CN210085616U - 节能型直拉单晶炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种节能型直拉单晶炉，包括矩形箱体，所述矩形箱体的外侧面上端设有锥形罩，锥形罩的外侧面上端中部设有柱形导流罩，柱形导流罩的外侧面上端设有外壳体，外壳体的内侧面中部设有定位板，定位板的上表面设有旋转电机，定位板的上表面中部转动连接有中空转轴，中空转轴的上端面设有电动提升装置，电动提升装置上连接有吊绳，且吊绳穿过中空转轴设置，吊绳的下端面设有拉晶杆，本节能型直拉单晶炉，结构紧凑，操作方便，使用时占用空间小，可以连续高效的进行单晶硅生产，真空上料泵的设置方便了原料的连续加注，通过电加热丝可以对原料进行预加热处理，取料口盖板的设置方便了原料的取出。

Description

节能型直拉单晶炉

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域，具体为一种节能型直拉单晶炉。

背景技术

目前，利用直拉单晶炉生产单晶炉的技术已经比较成熟，当下对单晶硅的核心技术应该是如何降低设备的制造成本，一般可以通过两种方法：一是降低功耗，二提高拉晶速度，但是如果使用一方面的简单设计，会带来晶体质量上的问题，专利申请号201020182937.2中公开了直拉硅单晶炉装置，该装置中在炉腔中硅熔体上方设置一个两端开口的罩体，使得在单晶硅生长过程中，所述的单晶硅是从罩体内沿着罩体向上生长，惰性气体通过副室流向罩体，再沿着罩体向硅熔体液面流动，最终经排气口排出。虽然提高了晶体硅的浓度但是在拉晶过程中由于散热的问题使得拉晶速度不是很好，没有降低功耗，同时现有技术中的直拉单晶炉在实际生产过程中，需要间断的将单晶炉炉火熄灭，熄灭后降温，降温完成后将单晶硅取出，同时再将原料加注到坩埚的内部，再次点火进行单晶硅生产，采用此种方法生产会浪费大量的能量，造成单晶硅的生产效率较低。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种节能型直拉单晶炉，可以连续高效的进行单晶硅生产，给单晶硅的生产使用带来了便利，而且可以在不熄火的情况下将单晶硅取出，进一步提升了本实用新型的使用效率，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种节能型直拉单晶炉，包括矩形箱体，所述矩形箱体的外侧面上端设有锥形罩，锥形罩的外侧面上端中部设有柱形导流罩，柱形导流罩的外侧面上端设有外壳体，外壳体的内侧面中部设有定位板，定位板的上表面设有旋转电机，定位板的上表面中部转动连接有中空转轴，中空转轴的上端面设有电动提升装置，电动提升装置上连接有吊绳，且吊绳穿过中空转轴设置，吊绳的下端面设有拉晶杆，柱形导流罩的外侧面中部设有锥形料嘴，锥形料嘴的外侧面上端设有柱形进料管和抽气口，柱形进料管上设有第一阀门，柱形进料管上连接有真空上料泵，旋转电机和电动提升装置的输入端均通过外部开关与外部电源的输出端电连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述柱形导流罩的外侧面中部设有取料口，柱形导流罩的外侧面靠近取料口的一端设有取料口盖板，取料口盖板的外侧面设有把手。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述矩形箱体的内部设有坩埚，坩埚的底部设有旋转装置，坩埚的外侧面设有电加热装置。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述矩形箱体的前侧面设有操作口，矩形箱体的前侧面靠近操作口的一端设有密封盖板。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述锥形罩的外侧面设有进气管和出气管，进气管和出气管的外侧面均设有阀门。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述锥形罩的内侧面上端转动连接有盖板，盖板的外侧面与矩形箱体的内侧面之间设有电控伸缩杆，盖板与设置在锥形罩上端面的出料口密封卡接对应设置，电控伸缩杆的输入端通过外部控制器与外部电源的输出端电连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述真空上料泵的进料口通过导管连接有储料箱，储料箱的上端面设有上盖板。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述锥形料嘴通过设置在其外侧面的U形定位架连接有L形竖板，L形竖板的下表面通过托板与矩形箱体的外侧面相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述锥形料嘴的下端面通过导流管延伸至坩埚的内部，导流管的外侧面设有第二阀门。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述锥形料嘴的内侧面中部设有电机，电机的输出轴连接有推料螺杆，锥形料嘴的外侧面下端设有电加热丝，电加热丝和电机的输入端均通过外部控制开关与外部电源的输出端电连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本节能型直拉单晶炉，结构紧凑，操作方便，使用时占用空间小，可以连续高效的进行单晶硅生产，真空上料泵的设置方便了原料的连续加注，通过电加热丝可以对原料进行预加热处理，取料口盖板的设置方便了原料的取出。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型剖视图；

