利于生产工作，以及不方便取出加热零件的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种退火炉隔热装置，包括退火炉外壳，所述退火炉外壳的一侧设置有上盖板，所述上盖板的上端安装有盖板拉手，所述上盖板的前端面设置有钳制器按钮，所述钳制器按钮的下方设置有导轨，所述退火炉外壳的内部设置有隔热耐火砖，所述退火炉外壳内部的下方设置有拉板，所述拉板的上端面设置有拉板隔热板，所述拉板的一侧安装有拉板拉手，所述拉板的下方安装有滚轮，所述退火炉外壳的内表面设置有岩棉，所述隔热耐火砖的前端安装有钢板，所述岩棉的内部安装有硅酸钙筋条，所述拉板隔热板的上端面设置有隔热泡沫板，所述隔热泡沫板的上端面设置有拉板泡沫凸块，所述拉板隔热板一侧的上端面设置有隔热板凹槽，所述上盖板的一侧安装有盖板隔热板，所述盖板隔热板的下方设置有隔热板凸块，所述盖板隔热板的一侧安装有盖板泡沫板，所述盖板泡沫板的一侧设置有盖板泡沫凸块。

优选的，所述导轨与退火炉外壳通过固定螺丝连接，所述上盖板的内部设置有常闭型钳制器，所述上盖板通过常闭型钳制器与导轨滑动连接，且常闭型钳制品与钳制器按钮固定连接。

优选的，所述隔热耐火砖通过水泥与退火炉外壳固定连接。

优选的，所述退火炉外壳的下方设置有缺口，且缺口的两侧均设置有滑槽，所述拉板通过滑槽与退火炉外壳滑动连接。

优选的，所述硅酸钙筋条延伸至岩棉内部与岩棉固定连接，所述钢板与隔热耐火砖贴合，所述钢板的两端均穿过隔热耐火砖和岩棉与退火炉外壳焊接连接。

优选的，所述隔热泡沫板与拉板泡沫凸块设置为一体结构，所述盖板泡沫板与盖板泡沫凸块设置为一体结构，所述隔热板凸块的形状与隔热板凹槽的形状相同。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.该实用新型通过拉板的设置，在进行加工时，可将拉板通过拉板拉手拉开，将需要加工的零部件放置在拉板隔热板上，在通过滚轮和滑槽将拉板滑入退火炉外壳内部，可方便加工时将零部件放入退火炉中，再将上盖板通过导轨盖下至拉板上，即可关闭退火炉外门，打开时，只需将钳制器按钮按下，通过盖板拉手将上盖板拉起，再将拉板拉出，即可取出加热过的零部件，方便实用，保护工作人员的工作安全，且可提高工作效率。

2.该实用新型通过硅酸钙筋条的设置，在进行加热的过程中，通过硅酸钙筋条和钢板将原来的炉膛壁与隔热层面接触变成了线接触，减小了接触面，导热降低，加上硅酸钙筋条间产生的空间，增加了对流空间，降低了设备能耗，同时，也使炉膛内壁与隔热层间内部快速均匀受热，整个炉膛内部受热均匀。

3.该实用新型通过隔热泡沫板的设置，将拉板和上盖板关闭时，通过隔热板凹槽和隔热板凸块相互嵌合，使退火炉的缝隙减小，再通过盖板泡沫凸块和拉板泡沫凸块具有一定的硬度，加上拉板泡沫凸块中间的缝隙可以设置对流空间，减慢散热速度，隔热效果提高显著，能耗显著降低，盖板泡沫凸块中间设置孔隙对流空间，减慢了炉腔向外的散热速度，增强了隔热效果，既提高受热的均匀性，又减少了退火炉的材料成本，也便于对退火炉隔热装置的维护。

附图说明

图1为本实用新型的一种退火炉隔热装置的整体主视图；

图2为本实用新型的一种退火炉隔热装置的侧视图；

图3为本实用新型的一种退火炉外壳的内部结构图；

图4为本实用新型的拉板的结构示意图。

图中：1、退火炉外壳；2、上盖板；3、盖板拉手；4、钳制器按钮；5、导轨；6、隔热耐火砖；7、拉板；8、拉板隔热板；9、拉板拉手；10、滚轮；11、岩棉；12、钢板；13、硅酸钙筋条；14、隔热泡沫板；15、拉板泡沫凸块；16、隔热板凹槽；17、盖板隔热板；18、隔热板凸块；19、盖板泡沫板；20、盖板泡沫凸块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种退火炉隔热装置，包括退火炉外壳1，退火炉外壳1的一侧设置有上盖板2，上盖板2的上端安装有盖板拉手3，上盖板2的前端面设置有钳制器按钮4，钳制器按钮4的下方设置有导轨5，退火炉外壳1的内部设置有隔热耐火砖6，退火炉外壳1内部的下方设置有拉板7，拉板7的上端面设置有拉板隔热板8，拉板7的一侧安装有拉板拉手9，拉板7的下方安装有滚轮10，退火炉外壳1的内表面设置有岩棉11，隔热耐火砖6的前端安装有钢板12，岩棉11的内部安装有硅酸钙筋条13，拉板隔热板8的上端面设置有隔热泡沫板14，隔热泡沫板14的上端面设置有拉板泡沫凸块15，拉板隔热板8一侧的上端面设置有隔热板凹槽16，上盖板2的一侧安装有盖板隔热板17，盖板隔热板17的下方设置有隔热板凸块18，盖板隔热板17的一侧安装有盖板泡沫板19，盖板泡沫板19的一侧设置有盖板泡沫凸块20。

