CN210038116U - 一种开尔文连接电路的测试电路 - Google Patents

一种开尔文连接电路的测试电路 Download PDF

Info

Publication number
CN210038116U
CN210038116U CN201920660524.1U CN201920660524U CN210038116U CN 210038116 U CN210038116 U CN 210038116U CN 201920660524 U CN201920660524 U CN 201920660524U CN 210038116 U CN210038116 U CN 210038116U
Authority
CN
China
Prior art keywords
circuit
circuits
voltmeter
triode
sub
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201920660524.1U
Other languages
English (en)
Inventor
孙衍翀
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Huafeng Measurement And Control Technology (tianjin) Co Ltd
Original Assignee
Huafeng Measurement And Control Technology (tianjin) Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Huafeng Measurement And Control Technology (tianjin) Co Ltd filed Critical Huafeng Measurement And Control Technology (tianjin) Co Ltd
Priority to CN201920660524.1U priority Critical patent/CN210038116U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN210038116U publication Critical patent/CN210038116U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

本实用新型提供一种开尔文连接电路的测试电路,测试电路包括:N路电路臂,N的值与被测器件端口数量对应;每路电路臂由两路子电路构成,所述两路子电路的连接端分别与被测器件的同一端口连接,另一端为开放端;所述两路子电路的开放端分别对应为开尔文连接电路的驱动端和感测端;所述两路子电路上的等效电阻分别为驱动端等效电阻、感测端等效电阻;所述N路电路臂对应N路开尔文连接电路;至少一电流恒流源、电压表,所述电流恒流源、电压表至少两次连接到不同所述开放端,获得至少两次电压值,以检测与被测器件的连接性,和/或计算所述等效电阻。在测试设备只使用必要的测试引线与被测器件连接的前提下,实现上述检测。

