CN210085565U - 一种平面靶材的绑定设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种平面靶材的绑定设备，其中的吸盘吊具设置有一用作调节起吊工件的倾斜度的吸盘支架和角度调节机构，吸盘支架与吊具主架之间通过铰链连接，各吸盘分别安装于吸盘支架的底部，各吸盘分别沿铰链的轴线方向并排设置；角度调节机构传动连接吸盘支架，以驱动吸盘支架以铰链为转轴进行转动。与现有技术相比，该绑定设备能使靶材基片以倾斜角度与背板进行贴合，减少焊接层气泡产生以及焊接层空气的残留量，使靶材基片与背板之间的焊合率高于99％，提高了平面靶材的绑定质量，及绑定效率，降低了企业的材料耗损和生产成本。

Description

一种平面靶材的绑定设备

技术领域

本实用新型涉及平面靶材生产设备的技术领域，尤其是涉及一种平面靶材的绑定设备。

背景技术

平面靶材是将靶材基片贴合在背板上，从而形成能够实现溅射加工的靶材原料。在现有技术中，在靶材基片与背板之间的绑定方法如下，把靶材基片与背板放置于加热平台上，对靶材基片与背板进行升温处理；在加热平台上对背板的绑定面和靶材基片的绑定面进行金属化预处理，即涂抹液态铟，然后在背板绑定面上设定的绑定区域加入一定量的焊料；接着，人工翻转靶材基片，通过绑定设备中的吸盘吊具吸住靶材基片的非涂铟面，吊起靶材基片并转移至背板的正上方，使靶材基片对齐背板绑定面上设定的绑定区域，缓慢下降，直至靶材基片与背板完全贴合；最后，降温使焊料固化，以完成绑定。

目前，这种用于平面靶材的绑定设备的主要功能是，通过加热平台对靶材基片与背板进行升温处理，以及通过吸盘吊具对靶材基片进行转移，以完成靶材基片的绑定面与背板的绑定面之间的贴合处理。但是这种绑定设备的缺点是，吸盘吊具通过真空吸盘吊起靶材基片，靶材基片以水平角度下降贴合于背板的绑定面，靶材基片的绑定面与背板的绑定面之间所形成的焊接层会产生大量气泡、空气，降低焊接质量，从而影响平面靶材的生产质量。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种平面靶材的绑定设备，它能够使靶材基片以倾斜角度与背板进行贴合，减少焊接层气泡产生以及焊接层空气的残留量，使靶材基片与背板之间的焊合率高于99％，提高了平面靶材的绑定质量。

为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种平面靶材的绑定设备，绑定设备包括加热平台和活动设置于加热平台上方的真空吸盘吊具，吸盘吊具设置有吊具主架，吊具主架安装有多个吸盘，吸盘的吸附面面向加热平台的台面，吸盘吊具设置有一用作调节起吊工件的倾斜度的吸盘支架和角度调节机构，吸盘支架与吊具主架之间通过铰链连接，各吸盘分别安装于吸盘支架的底部，各吸盘分别沿铰链的轴线方向并排设置；角度调节机构传动连接吸盘支架，以驱动吸盘支架以铰链为转轴进行转动，使靶材基片以倾斜角度与背板进行贴合，减少焊接层气泡产生以及焊接层空气的残留量，提高了靶材基片与背板之间的焊合率，提高了平面靶材的绑定质量，及绑定效率，降低了企业的材料耗损和生产成本。

在进一步的技术方案中，该角度调节机构设置为电动调节结构或手动调节结构。

在进一步的技术方案中，该角度调节机构设置为电动调节结构，电动调节结构设置有至少一个电动缸，电动缸的第一端铰性连接该吊具主架，电动缸的第二端铰性连接该吸盘支架的侧部。该结构通过电动缸推动吸盘支架以铰链为转轴进行转动，并锁定吸盘支架的转动角度，从而使靶材基片具有一设定的倾斜度。

在进一步的技术方案中，该加热平台包括有平台支架和平台加热组件，平台加热组件固定于平台支架，平台加热组件设置有发热板、石墨板、铝合金板、柔性导热层和保护层，发热板、石墨板、铝合金板、柔性导热层和保护层由下到上依次设置于平台支架的顶部，石墨板内设置有至少一个热电偶，各该吸盘位于保护层的上方。该机构通过在平台加热组件中起导热作用的石墨板中设置热电偶，从而测定平台加热组件的加热温度，避免放置于加热平台上的靶材基片与背板发生过度升温。