图3为本实用新型A处局部放大示意图。

图中：1储料箱、2 L形竖板、3托板、4密封盖板、5矩形箱体、6锥形罩、7进气管、8出气管、9取料口盖板、10柱形导流罩、11真空上料泵、12抽气口、13 U形定位架、14上盖板、15柱形进料管、16第一阀门、17电机、18电加热丝、19推料螺杆、20导流管、21第二阀门、22电控伸缩杆、23盖板、24拉晶杆、25吊绳、26锥形料嘴、27电动提升装置、28旋转电机、29定位板、30中空转轴、31坩埚。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型作进一步说明。

如图1至图3所示，本实用新型提供一种技术方案：一种节能型直拉单晶炉，包括矩形箱体5，矩形箱体5的内部设有坩埚31，坩埚31的底部设有旋转装置，坩埚31的外侧面设有电加热装置，矩形箱体5的前侧面设有操作口，矩形箱体5的前侧面靠近操作口的一端设有密封盖板4，矩形箱体5的外侧面上端设有锥形罩6，锥形罩6的外侧面上端中部设有柱形导流罩10，柱形导流罩10的外侧面中部设有取料口，柱形导流罩10的外侧面靠近取料口的一端设有取料口盖板9，取料口盖板9的外侧面设有把手，取料口盖板9的设置方便了原料的取出，柱形导流罩10的外侧面上端设有外壳体，外壳体的内侧面中部设有定位板29，定位板29的上表面设有旋转电机28，定位板29的上表面中部转动连接有中空转轴30，中空转轴30的上端面设有电动提升装置27，电动提升装置27上连接有吊绳25，且吊绳25穿过中空转轴30设置，吊绳25的下端面设有拉晶杆24，柱形导流罩10的外侧面中部设有锥形料嘴26，锥形料嘴26的外侧面上端设有柱形进料管15和抽气口12，柱形进料管15上设有第一阀门16，柱形进料管15上连接有真空上料泵11，真空上料泵11的设置方便了原料的连续加注，旋转电机28和电动提升装置27的输入端均通过外部开关与外部电源的输出端电连接，锥形罩6的外侧面设有进气管7和出气管8，进气管7和出气管8的外侧面均设有阀门，锥形罩6的内侧面上端转动连接有盖板23，盖板23的外侧面与矩形箱体5的内侧面之间设有电控伸缩杆22，盖板23与设置在锥形罩6上端面的出料口密封卡接对应设置，电控伸缩杆22的输入端通过外部控制器与外部电源的输出端电连接，真空上料泵11的进料口通过导管连接有储料箱1，储料箱1的上端面设有上盖板14，锥形料嘴26通过设置在其外侧面的U形定位架13连接有L形竖板2，L形竖板2的下表面通过托板3与矩形箱体5的外侧面相连，锥形料嘴26的下端面通过导流管20延伸至坩埚31的内部，导流管20的外侧面设有第二阀门21，锥形料嘴26的内侧面中部设有电机17，电机17的输出轴连接有推料螺杆19，锥形料嘴26的外侧面下端设有电加热丝18，通过电加热丝18可以对原料进行预加热处理，电加热丝18和电机17的输入端均通过外部控制开关与外部电源的输出端电连接，本节能型直拉单晶炉，结构紧凑，操作方便，使用时占用空间小，可以连续高效的进行单晶硅生产。

在使用时，接通外部电源，将单晶硅生产原料放入到储料箱1的内部，将抽气口12和出气管8与外部真空泵的进气口相连，将进气管7与外部惰性气体气瓶的出气口相连，工作时，通过真空上料泵11将原料加注到锥形料嘴26的内部，原料经由导流管20进入到坩埚31的内部，关闭第二阀门21，通过抽气口12将矩形箱体5的内部抽成真空，然后将惰性气体通入到矩形箱体5的内部，由电加热装置对坩埚31进行加热，使得原料变成熔融态，同时伸长的单晶硅沿着拉晶杆24生长，当单晶硅达到一定的量时，通过电动提升装置27将单晶硅提升到取料口盖板9处，同时电控伸缩杆22伸长将盖板23关闭，打开取料口盖板9将单晶硅取出，再次加料时，关闭第二阀门21，通过真空上料泵11首先将原料运送到锥形料嘴26的内部，然后关闭第一阀门16，通过抽气口12将锥形料嘴26的内部抽成真空，然后打开第二阀门21，由电机17带动推料螺杆19旋转，由推料螺杆19将原料推送到坩埚31中，同时由电加热丝18对原料进行预加热处理。