Description

一种开尔文连接电路的测试电路
技术领域
本发明涉及电路测试技术领域,特别是一种开尔文连接电路的测试电路。
背景技术
使用开尔文连接进行测试在半导体测试领域是十分重要的测试方法,它避免了驱动电流在导线上产生的压降,使测量和驱动电压在被测器件上相对精确。
开尔文连接是否正确、高质量会对测试产生影响,尤其是对大功率分立式半导体器件的测试。由于大功率分立式半导体器件的电压电流测试条件相对较高,如果开尔文连接不正确会导致输出电压电流不正确甚至损坏被测器件;如果开尔文连接质量低,例如线上寄生电阻、测试夹具接触电阻过大等,在大电流测试条件下上述电阻也会影响输出电压电流的正确性,甚是损坏测试夹具。
现有技术对大功率分立式半导体器件的开尔文连接检测方法如图1所示,以被测器件为二极管为例,图中电阻Ra_sence表示A_Sence端口输出到被测器件阳极的引线电阻和夹具接触电阻的总和,电阻Ra_Force表示A_Force端口输出到被测器件阳极的引线电阻和夹具接触电阻的总和。图中标注的其他电阻同理。以测试阳极两端口(A_Force、A_Sence)的开尔文连接为例(阴极C_Sence、C_Force的测试同理),目前的测试方法为使用测试电路(板卡)内部的小电流恒流源Is,对A_Force端口与A_Sence端口之间恒流,电压表测量A_Sence线与A_Sence线之间的电压Vm,得到两端口的电阻总和Ra_sence+Ra_Force,并且能够检测A_Force端口与A_Sence端口是否连接上。
如图2所示,以被测器件为mos管为例(其他场效应管、三极管等三端器件同理),Rd_sence表示D_Sence端口输出到被测器件漏端的引线电阻和夹具接触电阻的总和,Rd_Force表示D_Force端口输出到被测器件漏端的引线电阻和夹具接触电阻的总和。图中标注的其他电阻同理。以测试漏端的开尔文连接为例(栅端、源端测试同理),目前的测试方法为使用测试电路(板卡)内部的小电流恒流源Is,对D_Force端口与D_Sence端口之间恒流,电压表测量D_Force端口与D_Sence端口之间的电压Vm,得到线上电阻总和Rd_sence+Rd_Force,并且能够检测D_Force端口与D_Sence端口是否连接上。
上述检测开尔文连接的方法不足在于:在测试电路只使用必要的测试引线与被测器件连接的前提下,仅能检测A_Force端口与A_Sence端口(或D_Force端口与D_Sence端口)是否连接,无法检测连接后是否与被测器件连接。再者,仅能测量电阻Ra_sence+Ra_Force(或电阻Rd_sence+Rd_Force)的阻值,实际上A_Force端口(或D_Force端口)上需要承载大电流,对A_Force端口(或D_Force端口)上电阻及接触电阻敏感。而上述方法不能单独测量A_Force端口(或D_Force端口)上的电阻Ra_Force(或Rd_sence)。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种开尔文连接电路的测试电路及测试方法,在测试设备只使用必要的测试引线与被测器件连接的前提下,实现对于开尔文电路的感测端和驱动端连接后是否与被测器件连接,以及单独获取驱动端上的等效电阻。
所述基于开尔文连接电路的测试电路包括:
N路电路臂,N的值与被测器件端口数量对应;
每路电路臂由两路子电路构成,所述两路子电路的连接端分别与被测器件的同一端口连接,另一端为开放端;所述两路子电路的开放端分别对应为开尔文连接电路的驱动端和感测端;所述两路子电路上的等效电阻分别为驱动端等效电阻、感测端等效电阻;
所述N路电路臂对应N路开尔文连接电路;
至少一电流恒流源、一电压表,
使所述电流恒流源、电压表至少两次连接到不同的所述开放端,获得至少两次电压值,以检测与被测器件的连接性,和/或计算所述等效电阻。
其中,被测器件为二极管,所述使电流恒流源、电压表至少两次连接到不同的所述开放端包括:
一、电流恒流源、电压表分别连接在与二极管阳极、阴极连接的电路臂两路子电路的开放端之间;
二、电压表分别连接在与二极管阳极、阴极连接的电路臂两路子电路的开放端之间,以及电路臂两路子电路对应的感测端之间;电流恒流源连接在电路臂两路子电路对应的驱动端之间。
其中,被测器件为三端场效应管,所述使电流恒流源、电压表至少两次连接到不同的所述开放端包括:
一、电流恒流源、电压表分别连接在与三端场效应管漏极、栅极、源极连接的电路臂两路子电路的开放端之间;
二、电压表分别连接在与三端场效应管漏极、源极连接的电路臂两路子电路的开放端之间,以及与三端场效应管漏极、源极连接的两路电路臂对应的感测端之间;电流恒流源连接在与三端场效应管漏极、源极连接的两路电路臂对应的驱动端之间;
连通与三端场效应管漏极连接的两路电路臂对应的感测端和与三端场效应管栅极连接的两路电路臂对应的驱动端。