在进一步的技术方案中，该发热板包括有一陶瓷板，陶瓷板的上表面盘卷设置有发热线圈，该石墨板压覆于发热线圈之上，陶瓷板的上表面和石墨板的下表面之间的空隙填充有硅凝胶。提高石墨板与发热线圈之间的导热效率以及减少发热线圈的能量流失，提高了发热平台的发热效率。

在进一步的技术方案中，该石墨板等间隔开设有多个插孔，各该热电偶分别插设于相应的插孔内。

在进一步的技术方案中，该铝合金板内开设有插孔，该插孔内插设有另一热电偶。该结构能够测定铝合金板的板体温度，进一步提高了对加热平台的加热温度的测定的准确性。

在进一步的技术方案中，该柔性导热层设置为硅胶材料制成的质软的导热垫片。该柔性导热层能够对放置于加热平台上的靶材基片与背板有缓冲作用，避免加热平台与靶材基片或背板发生刚性碰撞，损坏工件。

在进一步的技术方案中，该保护层包括有铝片和保温石棉，铝片被包裹于保温石棉。该结构能够保证加热平台表面的热量均匀性，并且减低加热平台表面的热量散失率，以及延长了加热平台表面的保温时间。

在进一步的技术方案中，该绑定设备设置有控制电路，各个该热电偶和该发热线圈分别电连接于控制电路。通过控制电路对加热平台进行温度控制，热电偶把所测组件的温度信息转化为电压信号，并发送至控制电路，控制电路根据电压信号控制发热线圈的电流大小，从而控制加热平台的热处理温度，使热处理温度控制为190℃，温度偏差值为±1℃。

采用上述结构后，本实用新型和现有技术相比所具有的优点是：

1、该绑定设备通过角度调节机构带动吸盘支架以铰链为转轴进行转动，并锁定旋转角度，使靶材基片能够以倾斜角度与背板进行贴合，减少焊接层气泡产生以及焊接层空气的残留量，提高了靶材基片与背板之间的焊合率，提高了平面靶材的绑定质量，及绑定效率，降低了企业的材料耗损和生产成本。

2、该绑定设备通过在平台加热组件中设置柔性导热层，能够对放置于加热平台上的靶材基片与背板有缓冲作用，避免加热平台与靶材基片或背板发生刚性碰撞，损坏工件。

3、该绑定设备通过在平台加热组件中设置热电偶，从而测定平台加热组件的加热温度，避免放置于加热平台上的靶材基片与背板发生过度升温，并且能够稳定控制加热平台的热处理温度，其温度偏差值为±1℃。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是吸盘吊具的结构示意图。

图3是吸盘吊具的另一角度的结构示意图。

图4是加热平台的结构示意图。

图中：

1-吸盘吊具、11-吊具主架、111-操作手柄、12-吸盘支架、13-吸盘、131-缓冲连接杆、14-电动缸。

2-加热平台、21-平台支架、22-陶瓷板、221-发热线圈、23-石墨板、24-铝合金板、25-柔性导热层、26-保护层、27-热电偶。

3-吊钩。

具体实施方式

以下仅为本实用新型的较佳实施例，并不因此而限定本实用新型的保护范围。

一种平面靶材的绑定设备，如图1至图4所示，绑定设备包括加热平台2和活动设置于加热平台2上方的吸盘吊具1，吸盘吊具1设置有吊具主架11，吊具主架11安装有多个吸盘13，吸盘13的吸附面面向加热平台2的台面，吸盘吊具 1设置有一用作调节起吊工件的倾斜度的吸盘支架12和角度调节机构，吸盘支架 12与吊具主架11之间通过铰链连接，各吸盘13分别安装于吸盘支架12的底部，各吸盘13分别沿铰链的轴线方向并排设置；角度调节机构传动连接吸盘支架12，以驱动吸盘支架12以铰链为转轴进行转动。