本实用新型可以方便的进行操作，使用时占用空间少，便于操作和使用；可以连续高效的进行单晶硅生产，提高了使用便利性；取料口盖板9的设置方便了单晶硅的取出，提高了使用便利性。

Claims (10)

1.一种节能型直拉单晶炉，包括矩形箱体(5)，其特征在于,所述矩形箱体(5)的外侧面上端设有锥形罩(6)，锥形罩(6)的外侧面上端中部设有柱形导流罩(10)，柱形导流罩(10)的外侧面上端设有外壳体，外壳体的内侧面中部设有定位板(29)，定位板(29)的上表面设有旋转电机(28)，定位板(29)的上表面中部转动连接有中空转轴(30)，中空转轴(30)的上端面设有电动提升装置(27)，电动提升装置(27)上连接有吊绳(25)，且吊绳(25)穿过中空转轴(30)设置，吊绳(25)的下端面设有拉晶杆(24)，柱形导流罩(10)的外侧面中部设有锥形料嘴(26)，锥形料嘴(26)的外侧面上端设有柱形进料管(15)和抽气口(12)，柱形进料管(15)上设有第一阀门(16)，柱形进料管(15)上连接有真空上料泵(11)，旋转电机(28)和电动提升装置(27)的输入端均通过外部开关与外部电源的输出端电连接。

2.根据权利要求1所述的一种节能型直拉单晶炉，其特征在于：所述柱形导流罩(10)的外侧面中部设有取料口，柱形导流罩(10)的外侧面靠近取料口的一端设有取料口盖板(9)，取料口盖板(9)的外侧面设有把手。

3.根据权利要求1所述的一种节能型直拉单晶炉，其特征在于,所述矩形箱体(5)的内部设有坩埚(31)，坩埚(31)的底部设有旋转装置，坩埚(31)的外侧面设有电加热装置。

4.根据权利要求1所述的一种节能型直拉单晶炉，其特征在于,所述矩形箱体(5)的前侧面设有操作口，矩形箱体(5)的前侧面靠近操作口的一端设有密封盖板(4)。

5.根据权利要求1所述的一种节能型直拉单晶炉，其特征在于,所述锥形罩(6)的外侧面设有进气管(7)和出气管(8)，进气管(7)和出气管(8)的外侧面均设有阀门。

6.根据权利要求1所述的一种节能型直拉单晶炉，其特征在于,所述锥形罩(6)的内侧面上端转动连接有盖板(23)，盖板(23)的外侧面与矩形箱体(5)的内侧面之间设有电控伸缩杆(22)，盖板(23)与设置在锥形罩(6)上端面的出料口密封卡接对应设置，电控伸缩杆(22)的输入端通过外部控制器与外部电源的输出端电连接。

7.根据权利要求1所述的一种节能型直拉单晶炉，其特征在于,所述真空上料泵(11)的进料口通过导管连接有储料箱(1)，储料箱(1)的上端面设有上盖板(14)。

8.根据权利要求1所述的一种节能型直拉单晶炉，其特征在于,所述锥形料嘴(26)通过设置在其外侧面的U形定位架(13)连接有L形竖板(2)，L形竖板(2)的下表面通过托板(3)与矩形箱体(5)的外侧面相连。

9.根据权利要求1或3所述的一种节能型直拉单晶炉，其特征在于,所述锥形料嘴(26)的下端面通过导流管(20)延伸至坩埚(31)的内部，导流管(20)的外侧面设有第二阀门(21)。

10.根据权利要求1所述的一种节能型直拉单晶炉，其特征在于,所述锥形料嘴(26)的内侧面中部设有电机(17)，电机(17)的输出轴连接有推料螺杆(19)，锥形料嘴(26)的外侧面下端设有电加热丝(18)，电加热丝(18)和电机(17)的输入端均通过外部控制开关与外部电源的输出端电连接。

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