其中,被测器件为三极管,所述使电流恒流源、电压表至少两次连接到不同的所述开放端包括:
一、电流恒流源、电压表分别连接在与三极管集电极、发射极、基极连接的电路臂的两路子电路的开放端之间;
二、电压表分别连接在与三极管集电极、基极连接的电路臂两路子电路的开放端之间,以及与三极管集电极、基极连接的两路电路臂对应的感测端之间;电流恒流源连接在与三极管集电极、基极连接的两路电路臂对应的驱动端之间。
另外,被测器件为三极管,所述使电流恒流源、电压表至少两次连接到不同的所述开放端还包括:
电压表分别连接在与三极管发射极、基极连接的电路臂的两路子电路的开放端之间,以及与三极管发射极、基极连接的两路电路臂对应的感测端之间;电流恒流源连接在与三极管发射极、基极连接的两路电路臂对应的驱动端之间。
被测器件为三极管,所述使电流恒流源、电压表至少两次连接到不同的所述开放端包括:
一、电流恒流源、电压表分别连接在与三极管集电极、发射极、基极连接的电路臂的两路子电路的开放端之间;
二、电压表分别连接在与三极管发射极、基极连接的电路臂两路子电路的开放端之间,以及与三极管发射极、基极连接的两路电路臂对应的感测端之间;电流恒流源连接在与三极管发射极、基极连接的两路电路臂对应的驱动端之间。
被测器件为三极管,所述使电流恒流源、电压表至少两次连接到不同的所述开放端还包括:
电压表分别连接在与三极管集电极、基极连接的电路臂的两路子电路的开放端之间,以及与三极管集电极、基极连接的两路电路臂对应的感测端之间;电流恒流源连接在与三极管集电极、基极连接的两路电路臂对应的驱动端之间。
另外,还包括一切换电路,分别与所述电流恒流源、电压表连接,用于切换所述电流恒流源、电压表至少两次连接。
本申请所提供的一种基于上述测试电路的测试方法,包括步骤:
将电压表第一次连接到所述开放端获得的电压值与预设的第一钳位电压比较,基于比较结果分别判断每路电路臂两路子电路的连接端之间是否连接;
结合第一次连接到所述开放端的电流恒流源,分别计算各路电路臂两路子电路上的等效电阻之和;
将电压表第二次连接到所述开放端获得的电压值与预设的第二钳位电压比较,基于比较结果判断各路电路臂是否对应与被测器件的端口连接;
结合电流恒流源第二次连接到所述开放端,分别计算各路电路臂上的驱动端等效电阻;
分别计算各路电路臂上的感测端等效电阻。
其中,被测器件为二极管,包括步骤:
将电压表第一次连接到所述开放端获得的电压值与预设的第一钳位电压比较,基于比较结果判断与二极管阳极、阴极连接的电路臂两路子电路的连接端之间是否连接;
结合第一次连接到所述开放端的电流恒流源,分别计算连接在与二极管阳极、阴极连接的电路臂两路子电路上的等效电阻之和;
将电压表第二次连接到各所述电路臂对应的感测端之间获得的电压值与预设的第二钳位电压比较,基于比较结果判断各所述电路臂是否对应与二极管的阳极、阴极连接;
结合电流恒流源第二次连接在各所述电路臂的驱动端之间,分别计算各所述电路臂的驱动端等效电阻;
分别计算各所述电路臂的感测端等效电阻。
其中,被测器件为三端场效应管,包括步骤:
将电压表第一次连接到所述开放端获得的电压值与预设的第一钳位电压比较,基于比较结果分别判断与三端场效应管漏极、栅极、源极连接的电路臂两路子电路的连接端之间是否连接;
结合第一次连接到所述开放端的电流恒流源,分别计算连接在与三端场效应管漏极、栅极、源极连接的电路臂两路子电路上的等效电阻之和;
连通与三端场效应管漏极连接的两路电路臂对应的感测端和与三端场效应管栅极连接的两路电路臂对应的驱动端;将电压表第二次连接到与三端场效应管漏极、源极连接的两路电路臂对应的感测端之间获得的电压值与预设的第二钳位电压比较,基于比较结果判断各路电路臂是否对应与三端场效应管的漏极、栅极、源极连接;
结合电流恒流源第二次连接在与三端场效应管漏极、源极连接的两路电路臂对应的驱动端之间,分别计算与三端场效应管漏极、源极连接的两路电路臂的驱动端等效电阻;
分别计算与三端场效应管漏极、源极连接的两路电路臂的感测端等效电阻。
其中,被测器件为三极管,包括步骤:
将电压表第一次连接到所述开放端获得的电压值与预设的第一钳位电压比较,基于比较结果分别判断与三极管集电极、发射极、基极连接的电路臂两路子电路的连接端之间是否连接;
结合电流恒流源第一次连接到所述开放端,分别计算连接在与三极管集电极、发射极、基极连接的电路臂两路子电路上的等效电阻之和;
将电压表第二次连接到与三极管集电极、基极连接的两路电路臂对应的感测端之间获得的电压值与预设的第二钳位电压比较,基于比较结果判断与三极管集电极、基极连接的两路电路臂是否对应与三极管集电极、基极连接;
结合电流恒流源第二次连接在与三极管集电极、基极连接的两路电路臂对应的驱动端之间,分别计算与三极管集电极、基极连接的两路电路臂的驱动端等效电阻;
分别计算与三极管集电极、基极连接的两路电路臂的感测端等效电阻。
另外,还包括步骤:
将电压表第二次连接到与三极管发射极、基极连接的两路电路臂对应的感测端之间获得的电压值与预设的第二钳位电压比较,基于比较结果判断与三极管发射极、基极连接的两路电路臂是否对应与三极管发射极、基极连接;
结合电流恒流源第二次连接在与三极管发射极、基极连接的两路电路臂对应的驱动端之间,分别计算与三极管发射极、基极连接的两路电路臂的驱动端等效电阻;
分别计算与三极管发射极、基极连接的两路电路臂的感测端等效电阻。
被测器件为三极管,包括步骤:
将电压表第一次连接到所述开放端获得的电压值与预设的第一钳位电压比较,基于比较结果分别判断与三极管集电极、发射极、基极连接的电路臂两路子电路的连接端之间是否连接;
结合电流恒流源第一次连接到所述开放端,分别计算连接在与三极管集电极、发射极、基极连接的电路臂两路子电路上的等效电阻之和;
将电压表第二次连接到与三极管发射极、基极连接的两路电路臂对应的感测端之间获得的电压值与预设的第二钳位电压比较,基于比较结果判断与三极管发射极、基极连接的两路电路臂是否对应与三极管发射极、基极连接;
结合电流恒流源第二次连接在与三极管发射极、基极连接的两路电路臂对应的驱动端之间,分别计算与三极管发射极、基极连接的两路电路臂的驱动端等效电阻;
分别计算与三极管发射极、基极连接的两路电路臂的感测端等效电阻。
另外,还包括步骤:
将电压表第二次连接到与三极管集电极、基极连接的两路电路臂对应的感测端之间获得的电压值与预设的第二钳位电压比较,基于比较结果判断与三极管集电极、基极连接的两路电路臂是否对应与三极管集电极、基极连接;
结合电流恒流源第二次连接在与三极管集电极、基极连接的两路电路臂对应的驱动端之间,分别计算与三极管集电极、基极连接的两路电路臂的驱动端等效电阻;
分别计算与三极管集电极、基极连接的两路电路臂的感测端等效电阻。
附图说明
图1为现有技术测试二极管的开尔文连接测试电路图;
图2为现有技术测试mos管的开尔文连接测试电路图;
图3为第一实施例测试二极管的第二组测试电路图;
图4为第一实施例测试三端场效应管内部的二极管的第二组测试电路图;
图5为第二实施例测试三端场效应管的第二组测试电路图;
图6为第三实施例测试三极管的第一组测试电路图;
图7为第三实施例测试三极管的第二组测试电路图;
图8为第三实施例测试三极管的另一第二组测试电路图。
具体实施方式
下面参见图1~图8对本发明所述的开尔文连接电路的测试电路及测试方法进行详细说明。
如图1、3所示的第一实施例以被测器件为二极管为例,开尔文连接测试电路包括两组,第一组测试电路与如图1所示的现有技术相同,包括连接在开尔文连接电路A_Force与A_Sence之间、C_Force与C_Sence之间的电流恒流源Is以及电压表V。
在开尔文连接电路中,Force端口又被称为驱动端口,Sence又被称为感测端口。为了便于描述,本文中,开尔文连接电路与二极管的四路连接线可以称为两路电路臂,第一路电路臂所包括的两子电路分别为:一端与二极管阳极连接,另一端连接至A_Force的子电路;以及一端与二极管阳极连接,另一端连接至A_Sence的子电路。第二路电路臂所包括的两子电路分别为:一端与二极管阴极连接,另一端连接至C_Force的子电路;以及一端与二极管阴极连接,另一端连接至C_Sence的子电路。与二极管阳极连接的一端可称为连接端,与开尔文驱动端和感测端连接的一端可称为开放端。另外,测试设备的端口输出到被测器件的引线电阻和夹具接触电阻的总和称为等效电阻,对应驱动端口、感测端口的等效电阻分别称为驱动端等效电阻、感测端等效电阻。
第一组测试电路分别检测开尔文连接电路A_Force与A_Sence之间、C_Force与C_Sence之间的连接情况。如果测量到的电压=第一钳位电压,证明A_Force与A_Sence之间或C_Force与C_Sence之间未连接;如果测到的电压≠第一钳位电压,则表示连接。采用欧姆定律可计算得到电阻值Ra_sence+Ra_Force和电阻值Rc_sence+Rc_Force。所述(第一)钳位电压是指恒流电路所具备的钳压功能,恒流源输出的最大电压不会超过(第一)钳位电压,所述(第一)钳位电压是预设的。
如图3所示的第二组测试电路,包括分别连接在A_Force与A_Sence之间、C_Force与C_Sence之间、A_Sence与C_Sence之间的电压表V,以及连接在A_Force与C_Force之间的电流恒流源Is。
测量A_Sence与C_Sence之间电压Vm3,如果Vm3=第二钳位电压,证明A_Force与A_Sence以及C_Force与C_Sence连接后,某一个连接端未与被测器件连接。如果Vm3≠第二钳位电压,表示A_Force与A_Sence连接以及C_Force与C_Sence连接后,均与被测器件连接。
分别测量A_Force与A_Sence之间的电压Vm1、C_Sence与C_Force之间的电压Vm2。基于电压(Vm1、Vm2)和电流(Is),采用欧姆定律计算得到电阻值Ra_Force、Rc_Force。