角度调节机构设置为电动调节结构或手动调节结构。

具体地，角度调节机构设置为电动调节结构，电动调节结构设置有至少一个电动缸14，电动缸14的第一端铰性连接吊具主架11，电动缸14的第二端铰性连接吸盘支架12的侧部。该结构通过电动缸14驱动吸盘支架12以铰链为转轴进行转动，以带动吸附于各吸盘13的平面靶基板进行角位移，并通过电动缸14 锁定平面靶基板的贴合角度，是平面靶基板以一设定的倾斜角度与平面靶背板进行贴合绑定，减少焊接层气泡产生以及焊接层空气的残留量，提高了靶材基片与背板之间的焊合率，提高了平面靶材的绑定质量。

具体地，各吸盘13通过多根缓冲连接杆131固定安装于吸盘支架12的底部，由于吸盘吊具1质量较大惯性大，在吸盘吊具1下降吸吊平面靶基片时，质软的平面靶基片容易被压坏，这一吸盘13缓冲连接结构，能够避免质软的平面靶基片被吸盘13所压坏。

具体地，吊具主架11的顶部设置有操作手柄111，操作员可以通过操作手柄 111对吊具主架11以及被吊起的平面靶基片进行调节以及控制其发生晃动，使平面靶基片能够准确地贴合于平面靶背板的待绑定区域。

具体地，加热平台2包括有平台支架21和平台加热组件，平台加热组件固定于平台支架21，平台加热组件设置有发热板、石墨板23、铝合金板24、柔性导热层25和保护层26，发热板、石墨板23、铝合金板24、柔性导热层25和保护层26由下到上依次设置于平台支架21的顶部，石墨板23内设置有至少一个热电偶，各吸盘13位于保护层26的上方。该加热平台2结构能够提供稳定供热，是工件处于设定的加工温度，保证平面靶绑定能够顺利进行，使待绑定的平面把材料升温至180℃～200℃，较好的绑定温度为190℃，绑定温度的偏差值为±1℃。

发热板包括有一陶瓷板22，陶瓷板22的上表面盘卷设置有发热线圈221，石墨板23压覆于发热线圈221之上，陶瓷板22的上表面和石墨板23的下表面之间的空隙填充有硅凝胶。该结构能够保证发热线圈221所产生的热量能够更加有效地传递至上层的石墨板23，减少热量的散失，提高加热平台2的热效率。

石墨板23等间隔开设有多个插孔，各热电偶27分别插设于相应的插孔内。该结构能够准确检测到石墨板23多个区域的导热温度，以各导热温度的平均值，作为石墨板23的标准导热温度，通过标准导热温度反映加热平台2的加热温度。

铝合金板24内开设有插孔，该插孔内插设有另一热电偶27。该结构能够检测铝合金板24的导热温度，通过这一导热温度作为加热平台2的加热温度，并通过这一导热温度反馈至控制电路，从而控制发热线圈221的工作电流。

柔性导热层25设置为硅胶材料制成的质软的导热垫片。由硅胶材料制成的柔性导热层25，具有质软的物理表征，同时，具有很好的导热性，能够确保加热组件能够对待绑定的工件进行升温处理，还能避免待绑定的工件不会与加热平台发生刚性碰撞，导致待绑定的工件损坏。

保护层26包括有铝片和保温石棉，铝片被包裹于保温石棉。该结构能够把热能量平均地传送至待绑定的平面靶基片和平面靶背板，同时具有保温作用，减少平台表面热散失的速度，使散热平台能够对待绑定的平面靶基片和平面靶背板进行稳定的加热处理，较好的实施方式是，待绑定的平面靶基片和平面靶背板的绑定温度控制为190℃，该结构能够使绑定温度的偏差值控制为±1℃。

绑定设备设置有控制电路，各个热电偶27和发热线圈221分别电连接于控制电路。该结构通过由热电偶27接收到的电信号，控制发热线圈221的工作电流，从而控制加热平台2的绑定温度的大小。

该绑定设备的吸盘吊具1通过车间里的行车吊起及带动吸盘吊具1，从而吊起平面靶基片，移动或调整平面靶基片的水平位置，以及放下平面靶基片与平面靶背板进行贴合。吊具主架11的顶部开设有吊孔，行车通过吊缆和吊钩3连接吊具主架11。行车与该绑定设备中的控制电路电性连接，以实现控制平面靶基片进行起吊、平移和下降运动。

