CN210180089U - 一种晶片干燥装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶片干燥装置，包括箱体，所述箱体的上方设有用于从上往下送风的风机过滤机组，所述风机过滤机组下方设有若干个加热灯，所述加热灯通过支架水平安装在箱体的内部，所述加热灯的下方设有翻转器，所述翻转器包括卡座、设在卡座内的翻转轴和套装在翻转轴两端的轴承，所述翻转器通过翻转轴两端的轴承安装在箱体内，所述卡塞安装在翻转器的卡座上，所述卡塞上设有若干个平行分布的卡槽。本实用新型提供的晶片干燥装置在工作时，风机过滤机组开启，加热灯加热，通过翻转器中翻转轴的转动，带动卡塞中的晶片转动，经过一段时间的干燥后，将晶片取出，完成干燥。

Description

一种晶片干燥装置

技术领域

本实用新型涉及晶片的加工技术领域，特别涉及一种晶片干燥装置。

背景技术

蓝宝石单晶，具有透光性好、硬度高、化学稳定性好、热传导优良等特点，广泛地应用于工业、国防和科研等多个领域，此外，蓝宝石晶片是一种用途广泛的单晶基片材料。在蓝宝石晶片加工过程中，最后需要通过刷片工序来去除晶片表面的小颗粒脏污，从而达到晶片表面的高洁净度要求。而在刷片后，晶片的正背面可能会带有水分子，从而使晶片潮湿。而现有技术一般是刷片后直接检测包装，由于蓝宝石晶片不是完全干燥，如果长期存放，晶片的表面状态及脏污情况会受到水汽的影响，因此，影响晶片在使用过程中的稳定性，因此，需要设计出一种可以干燥晶片的装置，从而提高晶片在使用过程中的稳定性。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型公开了一种晶片干燥装置，包括箱体，所述箱体的上方设有用于从上往下送风的风机过滤机组，所述风机过滤机组下端的出风口与箱体的顶部相通，所述风机过滤机组下方设有若干个加热灯，所述加热灯通过支架水平安装在箱体的内部，所述加热灯的下方设有翻转器，所述翻转器包括卡座、设在卡座内的翻转轴和套装在翻转轴两端的轴承，所述翻转轴可以带动卡座转动，所述翻转器通过翻转轴两端的轴承安装在箱体内，所述卡塞安装在翻转器的卡座上，所述卡塞上设有若干个平行分布的卡槽。

作为一种改进的技术方案，所述晶片干燥装置还包括电源和驱动电机，所述风机过滤机组、加热灯和驱动电机分别与电源电性连接，所述驱动电机与翻转轴电动连接。所述翻转轴可以在驱动电机的带动下转动。

作为一种改进的技术方案，所述晶片干燥装置还包括控制器和计时器，所述电源通过控制器与计时器连接，所述控制器可以接收计时器的信号，并根据计时器的信号控制电源的关闭。

作为一种改进的技术方案，所述箱体底部的底板上均匀设有若干个通风孔；所述通风孔的直径为1-10mm。

本实用新型中的风机过滤机组可采用现有技术。

本实用新型的有益效果是：

(1)本实用新型提供的晶片干燥装置在工作时，FFU开启，加热灯加热，通过翻转器中翻转轴的转动，带动卡塞中的晶片转动，经过一段时间的干燥后，将晶片取出，完成干燥。

(2)本实用新型提供的晶片干燥装置可以自动控制晶片的干燥时间。本实用新型通过设置计时器和控制器，当按下计时器时，控制器使电源接通，控制翻转器进行翻转、风机过滤机组和加热灯进行加热，计时结束后，控制器自动切断电源，翻转器停止翻转，同时，风机过滤机组停止工作，加热灯停止加热，起到自动定时干燥的作用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的翻转器的俯视图；

图3为本实用新型的底板的俯视图。

附图标记：1-箱体；11-底板；12-通风孔；2-风机过滤机组；21-出风口；3- 加热灯；31-支架；4-翻转器；41-卡座；42-翻转轴；43-轴承；5-卡塞；51-卡槽； 6-电源；7-驱动电机；8-控制器；9-计时器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

如图1-3所示，本实用新型提供了一种晶片干燥装置，包括箱体1，所述箱体1上方设有用于从上往下送风的风机过滤机组2，所述风机过滤机组2下端的出风口21与箱体1的顶部相通，所述风机过滤机组2下方设有若干个加热灯3，所述加热灯3通过支架31水平安装在箱体1的内部，所述加热灯3的下方设有翻转器4，所述翻转器4包括卡座41、设在卡座41内的翻转轴42和套装在翻转轴42两端的轴承43，所述翻转器4通过翻转轴42两端的轴承43安装在箱体 1内，所述卡塞5安装在翻转器4的卡座41上，所述卡塞5上设有若干个平行分布的卡槽51。

所述晶片干燥装置还包括电源6和驱动电机7，所述风机过滤机组2、加热灯3和驱动电机7分别与电源6电性连接，所述驱动电机7与翻转轴42电动连接。所述翻转轴42可以在驱动电机7的带动下转动。

所述晶片干燥装置还包括控制器8和计时器9，所述电源6通过控制器8与计时器9连接，所述控制器8可以接收计时器9的信号，并根据计时器9的信号控制电源6的关闭。

所述箱体1底部的底板11上均匀设有若干个通风孔12；所述通风孔12的直径为5mm。

本实用新型的工作流程为：将晶片插入卡塞5的卡槽51内，当按下计时器9时，控制器使8得电源6接通通电，驱动电机7控制翻转器42进行翻转，风机过滤机2通风，加热灯3进行加热，风机过滤机组2的风经过加热变成热风，热风对晶片进行加热后从底板11上的通风孔12排出，通过翻转器4中翻转轴42的转动，带动卡塞5中的晶片转动。当计时结束后，计时器9将信号传给控制器8，控制器8自动切断电源6，翻转器4停止翻转，同时，风机过滤机组2停止工作，加热灯3停止加热，将晶片取出，即完成晶片的干燥。

上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础；当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种晶片干燥装置，其特征在于：包括箱体，所述箱体的上方设有用于从上往下送风的风机过滤机组，所述风机过滤机组下端的出风口与箱体的顶部相通，所述风机过滤机组下方设有若干个加热灯，所述加热灯通过支架水平安装在箱体的内部，所述加热灯的下方设有翻转器，所述翻转器包括卡座、设在卡座内的翻转轴和套装在翻转轴两端的轴承，所述翻转器通过翻转轴两端的轴承安装在箱体内，卡塞安装在翻转器的卡座上，所述卡塞上设有若干个平行分布的卡槽。

2.如权利要求1所述的晶片干燥装置，其特征在于：还包括电源和驱动电机，所述风机过滤机组、加热灯和驱动电机分别与电源电性连接，所述驱动电机与翻转轴电动连接。

3.如权利要求2所述的晶片干燥装置，其特征在于：还包括控制器和计时器，所述电源通过控制器与计时器连接。

4.如权利要求1所述的晶片干燥装置，其特征在于：所述箱体底部的底板上均匀设有若干个通风孔。

5.如权利要求4所述的晶片干燥装置，其特征在于：所述通风孔的直径为1-10mm。

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