由此,电阻值Ra_sence+Ra_Force和电阻值Ra_Force已知,便可计算得电阻值Ra_sence;同理,电阻值Rc_sence+Rc_Force和电阻值Rc_Force已知,便可计算得电阻值Rc_sence。
本实施例中,第一、第二组测试电路与开尔文连接电路可集成在同一电路测试板上,通过设置一切换电路实现两组测试电路与开尔文连接电路的切换连接,从而完成对开尔文连接电路的测试。第一、第二组测试电路可以为两组彼此独立的电路;也可以为共用相同连接部分,仅将区别部分作为可以进行切换的两组电路。在后续实施例中,采用相同切换原理实现不同测试电路的切换。
如图4所示为图3所示第一实施例的第二组测试电路基础上进行拓展,采用相同原理,以被测器件为三端场效应管内部的二极管进行测试。图4中所示情况为针对画圈的二极管进行测试的电路图。
如图2、图5所示的第二实施例以被测器件为三端场效应管为例,例如MOS、IGBT等。开尔文连接测试电路包括两组,第一组测试电路与如图2所示的现有技术相同,包括连接在(漏极)D_Force与D_Sence之间、(源极)G_Force与G_Sence之间、(栅极)S_Force与S_Sence之间的恒电流恒流源Is和电压表V。
第一组测试电路分别检测开尔文连接电路D_Force与D_Sence之间、G_Force与G_Sence之间、S_Force与S_Sence之间的连接情况。如果测量上述三组中任一组的电压=第一钳位电压’,证明该组的连线未连接;如果测量上述三组中的各组电压≠第一钳位电压’,则表示连接。分别计算得到电阻值Rd_sence+Rd_Force、电阻值Rg_sence+Rg_Force、电阻值Rs_sence+Rs_Force,计算原理与第一实施例相同,不再赘述。
第二组测试电路如图5所示,连接D_Sence与G_Force(或连接D_Sence与G_Sence,二者同理)。在D_Force与S_Force之间连接恒电流恒流源Is;在D_Sence与D_Sence之间、S_Force与S_Sence之间、D_Sence与S_Sence之间均连接电压表。在电路中,连接D_Sence与G_Force(或连接D_Sence与G_Sence)是为了三端场效应管的导通。
分别检测D_Force与D_Sence之间、G_Force与G_Sence之间、S_Force与S_Sence之间连接后,是否与被测器件连接。测量D_Sence与S_Sence之间电压Vm3,如果测到的电压Vm3=第二钳位电压’,表示D_Force与D_Sence、G_Force与G_Sence、S_Force与S_Sence分别连接后,某一个连接端未与被测器件连接。如果测到的电压Vm3≠第二钳位电压’,表示D_Force与D_Sence之间、G_Force与G_Sence之间、S_Force与S_Sence之间分别连接后,已与被测器件连接。
分别测量D_Force与D_Sence之间的电压Vm1、S_Sence与S_Force之间的电压Vm2,计算得到电阻值Rd_Force和电阻值Rs_Force。结合已知的电阻值Rd_sence+Rd_Force、电阻值Rs_sence+Rs_Force,可计算得到电阻值Rd_Sence和电阻值Rs_sence。
如图6~图8所示的第三实施例以被测器件为三极管为例。开尔文连接测试电路包括两组,如图6所示的第一组测试电路与如图1所示的现有技术相同。使用测试二极管的方法分别测试三极管的BE极和BC极,即检测图6中(集电极)C_Force与C_Sence之间、(基极)B_Force与B_Sence之间、(发射极)E_Force与E_Sence之间的连接情况。另外,计算得电阻值Rc_sence+Rc_Force、电阻值Rb_sence+Rb_Force、电阻值Re_sence+Re_Force,上述连接情况的检测以及电阻值的计算与第一、第二实施例的原理相同,具体步骤不再赘述。
第二组测试电路如图7、图8所示,图7与如图3所示的测试原理相同,测试BC二极管时,在C_Force与C_Sence之间、B_Force与B_Sence之间、C_Sence与B_Sence之间均连接电压表,以及在C_Force与B_Force之间连接电流恒流源Is。
分别检测C_Force与C_Sence之间、B_Force与B_Sence之间连接后,是否与被测器件连接,以及分别计算得到电阻值Rc_Force、电阻值Rb_Force,以及电阻值Rc_sence、电阻值Rb_sence。具体测试原理与前述第一、第二实施例相同,不再赘述。
如图8所示为测试BE二极管的第二组测试电路电路图,测试原理仍与图7所示的测试原理相同。需要说明的是,在测试BE二极管时,不再需要连接在基极B_Force与B_Sence之间的电压表,这是由于在测试BC二极管时已经计算得到电阻值Rb_sence和电阻值Rb_Force,由此不再需要B_Force与B_Sence之间的电压表去测试Rb_Force。不难理解,若只测试BE二极管时,则还需在基极B_Force与B_Sence之间连接电压表。