进一步，导轨5与退火炉外壳1通过固定螺丝连接，上盖板2的内部设置有常闭型钳制器，上盖板2通过常闭型钳制器与导轨5滑动连接，且常闭性钳制器与钳制器按钮4固定连接。

进一步，隔热耐火砖6通过水泥与退火炉外壳1固定连接，通过隔热耐火砖6减小与外部之间的热传导。

进一步，退火炉外壳1的下方设置有缺口，且缺口的两侧均设置有滑槽，拉板7通过滑槽与退火炉外壳1滑动连接，拉动拉板7通过滑槽将拉板7从退火炉外壳1内部拉伸。

进一步，硅酸钙筋条13延伸至岩棉11内部与岩棉11固定连接，钢板12与隔热耐火砖6贴合，钢板12的两端均穿过隔热耐火砖6和岩棉11与退火炉外壳1焊接连接，硅酸钙筋条13间产生的空间，增加了对流空间，降低了设备能耗。

进一步，隔热泡沫板14与拉板泡沫凸块15设置为一体结构，盖板泡沫板19与盖板泡沫凸块20设置为一体结构，隔热板凸块18的形状与隔热板凹槽16的形状相同，通过隔热板凹槽16和隔热板凸块18相互嵌合，使退火炉的缝隙减小。

工作原理：使用时，将拉板7通过拉板拉手9拉开，将需要加工的零部件放置在拉板隔热板8上，在通过滚轮10和滑槽将拉板7滑入退火炉外壳1内部，可方便加工时将零部件放入退火炉中，按下钳制器按钮4，松开常闭型钳制器，再将上盖板2通过导轨5盖下至拉板7上，即可关闭退火炉外门，按下钳制器按钮4关闭常闭型钳制器，使拉板7固定，将隔热板凹槽16和隔热板凸块18相互嵌合，使退火炉的缝隙减小，通过盖板泡沫凸块20和拉板泡沫凸块15具有一定的硬度，加上拉板泡沫凸块15中间的缝隙可以设置对流空间，减慢散热速度，盖板泡沫凸块20中间设置孔隙对流空间，既提高受热的均匀性，又减少了退火炉的材料成本，在进行加热的过程中，通过硅酸钙筋条13和钢板12将原来的炉膛壁与隔热层面接触变成了线接触，减小了接触面，导热降低，加上硅酸钙筋条13间产生的空间，增加了对流空间，减慢了炉腔向外的散热速度，增强了隔热效果，加热完成后打开时，只需将钳制器按钮4按下，通过盖板拉手3将上盖板2拉起，再将拉板7拉出，即可取出加热过的零部件，方便实用。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种退火炉隔热装置，包括退火炉外壳(1)，其特征在于：所述退火炉外壳(1)的一侧设置有上盖板(2)，所述上盖板(2)的上端安装有盖板拉手(3)，所述上盖板(2)的前端面设置有钳制器按钮(4)，所述钳制器按钮(4)的下方设置有导轨(5)，所述退火炉外壳(1)的内部设置有隔热耐火砖(6)，所述退火炉外壳(1)内部的下方设置有拉板(7)，所述拉板(7)的上端面设置有拉板隔热板(8)，所述拉板(7)的一侧安装有拉板拉手(9)，所述拉板(7)的下方安装有滚轮(10)，所述退火炉外壳(1)的内表面设置有岩棉(11)，所述隔热耐火砖(6)的前端安装有钢板(12)，所述岩棉(11)的内部安装有硅酸钙筋条(13)，所述拉板隔热板(8)的上端面设置有隔热泡沫板(14)，所述隔热泡沫板(14)的上端面设置有拉板泡沫凸块(15)，所述拉板隔热板(8)一侧的上端面设置有隔热板凹槽(16)，所述上盖板(2)的一侧安装有盖板隔热板(17)，所述盖板隔热板(17)的下方设置有隔热板凸块(18)，所述盖板隔热板(17)的一侧安装有盖板泡沫板(19)，所述盖板泡沫板(19)的一侧设置有盖板泡沫凸块(20)。

2.根据权利要求1所述的一种退火炉隔热装置，其特征在于：所述导轨(5)与退火炉外壳(1)通过固定螺丝连接，所述上盖板(2)的内部设置有常闭型钳制器，所述上盖板(2)通过常闭型钳制器与导轨(5)滑动连接，且常闭性钳制器与钳制器按钮(4)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种退火炉隔热装置，其特征在于：所述隔热耐火砖(6)通过水泥与退火炉外壳(1)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种退火炉隔热装置，其特征在于：所述退火炉外壳(1)的下方设置有缺口，且缺口的两侧均设置有滑槽，所述拉板(7)通过滑槽与退火炉外壳(1)滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种退火炉隔热装置，其特征在于：所述硅酸钙筋条(13)延伸至岩棉(11)内部与岩棉(11)固定连接，所述钢板(12)与隔热耐火砖(6)贴合，所述钢板(12)的两端均穿过隔热耐火砖(6)和岩棉(11)与退火炉外壳(1)焊接连接。

6.根据权利要求1所述的一种退火炉隔热装置，其特征在于：所述隔热泡沫板(14)与拉板泡沫凸块(15)设置为一体结构，所述盖板泡沫板(19)与盖板泡沫凸块(20)设置为一体结构，所述隔热板凸块(18)的形状与隔热板凹槽(16)的形状相同。

Images