该绑定设备与现有技术相比，有以下有益效果：

1、该绑定设备通过角度调节机构带动吸盘支架以铰链为转轴进行转动，并锁定旋转角度，使靶材基片能够以倾斜角度与背板进行贴合，减少焊接层气泡产生以及焊接层空气的残留量，提高了靶材基片与背板之间的焊合率，提高了平面靶材的绑定质量，及绑定效率，降低了企业的材料耗损和生产成本。

2、该绑定设备提供的吸盘13缓冲连接结构，能够避免质软的平面靶基片被吸盘13所压坏。

3、该绑定设备通过在平台加热组件中设置柔性导热层25，能够对放置于加热平台上的靶材基片与背板有缓冲作用，避免加热平台2与靶材基片或背板发生刚性碰撞，损坏工件。

4、该绑定设备通过在平台加热组件中设置热电偶27，从而测定平台加热组件的加热温度，避免放置于加热平台2上的靶材基片与背板发生过度升温，并且能够稳定控制加热平台的热处理温度，其温度偏差值为±1℃。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种平面靶材的绑定设备，绑定设备包括加热平台(2)和活动设置于加热平台(2)上方的吸盘吊具(1)，吸盘吊具(1)设置有吊具主架(11)，吊具主架(11)安装有多个吸盘(13)，吸盘(13)的吸附面面向加热平台(2)的台面，其特征在于：吸盘吊具(1)设置有一用作调节起吊工件的倾斜度的吸盘支架(12)和角度调节机构，

吸盘支架(12)与吊具主架(11)之间通过铰链连接，各吸盘(13)分别安装于吸盘支架(12)的底部，各吸盘(13)分别沿铰链的轴线方向并排设置；

角度调节机构传动连接吸盘支架(12)，以驱动吸盘支架(12)以铰链为转轴进行转动。

2.根据权利要求1所述的一种平面靶材的绑定设备，其特征在于：所述角度调节机构设置为电动调节结构或手动调节结构。

3.根据权利要求2所述的一种平面靶材的绑定设备，其特征在于：所述角度调节机构设置为电动调节结构，电动调节结构设置有至少一个电动缸(14)，电动缸(14)的第一端铰性连接所述吊具主架(11)，电动缸(14)的第二端铰性连接所述吸盘支架(12)的侧部。

4.根据权利要求1至3任一项所述的一种平面靶材的绑定设备，其特征在于：所述加热平台(2)包括有平台支架(21)和平台加热组件，平台加热组件固定于平台支架(21)，

平台加热组件设置有发热板、石墨板(23)、铝合金板(24)、柔性导热层(25)和保护层(26)，发热板、石墨板(23)、铝合金板(24)、柔性导热层(25)和保护层(26)由下到上依次设置于平台支架(21)的顶部，石墨板(23)内设置有至少一个热电偶(27)，

各所述吸盘(13)位于保护层(26)的上方。

5.根据权利要求4所述的一种平面靶材的绑定设备，其特征在于：所述发热板包括有一陶瓷板(22)，陶瓷板(22)的上表面盘卷设置有发热线圈(221)，所述石墨板(23)压覆于发热线圈(221)之上，陶瓷板(22)的上表面和石墨板(23)的下表面之间的空隙填充有硅凝胶。

6.根据权利要求5所述的一种平面靶材的绑定设备，其特征在于：所述石墨板(23)等间隔开设有多个插孔，各所述热电偶(27)分别插设于相应的插孔内。

7.根据权利要求6所述的一种平面靶材的绑定设备，其特征在于：所述铝合金板(24)内开设有插孔，该插孔内插设有另一热电偶(27)。

8.根据权利要求7所述的一种平面靶材的绑定设备，其特征在于：所述柔性导热层(25)设置为硅胶材料制成的质软的导热垫片。

9.根据权利要求8所述的一种平面靶材的绑定设备，其特征在于：所述保护层(26)包括有铝片和保温石棉，铝片被包裹于保温石棉。

10.根据权利要求9所述的一种平面靶材的绑定设备，其特征在于：所述绑定设备设置有控制电路，各个所述热电偶(27)和所述发热线圈(221)分别电连接于控制电路。

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