基于第三实施例,可将对三极管的测试三极管的BE二极管、BC二极管的第二测试电路集成为一个整体电路,也可将其拆分为两套测试电路。不难理解,当拆分成两套电路时,可采用图7、图8所示的实施例,也可在图7中省略B_Force与B_Sence之间的电压表,而在图8中增加B_Force与B_Sence之间的电压表。同样的,通过一切换电路实现第一、第二测试电路的切换,以及第二测试电路中两套电路的切换。
以上所述仅为本发明的较佳实施例,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种基于开尔文连接电路的测试电路,其特征在于,包括:
N路电路臂,N的值与被测器件端口数量对应;
每路电路臂由两路子电路构成,所述两路子电路的连接端分别与被测器件的同一端口连接,另一端为开放端;所述两路子电路的开放端分别对应为开尔文连接电路的驱动端和感测端;所述两路子电路上的等效电阻分别为驱动端等效电阻、感测端等效电阻;
所述N路电路臂对应N路开尔文连接电路;
至少一电流恒流源、一电压表,
使所述电流恒流源、电压表至少两次连接到不同的所述开放端,获得至少两次电压值,以检测与被测器件的连接性,和/或计算所述等效电阻。
2.根据权利要求1所述的测试电路,其特征在于,被测器件为二极管,所述使电流恒流源、电压表至少两次连接到不同的所述开放端包括:
一、电流恒流源、电压表分别连接在与二极管阳极、阴极连接的电路臂两路子电路的开放端之间;
二、电压表分别连接在与二极管阳极、阴极连接的电路臂两路子电路的开放端之间,以及电路臂两路子电路对应的感测端之间;电流恒流源连接在电路臂两路子电路对应的驱动端之间。
3.根据权利要求1所述的测试电路,其特征在于,被测器件为三端场效应管,所述使电流恒流源、电压表至少两次连接到不同的所述开放端包括:
一、电流恒流源、电压表分别连接在与三端场效应管漏极、栅极、源极连接的电路臂两路子电路的开放端之间;
二、电压表分别连接在与三端场效应管漏极、源极连接的电路臂两路子电路的开放端之间,以及与三端场效应管漏极、源极连接的两路电路臂对应的感测端之间;电流恒流源连接在与三端场效应管漏极、源极连接的两路电路臂对应的驱动端之间;
连通与三端场效应管漏极连接的两路电路臂对应的感测端和与三端场效应管栅极连接的两路电路臂对应的驱动端。
4.根据权利要求1所述的测试电路,其特征在于,被测器件为三极管,所述使电流恒流源、电压表至少两次连接到不同的所述开放端包括:
一、电流恒流源、电压表分别连接在与三极管集电极、发射极、基极连接的电路臂的两路子电路的开放端之间;
二、电压表分别连接在与三极管集电极、基极连接的电路臂两路子电路的开放端之间,以及与三极管集电极、基极连接的两路电路臂对应的感测端之间;电流恒流源连接在与三极管集电极、基极连接的两路电路臂对应的驱动端之间。
5.根据权利要求4所述的测试电路,其特征在于,被测器件为三极管,所述使电流恒流源、电压表至少两次连接到不同的所述开放端还包括:
电压表分别连接在与三极管发射极、基极连接的电路臂的两路子电路的开放端之间,以及与三极管发射极、基极连接的两路电路臂对应的感测端之间;电流恒流源连接在与三极管发射极、基极连接的两路电路臂对应的驱动端之间。
6.根据权利要求1所述的测试电路,其特征在于,被测器件为三极管,所述使电流恒流源、电压表至少两次连接到不同的所述开放端包括:
一、电流恒流源、电压表分别连接在与三极管集电极、发射极、基极连接的电路臂的两路子电路的开放端之间;
二、电压表分别连接在与三极管发射极、基极连接的电路臂两路子电路的开放端之间,以及与三极管发射极、基极连接的两路电路臂对应的感测端之间;电流恒流源连接在与三极管发射极、基极连接的两路电路臂对应的驱动端之间。
7.根据权利要求6所述的测试电路,其特征在于,被测器件为三极管,所述使电流恒流源、电压表至少两次连接到不同的所述开放端还包括:
电压表分别连接在与三极管集电极、基极连接的电路臂的两路子电路的开放端之间,以及与三极管集电极、基极连接的两路电路臂对应的感测端之间;电流恒流源连接在与三极管集电极、基极连接的两路电路臂对应的驱动端之间。
8.根据权利要求1、2、3、4或6任一所述的电路,其特征在于,还包括一切换电路,分别与所述电流恒流源、电压表连接,用于切换所述电流恒流源、电压表至少两次连接。
CN201920660524.1U 2019-05-09 2019-05-09 一种开尔文连接电路的测试电路 Active CN210038116U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201920660524.1U CN210038116U (zh) 2019-05-09 2019-05-09 一种开尔文连接电路的测试电路

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201920660524.1U CN210038116U (zh) 2019-05-09 2019-05-09 一种开尔文连接电路的测试电路

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN210038116U true CN210038116U (zh) 2020-02-07

Family

ID=69364142

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201920660524.1U Active CN210038116U (zh) 2019-05-09 2019-05-09 一种开尔文连接电路的测试电路

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN210038116U (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110045224A (zh) * 2019-05-09 2019-07-23 华峰测控技术(天津)有限责任公司 一种开尔文连接电路的测试电路及测试方法
CN113359008A (zh) * 2021-06-01 2021-09-07 长鑫存储技术有限公司 测试保护电路及其控制方法、测试电路及芯片测试电路

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110045224A (zh) * 2019-05-09 2019-07-23 华峰测控技术(天津)有限责任公司 一种开尔文连接电路的测试电路及测试方法
CN110045224B (zh) * 2019-05-09 2024-07-12 华峰测控技术(天津)有限责任公司 一种开尔文连接电路的测试电路及测试方法
CN113359008A (zh) * 2021-06-01 2021-09-07 长鑫存储技术有限公司 测试保护电路及其控制方法、测试电路及芯片测试电路

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110045224B (zh) 一种开尔文连接电路的测试电路及测试方法
CN111337808B (zh) 功率半导体器件导通压降的在线测量电路及系统
CN204649917U (zh) 一种mosfet晶圆导通电阻的测量装置
CN101865971B (zh) 半导体场效应晶体管的测试方法及测试结构
CN210038116U (zh) 一种开尔文连接电路的测试电路
CN101796424B (zh) 具有减小的电流泄漏的半导体器件测试系统
TW200839272A (en) Semiconductor device and semiconductor device module
KR100529615B1 (ko) 트랜지스터들의 열화정도를 측정할 수 있는 테스트회로
WO2020006749A1 (zh) 芯片阻抗测试方法及系统
US20130049779A1 (en) Integrated circuit
CN202548256U (zh) 短路测试装置
TWI409484B (zh) 電壓/電流源及具有電壓/電流源之測試系統
CN113064041B (zh) 场效应晶体管的导通电阻测量方法及测量装置
US20210156902A1 (en) Semiconductor chip and circuit and method for electrically testing semiconductor chip
CN205489504U (zh) 一种用于低压电压测量电路的抗高压保护电路
CN108051737B (zh) 一种开关器件筛选系统及方法
CN102590630A (zh) 半导体参数测试仪器的测试探针的电阻测试方法
CN104111398A (zh) 短路检测装置
CN213633692U (zh) Tvs管的导通性检测电路及检测装置
US11041901B2 (en) Unclamped inductor switching test at wafer probe
CN116325104A (zh) 半导体试验装置和半导体试验方法
CN208125876U (zh) 一种三极管开尔文测试组件
CN110895290A (zh) 一种适用于ate测试的皮安级小电流测试电路
CN105610142B (zh) 一种用于低压电压测量电路的抗高压保护电路
CN109792148B (zh) 保护电路

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant